果；
[0021]第三种，隔离夹层有四层，由下至上分别为0.05-5mm厚的钽片、0.l_5mm厚的妈片、0.l-5mm厚的金属氧化物夹层和0.l_2mm厚的妈片；氧化错层可进一步提高隔离碳元素等杂质元素的效果；
[0022]第四种，隔离夹层有三层，由下至上分别为0.1-5mm厚的妈片、0.l_5mm厚的金属氧化物夹层和0.l-2mm厚的钨片；该方案去掉了价格昂贵的钽片以降低使用成本。
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型实施例1中一种用于蓝宝晶体生长的支承平台的结构示意图。
[0024]图2为本实用新型实施例2中一种用于蓝宝晶体生长的支承平台的结构示意图。
[0025]图3为本实用新型实施例3中一种用于蓝宝晶体生长的支承平台的结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]实施例1
[0027]如图1所示，本实用新型公开了一种用于蓝宝晶体生长的支承平台，该支承平台支承在坩祸I底部，支承平台包括由下至上依次铺设的承重层和隔离层。本实施例中，承重层为石墨加工而成的石墨板2 ;隔离层包括两层用于隔离炭元素或其他杂质元素的隔离夹层，该两层隔离夹层由下至上分别为厚度为1_的钽片3和厚度为3_的钨片4，当坩祸I内放置纯度为99.999%的氧化铝原料5，该氧化铝原料5在晶体生长之前，将在2100°C以上的温度下熔化为液体，在高温下，钽片3与石墨板2反应生成一层致密的碳化钽层粘附在钨片4的下表面，防止碳元素进一步渗透到钨片4和坩祸I内，钨片4起到了进一步防止石墨中的杂质元素渗透。
[0028]实施例2
[0029]如图2所示，本实施例在实施例1的基础上，隔离层包括三层用于隔离炭元素或其他杂质元素的隔离夹层，该三层隔离夹层由下至上分别为Imm厚的钽片6、1.5mm厚的钨片7和Imm厚的钨片8，本实施例中有两层钨片，提高了隔离碳元素等杂质元素的效果，且钨片7与钨片8之间会形成间隙，这一间隙能有效增加碳元素渗透的难度，提升隔离效果。
[0030]实施例3
[0031]如图3所示，本实施例在实施例1的基础上，隔离层包括四层用于隔离炭元素或其他杂质元素的隔离夹层，该四层隔离夹层由下至上分别为厚度为Imm的钽片9、厚度为1.5mm的钨片10、厚度为2mm的氧化锆层11、厚度为Imm的钨片12 ;本实施例中，在钨片10和妈片12之间放置为氧化错层11，该氧化错层11由纯度为99.999%的氧化错颗粒平铺而成，采用氧化锆颗粒而不是氧化锆板作为该层的目的是为了降低氧化锆的使用成本，并避免在氧化锆板在制作过程中引入铁、钛等新的污染物；当碳元素渗入到氧化锆层时，氧化锆层将首先与碳元素发生还原反应，碳元素以CO或C02气体的形式释放，而不会进一步渗入到坩祸I中。
[0032]实施例4
[0033]本实施例在实施例3的基础上，去掉了隔离层中价格昂贵的钽片9，以降低使用成本。
[0034]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种用于蓝宝石晶体生长的支承平台，所述支承平台支承在坩祸底部，其特征在于:包括由下至上依次铺设的承重层和隔离层，所述承重层为炭基材料加工而成的承重板；所述隔离层包括两层或两层以上的用于隔离炭元素或其他杂质元素的隔离夹层，其中至少有一层隔离夹层为钨材料加工而成的钨片。2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的支承平台，其特征在于:所述承重层为石墨、炭炭复合材料或石墨硬毡加工而成的承重板。3.根据权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的支承平台，其特征在于:所述隔离夹层有两层，由下至上分别为0.05-5mm厚的钽片、0.1-5mm厚的妈片。4.根据权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的支承平台，其特征在于:所述隔离夹层有三层，由下至上分别为0.05-5mm厚的钽片、0.l_5mm厚的钨片和0.l_2mm厚的钨片。5.根据权利要求1或3所述的用于蓝宝石晶体生长的支承平台，其特征在于:所述隔离夹层有三层，由下至上分别为0.l_5mm厚的钨片、0.l_5mm厚的金属氧化物夹层和0.l_2mm厚的钨片。6.根据权利要求1或3所述的用于蓝宝石晶体生长的支承平台，其特征在于:所述隔离夹层有四层，由下至上分别为0.05-5mm厚的钽片、0.1-5mm厚的妈片、0.1-5mm厚的金属氧化物夹层和0.1-2mm厚的妈片。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于蓝宝石晶体生长的支承平台，所述支承平台支承在坩埚底部，包括由下至上依次铺设的承重层和隔离层，所述承重层为炭基材料加工而成的承重板；所述隔离层包括两层或两层以上的用于隔离炭元素或其他杂质元素的隔离夹层，其中至少有一层隔离夹层为钨材料加工而成的钨片，另外至少有一层隔离夹层为钽材料制成的钽片或熔点在2100摄氏度以上的金属氧化物夹层。本实用新型的优点在于：本实用新型的支承平台防止钼或钨材质的坩埚与碳反应，并有效抑制了碳元素及其他杂质元素污染氧化铝原料，使采用石墨等炭基材料制作承重坩埚的部件成为可能，大幅降低了热场使用成本，提高了结构在高温下的稳定性。
【IPC分类】C30B29/20, C30B35/00
【公开号】CN204825133
【申请号】CN201520191425
【发明人】马远, 薛卫明, 邱一豇, 吴勇, 周健杰
【申请人】江苏中电振华晶体技术有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年4月1日