靶材排水装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及玻璃精加工技术领域，公开了一种靶材排水装置，包括靶材，在所述靶材上安装有进水管和回水管，在所述进水管上通过一个进水管阀门连接一个进气管，在所述回水管上通过一个回水管阀门连接一个出水管。本实用新型不改动靶材筒体的结构，利用原有的管道进行改造，通过阀门启闭，方便工作与排水。
【专利说明】
靶材排水装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及玻璃精加工技术领域，特别是一种靶材排水装置。
【背景技术】
[0002]玻璃精加工过程中，先进行蚀刻打磨，然后进行真空镀膜，真空镀膜是在靶材中进行的，靶材为圆筒型结构，里面装有磁体，磁体以慢速度转动。在圆筒内部存有冷却水，用于对磁体进行冷却。
[0003]现有的冷却水排水方法是直接拔除靶材上的回水管，并用水桶接水，由于回水管与靶材筒体连接处靠近筒体，导致接水困难，在地面易形成积水。另外，由于靶材筒体内部密封，很难将冷却水排除干净。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提供一种靶材排水装置，通过连接管直接将冷却水排到废水区。
[0005]本实用新型采取的技术方案是:
[0006]—种靶材排水装置，包括靶材，在所述靶材上安装有进水管和回水管，其特征是，在所述进水管上通过一个进水管阀门连接一个进气管，在所述回水管上通过一个回水管阀门连接一个出水管。
[0007]进一步，所述回水管阀门的位置低于所述回水管与所述靶材的接口位置。
[0008]进一步，所述进气管的管径为5mm，所述出水管的管径为10mm。
[0009]进一步，所述进气管连接一个高压气源。
[0010]本实用新型的有益效果是:
[0011](I)不改动靶材筒体的结构，利用原有的管道进行改造；
[0012](2)通过阀门启闭，方便工作与排水；
[0013](3)进气管引入高压气体，使排水更彻底。
【附图说明】
[0014]附图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型接靶材排水装置的【具体实施方式】作详细说明。
[0016]参见附图1，靶材筒体I上安装有进水管I和回水管2，进水管I连接至进水主管3，回水管2连接至回水主管4 ο在进水管I上通过一个进水管阀门5连接一个进气管6，在回水管2上通过一个回水管阀门7连接一个出水管8。回水管阀门7的位置低于回水管2与靶材的接口位置。进气管6连接一个高压气源。进气管6的管径选用5mm，出水管8的管径为10_。
[0017]在进行真空镀膜时，关闭进水管阀门5和回水管阀门7。镀膜工作结束要进行冷却水排放时，开启进水管阀门5和回水管阀门7，进气管6接入高压气体，出水管8连通至污水池或排水管，通过进气管6的气压，将靶体筒体I内的冷却水排出。
[0018]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种靶材排水装置，包括靶材，在所述靶材上安装有进水管和回水管，其特征在于:在所述进水管上通过一个进水管阀门连接一个进气管，在所述回水管上通过一个回水管阀门连接一个出水管。2.根据权利要求1所述的靶材排水装置，其特征在于:所述回水管阀门的位置低于所述回水管与所述靶材的接口位置。3.根据权利要求1所述的靶材排水装置，其特征在于:所述进气管的管径为5mm，所述出水管的管径为I Omm。4.根据权利要求1至3中任一项所述的靶材排水装置，其特征在于:所述进气管连接一个高压气源。
【文档编号】C03C17/00GK205676361SQ201620607787
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月21日 公开号201620607787.2, CN 201620607787, CN 205676361 U, CN 205676361U, CN-U-205676361, CN201620607787, CN201620607787.2, CN205676361 U, CN205676361U
【发明人】欧阳旭, 周道怀, 汪奇, 杨军, 李敏, 韩涛
【申请人】安徽今上显示玻璃有限公司