研磨垫及其制造方法与流程

文档序号:11803203阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多孔研磨垫的制造方法,其包括:

将亲水性高分子物质添加至预聚物的步骤;及

通过所述预聚物和所述亲水性高分子物质的反应而生成二氧化碳,从而形成所述预聚物内的气孔的步骤。

2.根据权利要求1所述的多孔研磨垫的制造方法,其中,所述亲水性高分子物质包括聚乙烯醇(PVA)、聚乙二醇(PEG)、聚乙酸乙烯酯(PVAc)、聚丙烯酸、聚氧化乙烯或磺化异戊二烯。

3.根据权利要求1所述的多孔研磨垫的制造方法,其中,所述预聚物和所述亲水性高分子反应时添加固化剂。

4.根据权利要求3所述的多孔研磨垫的制造方法,其中,所述固化剂包括4,4'-亚甲基-双-(2-氯苯胺)、4,4'-亚甲基-双-(3-氯-2,6-二乙基苯胺)、二甲硫基甲苯二胺、二对氨基苯甲酸丙二醇酯、聚环氧丁烷二对氨基苯甲酸酯、聚环氧丁烷单对氨基苯甲酸酯、聚环氧丙烷二对氨基苯甲酸酯、聚环氧丙烷单对氨基苯甲酸酯、1,2-双(2-氨基苯硫基)乙烷、4,4'-亚甲基二苯胺、二乙基甲苯二胺、5-叔丁基-2,4-甲苯二胺、3-叔丁基-2,6-甲苯二胺、5-叔戊基-2,4-甲苯二胺、3-叔戊基-2,6-甲苯二胺或氯甲苯二胺。

5.一种通过根据权利要求1至4中的任一项所述的多孔研磨垫的制造方法制造的多孔研磨垫,其中,所述多孔研磨垫包含二氧化碳气孔。

6.根据权利要求5所述的多孔研磨垫,其中,所述二氧化碳气孔相互连接形成。

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