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研磨垫及其制造方法与流程
文档序号:11803203
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来源:国知局
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研磨垫及其制造方法与流程
技术总结
本发明涉及含有由预聚物和亲水性高分子物质的反应而生成的二氧化碳气体所产生的气孔的多孔研磨垫及其制备方法。
技术研发人员:
金八坤;吴承泽
受保护的技术使用者:
FNS科技有限公司
文档号码:
201610340728
技术研发日:
2016.05.20
技术公布日:
2016.11.30
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