专利名称：利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表面的无机性异 物而利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜无机性异物清洁装置的技术。 也就是为去除上述玻璃和薄膜的无机性异物而通过送风器喷射空气，将 上述喷射的空气通过离子发生器进行离子化，并通过设在上述玻璃和薄 膜上端的空气喷射口予以喷射，而上述喷射的空气被形成于上述空气喷 射口上端的超声波予以振动，将会去除粘附在玻璃和薄膜表面的无机性 异物。此时，上述超声波形成在玻璃和薄膜上端，可向通过上述空气喷 射口予以喷射的空气和通过空气吸入口予以排出的空气及玻璃和薄膜本 身传达振动，所以说本发明是有关利用超声波可有效去除粘附在玻璃和 薄膜表面的无机性异物的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置 的技术。
背景技术：
通常而言，平板显示器用玻璃和薄膜对微小的灰尘(微粒)反应非常敏 感，所以微小的一粒灰尘可左右小至配件大至设备的特点。由于上述原 因，在平板显示器用玻璃和薄膜制造工序中主要将微粒降至最少放在首 位，通常根据工序进行状况，反复进行清洁作业。
如上所述的现有清洁装置如图1所示，具有如下结构特点即，为 去除粘附在玻璃和薄膜表面的无机性异物而由向玻璃和薄膜喷射空气用 送风器(10)和将通过上述送风器(10)予以喷射的空气和被上述喷射的空
气予以去除的异物吸入并排出用排气装置(20)组成。上述送风器(10)在为去除异物而喷射空气时，由于上述空气被予以喷射的空气管路(ll)呈锯齿 形状，所以在上述被喷射的空气上将会发生振动，而上述发生振动的空 气将会去除粘附在玻璃和薄膜表面的异物。
然而，如上所述的现有技术由于空气予以喷射的空气管路(ll)呈锯齿 状，发生机构振动而振动数受限制，以致无法有效去除异物，所以为提 高振动数而应喷射高流量的空气，因此，具有发生噪音等缺点。
此外，由于喷射普通空气，在玻璃和薄膜的表面和异物之间发生静
电而不易去除异物，并且由于喷射空气后去掉的异物在被排气装置(20) 吸入之前产生涡流而又发生了去除的异物重新被粘附的问题。
发明内容
本发明旨在解决上述问题，在平板显示器玻璃和薄膜上端形成超声 波，只要在上述超声波中产生振动，就向送风器喷射的空气和排气装置 吸入的空气以及上述玻璃和薄膜本身传达振动，以此有效去除在玻璃和 薄膜表面形成的异物。通过在超声波中产生的振动，以低流量的空气就 可去除玻璃和薄膜之异物，以此提供利用超声波的平板显示器玻璃和薄 膜用无机性异物清洁装置。
本发明的另一目的在于，在送风器中形成离子发生器，将在上述送 风器中供应的空气进行离子化，并将在上述玻璃和薄膜形成的静电作用 降至最小，以此去除异物。当上述超声波产生振动时，可通过设在清洁 装置内部且连接送风器和空气喷射口的空气管路和连接排气装置和空气 吸入口的空气管路吸收在上述超声波内部产生的热量，并通过超声波本 身产生的热量可防止上述超声波的破损及故障，以此提供利用超声波的 平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置。
图1是有关现有清洁装置的结构图。
图2是在本发明中，利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性
异物清洁装置截面图。
图3是在本发明中，利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性
异物清洁装置结构图。 附图主要部分的符号说明
100:送风器 110:空气喷射口
200:离子发生器 300:排气装置
310:空气吸入口 400:超声波
具体实施例方式
本发明是有关为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表面的无机性异 物而利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜无机性异物清洁装置的技术。 本发明由如下结构组成g卩，向上述玻璃和薄膜喷射空气的送风器；通 过上述送风器将喷射在玻璃和薄膜的空气和被空气去除的无机性异物予 以吸入的排气装置；在上述玻璃和薄膜上端形成并产生振动，并向通过 上述送风器予以喷射的空气和通过排气装置予以吸入的空气以及玻璃和 薄膜传达振动的超声波；在上述超声波的下端形成并将被上述超声波通 过振动接受的空气喷射至上述玻璃和薄膜的空气喷射口；将空气喷射口 喷射的空气和被上述喷射的空气从玻璃和薄膜予以去除的无机性异物通 过排气装置吸入并排出的空气吸入口 。
此外，上述送风器通过将喷射的空气进行离子化，为了容易去除上 述玻璃和薄膜的无机性异物，还包括解除上述无机性异物和玻璃和薄膜 之间静电作用的离子发生器。
上述空气喷射口和空气吸入口设在距离玻璃和薄膜只有0.5mm至 10mm的上端，通过接受在上述空气喷射口和空气吸入口上端形成的超 声波产生振动的空气，向玻璃和薄膜本身传达振动，以此使玻璃和薄膜 产生振动。
此外，上述超声波在产生振动时，将在上述超声波内部发生的热量， 通过在清洁装置内部形成且连接送风器和空气喷射口的空气管路和连接 排气装置和空气吸入口的空气管路予以吸收。 .
下面参照附图详细进行说明。
图2是在本发明中，利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性
异物清洁装置截面图。
如图2所示，本发明是有关为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表 面的无机性异物而利用超声波(400)的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异 物清洁装置的技术。即，在上端设有送风器(IOO)，据此可向上述玻璃和 薄膜喷射空气，并且通过上述送风器(100)予以喷射的空气又通过离子发 生器(200)进行离子化，将上述玻璃和薄膜和无机性异物之间的静电作用 降至最小，所以可容易去除上述异物。
上述离子发生器(200)的下端设有可将上述送风器(100)喷射至玻璃 和薄膜的空气和被上述空气予以去除的无机性异物吸入和排出的排气装 置(300)，并通过在上述排气装置(300)的下端形成超声波(400)，向上述送 风器(100)喷射的空气和上述排气装置(300)吸入的空气传达电振动。上述 超声波(400)在上述玻璃和薄膜上端形成，并且可向喷射的空气和吸入的 空气传达电振动，同时还可向上述玻璃和薄膜本身传达振动。
上述超声波(400)的下端设有多个空气喷射口(110)和多个空气吸入 口(310)，上述空气喷射口(110)将通过送风器(100)予以供应的空气喷射至 玻璃和薄膜，而上述空气吸入口(310)将上述空气喷射口(110)喷射的空气 和被上述喷射的空气予以去除的无机性异物吸入至排气装置(300)，上述 空气喷射口予以喷射的空气和空气吸入口予以吸入的空气被在其上端形 成的超声波接受电振动。
此外，上述超声波(400)在产生振动时发生的热量被设在清洁装置内 部的连接在送风器(100)和空气喷射口(110)的空气管路和连接在排气装
置(300)和空气吸入口(310)的空气管路迅速予以吸收，所以可防止上述振 动产生时所发生的热量对超声波(400)的破损及故障。
图3是在本发明中，利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性 异物清洁装置结构图。
如图3所示，本发明将多个空气喷射口(11)及空气吸入口(310)与玻 璃和薄膜之间的间隔(L)设在0.5mm至10mm，将上述超声波(400)形成在 上述空气喷射口(110)和空气吸入口(310)上端，并将在上述超声波(400) 中产生的振动传达至予以喷射的空气和予以吸入的空气，可从上述空气 的喷射到吸入为止传达振动，并且向上述玻璃和薄膜本身传达振动，以 此可有效去除粘附在上述玻璃和薄膜表面的无机性异物。
以上是对本发明中的正确实施例进行的详细说明，但本发明技术并 不局限于上述实施例，在不脱离下面权利要求书要求的本发明宗旨的前 提下，只要拥有属于本发明技术领域中的通常知识的人，均可进行多种 变更，而这些均属于本发明的技术范围。
如上述构成的本发明将从送风器供应的空气通过离子发生器进行离 子化，并在去除粘附在上述玻璃和薄膜上的无机性异物时可将静电降至 最小，在上述玻璃和薄膜上端形成超声波，向上述送风器喷射的空气和 排气装置吸入的空气以及上述玻璃和薄膜本身传达振动，以此有效去除 粘附在上述玻璃和薄膜表面的无机性异物。
此外，通过超声波向喷射的空气传达振动，能够以低流量的空气便 可去除异物，所以发生噪音少，并且当上述超声波产生振动时，将在超 声波内部产生的热量通过设在清洁装置内部且连接送风器和空气喷射口 的空气管路和连接排气装置和空气吸入口的空气管路予以吸收，所以并 不需要另设冷却扇，也可有效防止上述超声波产生的热量对上述超声波 的破损及故障。
权利要求
1、一种为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表面的无机性异物而利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置，其特征在于包括如下结构即，向上述玻璃和薄膜喷射空气的送风器；通过上述送风器将喷射在玻璃和薄膜的空气和被空气去除的无机性异物予以吸入的排气装置；在上述玻璃和薄膜上端形成并产生振动，并向通过上述送风器予以喷射的空气和通过排气装置予以吸入的空气以及玻璃和薄膜传达振动的超声波；在上述超声波的下端形成并将被上述超声波通过振动接受的空气喷射至上述玻璃和薄膜的空气喷射口；将空气喷射口喷射的空气和被上述喷射的空气从玻璃和薄膜予以去除的无机性异物通过排气装置吸入并排出的空气吸入口。
2、 根据权利要求1所述的利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无 机性异物清洁装置，其特征在于，上述送风器通过将喷射的空气进行离 子化，为了容易去除上述玻璃和薄膜的无机性异物，还包括解除上述无 机性异物和玻璃和薄膜之间静电作用的离子发生器。
3、 根据权利要求1所述的利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无 机性异物清洁装置，其特征在于，上述空气喷射口和空气吸入口设在距 离玻璃和薄膜只有0.5mm至10mm的上端，通过接受在上述空气喷射口 和空气吸入口上端形成的超声波产生振动的空气，向玻璃和薄膜本身传 达振动，以此使玻璃和薄膜产生振动。
4、 根据权利要求1所述的利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无 机性异物清洁装置，其特征在于，上述超声波在产生振动时，将在上述 超声波内部发生的热量，通过设在清洁装置内部且连接送风器和空气喷 射口的空气管路和连接排气装置和空气吸入口的空气管路予以吸收。
全文摘要
本发明是有关为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表面的无机性异物而利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置的技术。本发明由如下结构组成即，向上述玻璃和薄膜喷射空气的送风器；通过上述送风器将喷射在玻璃和薄膜的空气和被空气去除的无机性异物予以吸入的排气装置；在上述玻璃和薄膜上端产生振动，并向通过上述送风器予以喷射的空气和通过排气装置予以吸入的空气以及玻璃和薄膜传达振动的超声波；在上述超声波的下端形成并将被上述超声波通过振动接受的空气喷射至玻璃和薄膜的空气喷射口；将空气喷射口喷射的空气和被上述喷射的空气从玻璃和薄膜予以去除的无机性异物通过排气装置吸入并排出的空气吸入口。
文档编号B08B11/00GK101185931SQ20061016180
公开日2008年5月28日 申请日期2006年12月1日 优先权日2006年11月24日
发明者韩点烈 申请人:Apro系统株式会社