超净高纯级丙酮提取装置的制作方法

文档序号:3570080阅读:237来源:国知局
专利名称:超净高纯级丙酮提取装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种超净高纯级丙酮提取装置,属于电子化学品生产设备技术领 域。
背景技术
丙酮也称作二甲基酮,饱和脂肪酮系列中最简单的酮。熔点-95度,沸点56度,无 色液体,有特殊气味。在电子化学品领域,作为清洗去油剂使用。用于电子化学领域的化学产品,要求达到MOS(金属_氧化物_半导体)标准,即 金属杂质含量小于lOOppb,控制1微米粒径粒子达到SEMI C1C2标准,适合中小规模集成电 路及TFT-IXD等微电子领域的加工工艺。而工业级丙酮中含有不饱和烃、水等杂质,不能满 足微电子领域使用要求。

发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种能降低丙酮中的不饱和烃、水等 杂质含量,且可满足微电子领域使用要求的超净高纯级丙酮提取装置。本实用新型的目的是这样实现的一种超净高纯级丙酮提取装置,其特征在于 它包括原料罐、吸附树脂柱、干燥器、精馏釜、冷凝器、过滤器和成品罐;所述原料罐出口与吸附树脂柱进口相连接,所述吸附树脂柱出口与干燥器进口相 连接,所述干燥器出口与精馏釜进口相连接,所述精馏釜顶端出口与冷凝器进口相连接,所 述冷凝器出口与过滤器进口相连,所述过滤器出口与成品罐相连接。本实用新型的有益效果是本实用新型超净高纯级丙酮提取装置,采用吸附树脂柱吸附不饱和烃,通过干燥 器去除水分,然后通过精馏、过滤进一步除杂,得到的超净高纯级丙酮可达到MOS (金属-氧 化物-半导体)标准,可满足微电子领域使用要求。

图1为本实用新型超净高纯级丙酮提取装置的结构示意图。其中原料罐1、吸附树脂柱2、干燥器3、精馏釜4、冷凝器5、过滤器6、成品罐7。
具体实施方式
参见图1,本实用新型涉及的一种超净高纯级丙酮提取装置,主要由原料罐1、吸 附树脂柱2、干燥器3、精馏釜4、冷凝器5、过滤器6和成品罐7组成;所述原料罐1出口与吸附树脂柱2进口相连接,所述吸附树脂柱2出口与干燥器 3进口相连接,所述干燥器3出口与精馏釜4进口相连接,所述精馏釜4顶端出口与冷凝器 5进口相连接,所述冷凝器5出口与过滤器6进口相连,所述过滤器6出口与成品罐7相连接。所述干燥器中的干燥剂为无水硫酸钾或无水碳酸钾。采用本实用新型装置生产的超净高纯级丙酮,其纯度可达99. 8%以上。
权利要求一种超净高纯级丙酮提取装置,其特征在于它包括原料罐(1)、吸附树脂柱(2)、干燥器(3)、精馏釜(4)、冷凝器(5)、过滤器(6)和成品罐(7);所述原料罐(1)出口与吸附树脂柱(2)进口相连接,所述吸附树脂柱(2)出口与干燥器(3)进口相连接,所述干燥器(3)出口与精馏釜(4)进口相连接,所述精馏釜(4)顶端出口与冷凝器(5)进口相连接,所述冷凝器(5)出口与过滤器(6)进口相连,所述过滤器(6)出口与成品罐(7)相连接。
专利摘要本实用新型涉及一种超净高纯级丙酮提取装置,其特征在于它包括原料罐(1)、吸附树脂柱(2)、干燥器(3)、精馏釜(4)、冷凝器(5)、过滤器(6)和成品罐(7);所述原料罐(1)出口与吸附树脂柱(2)进口相连接,所述吸附树脂柱(2)出口与干燥器(3)进口相连接,所述干燥器(3)出口与精馏釜(4)进口相连接,所述精馏釜(4)顶端出口与冷凝器(5)进口相连接,所述冷凝器(5)出口与过滤器(6)进口相连,所述过滤器(6)出口与成品罐(7)相连接。本实用新型超净高纯级丙酮提取装置,采用吸附树脂柱吸附不饱和烃,通过干燥器去除水分,然后通过精馏、过滤进一步除杂,得到的超净高纯级丙酮可达到MOS标准,可满足微电子领域使用要求。
文档编号C07C49/08GK201770630SQ20102028161
公开日2011年3月23日 申请日期2010年8月2日 优先权日2010年8月2日
发明者戈士勇 申请人:江阴市润玛电子材料有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1