一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂的制作方法

文档序号:12743561阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂,其特征在于,由以下重量份的原料制成:

丙醇52-54份、苯酚10-20份、胶体粒子5-7份、氯化亚锡6-8份、抗坏血酸6-8份、乙酸钠2-4份、腐植酸钠2-4份、三聚磷酸钠3-5份、六偏磷酸钠2-4份、表面活性剂5-7份、拉丝粉6-8份、滑石粉3-5份、去离子水260-270份。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂,其特征在于,丙醇53份、苯酚15份、胶体粒子6份、氯化亚锡7份、抗坏血酸7份、乙酸钠3份、腐植酸钠3份、三聚磷酸钠4份、六偏磷酸钠3份、表面活性剂6份、拉丝粉7份、滑石粉4份、去离子水265份。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂,其特征在于:所述的表面活性剂是十二烷基苯磺酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚、十二烷基磺酸钠的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂,其特征在于:所述的胶体粒子由硅藻土、氧化硅、白土、膨润土中意任意一种或几种复配而成。

5.制备上述权利要求1或2的方法,其特征在于,包括以下制备步骤:

1)将上述原料中丙醇、苯酚、乙酸钠、腐植酸钠、三聚磷酸钠和六偏磷酸钠溶于原料中的去离子水中,高速搅拌直至各物料混合均匀;

2)将原料中的胶体粒子与原料中的拉丝粉和滑石粉预先研磨至颗粒细度为20-22um后,与步骤1中的原料进行合并混合,并搅拌直至混合均匀;

3)将原料中的剩余原料预先采用放入搅拌罐中,并加热至25-28℃,然后开启搅拌,搅拌均匀后,与步骤2中的原料混合,控制转速3500-3800r/min,高速搅拌35-45min后,出料,即可得到。

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