专利名称：涂布液供给装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在涂布装置中使用的涂布液供给装置。
技术背景以往，作为涂布液供给装置，公知有如下结构在设于涂布液收容部件的 开口缘的歧管的内表面上形成密封部件，通过密封部件来密封涂布液压出部 件，并通过涂布液引入部将涂布液引入到在歧管的内表面与涂布液压出部件之 间形成的环状空间内(例如参照专利文献l)。专利文献h日本专利特开2005-246201号公报然而，在上述以往的涂布液供给装置中，密封部件与涂布液压出部件的外 周面滑动接触，有时附着在涂布液压出部件外周面上的涂布液无法用密封部件 完全封住而会漏出到外部。从而存在如下问题漏出到外部的涂布液接触外部大气而固化，导致涂布液压出部件动作不良，或是再次回到涂布液收容部件中 后混入涂布液内，妨碍合适的涂布。发明内容因此，本发明的课题在于提供一种能可靠防止从涂布液收容部件漏出的涂 布液到达外部的涂布液供给装置。为了解决上述技术问题，本发明的涂布液供给装置包括涂布液收容部件， 该涂布液收容部件收容涂布液，并具有涂布液流动部；以及涂布液压出部件， 该涂布液压出部件插入在所述涂布液收容部件内，并通过所述涂布液流动部将 收容在所述涂布液收容部件内的涂布液向外部输出，所述涂布液收容部件在所 述涂布液压出部件的插入部上具有涂布液回收部，该涂布液回收部用于回收经 由该插入部漏出的涂布液。
采用这种结构，由于涂布液收容部件设置有涂布液回收部，因此即使附着 在涂布液压出部件外周面上的涂布液从涂布液收容部件漏出，也不会接触外部 大气。因此，不会出现因涂布液固化而造成的不良影响，可在无需维护的情况 下长时间进行良好的涂布作业。最好所述涂布液回收部由清洗室构成，在该清洗室内填充有使所述涂布液 溶解的清洗液。采用这种结构，从涂布液收容部件漏出的涂布液被清洗液溶解，可防止该 涂布液回到涂布液收容部件内。最好所述清洗室可根据更换时间特定信息来更换所填充的清洗液。作为更 换时间特定信息，例如可以用定时器等来测定使用时间，当该使用时间到达预 先设定的时间时，报知"更换时间已到"，或是自动更换。最好所述涂布液压出部件可相对于所述涂布液收容部件的内周面保持规 定间隔地往复移动，所述涂布液回收部由排出用涂布液收容室构成，该排出用 涂布液收容室利用隔壁部在所述涂布液收容部件内形成，该隔壁部具有将所述 涂布液压出部件可滑动地引导的导向孔，所述排出用涂布液收容室具有可供给 或排出所述涂布液的结构。采用这种结构，首先可用隔壁部来防止附着在涂布液压出部件外周面上的 涂布液漏出。另外，即使该涂布液漏出到排出用涂布液收容室内，也可与向排 出用涂布液收容室内供给的涂布液一起向外部排出。即，用排出用涂布液收容 室来供给、排出涂布液，从而确保流动状态。因此，即使附着在涂布液压出部 件外周面上的涂布液漏出到涂布液收容部件的外部而固化等，该涂布液也可由 在排出用涂布液收容室形成的涂布液的流动而向外部排出。另外，排出的涂布 液也可通过再生处理而循环再利用。最好所述涂布液收容部件的涂布液流动部包括涂布液供给部，该涂布液 供给部设在所述涂布液压出部件的插入部侧；以及涂布液输出部，该涂布液输 出部设在与所述插入部相反的一侧，将供给的涂布液输出。采用这种结构，可使从涂布液供给部供给到涂布液收容部件内的涂布液依 次通过涂布液输出部输出，因此旧涂布液很难残留在涂布液收容部件内。 最好所述涂布液收容部件在与所述涂布液供给部相反的一侧的最高位置 上具有空气排出部。采用这种结构，可利用向涂布液收容部件内供给的涂布液最自然地排出涂 布液收容部件内的空气。最好通过在隔壁部上形成的开口部向所述排出用涂布液收容室供给涂布 液，并通过涂布液排出部将涂布液从所述排出用涂布液收容室排出，所述涂布 液排出部与所述涂布液输出部分开设置并与所述排出用涂布液收容室连通。采用这种结构，可以仅将考虑到可能含有夹杂物而设有的排出用涂布液收 容室内的涂布液有效地排出。采用本发明，由于用涂布液回收部来回收从涂布液收容部件漏出的涂布 液，因此不会发生涂布液漏出到外部而固化等的不良情况，可使涂布作业长时 间维持在良好状态。
图1是第1实施形态的涂布装置的整体结构的概略说明图。图2是表示图1的涂布液供给装置的初始准备工序的概略说明图。图3是表示图1的涂布液供给装置的初始涂布液供给工序的概略说明图。图4是表示图1的涂布液供给装置的涂布液输出工序的概略说明图。图5是表示图1的涂布液供给装置的第二次以后的涂布液供给工序的概略说明图。图6是表示图1的涂布液供给装置的夹杂物除去工序的概略说明图。 图7是表示第2实施形态的涂布液供给装置的概略说明图。 图8是表示第2实施形态的涂布液供给装置的另一例的概略说明图。 图9是表示第3实施形态的涂布液供给装置的概略说明图。 (符号说明) 1涂布液箱体 2涂布液供给装置 3涂布液输出装置
4控制装置5涂布液收容部件6涂布液压出部件7驱动部件8第一插通孔9第一密封壁10台阶部11第一密封部件12隔壁部13输出用涂布液收容室14排出用涂布液收容室15导向孔16贯穿孔17涂布液供给管18涂布液输出管19空气排出管20涂布液排出管21a、 21b、 21c、 21d、 21e、 21f开闭阀22涂布液回收部22a清洗室23第二密封壁24第二插通孔25第二密封部件26电动机27滚珠丝杠28支撑部29支撑台30被涂布部件 31涂膜32活塞 33缸具体实施方式
下面参照附图对本发明的实施形态进行说明。另外，在下面的说明中，相 同的名称、符号表示相同或性质相同的部件，适当省略了详细说明。 (第l实施形态) (结构)图1表示的是第1实施形态的涂布装置。该涂布装置大致包括涂布 液箱体l、涂布液供给装置2、涂布液输出装置3以及控制装置4。在涂布液箱体1内储藏有涂布液，可随时将涂布液向涂布液供给装置 2供给。作为涂布液，例如可使用在玻璃基板上进行涂布的PDP用玻璃浆液。 但并不局限于此，也可使用以往公知的各种涂布液。涂布液供给装置2包括涂布液收容部件5、涂布液压出部件6以及 驱动部件7。涂布液收容部件5由圆筒状的缸构成。在此，为了提高内部的观看性 而使用了用玻璃形成的缸，但也可以用不锈钢等金属材料形成。但是，内 表面需要通过镜面加工等将粗糙度抑制得较小。涂布液收容部件5的一端部闭锁，另一端部如图2所示，构成第一密 封壁9,在该第一密封壁9上形成有第一插通孔8。在所述第一插通孔8的 内周面的两个部位(两端开口部)上形成有扩大了内径的台阶部10，在其 中分别配设有0形圈等第一密封部件11。涂布液收容部件5的内部被与所 述第一密封壁9隔开规定间隔设置的隔壁部12分离成输出用涂布液收容室 13和排出用涂布液收容室14。在隔壁部12上分别形成有导向孔15和两个 部位上的贯穿孔16，所述导向孔15与所述第一密封壁9的第一插通孔8 相对，所述贯穿孔16可使涂布液从输出用涂布液收容室13流入。另外， 贯穿孔16也可设置在一个部位上，或设置在三个以上部位上。
在涂布液收容部件5上分别连接有涂布液供给管17、涂布液输出管18、 空气排出管19以及涂布液排出管20。涂布液供给管17在所述隔壁部12附近与输出用涂布液收容室13连 通，将来自涂布液箱体1的涂布液向输出用涂布液收容室13内供给。另外，涂布液输出管18在与所述第一密封壁9相反的一侧的端部侧与 输出用涂布液收容室13连通，使输出的涂布液向涂布液输出装置3流动。另外，空气排出管19在与所述涂布液供给管17相反的一侧的端部的 最高位置上与输出用涂布液收容室13连通。由此，可利用经涂布液供给管 17供给来的涂布液将输出用涂布液收容室13内的空气顺利地向外部排出。另外，涂布液排出管20与排出用涂布液收容室14连通，并将附着在 涂布液压出部件6外周面上的夹杂物(例如为附着在涂布液压出部件6外 周面上的涂布液因与第一密封部件ll滑动接触而固化等所产生的固态物体 等)、从后述的涂布液回收部22泄漏到排出用涂布液收容室14内的清洗 液向外部排出。此时，最好进行将夹杂物等从被排出的涂布液中除去的再 生处理，使涂布液向所述涂布液供给管17回流后向输出用涂布液收容室13 内供给。另外，在所述各配管(涂布液供给管17、涂布液输出管18、空气排出 管19、涂布液排出管20)上分别设置有开闭阀21a、 21b、 21c、 21d。而且， 如后面所述，各开闭阔21a、 21b、 21c、 21d的开闭动作由控制装置4进行 驱动控制。另外，在涂布液收容部件5上与第一密封壁9相邻地设置有涂布液回 收部22。在此，涂布液回收部22包括清洗室22a，在该清洗室22a内填充有可使涂布液溶解的清洗液。作为清洗液，可使用涂布液的溶剂。例如， 可使用PGMEA (丙二醇单甲醚醋酸盐)。但是并不局限于此，可根据涂布液的种类使用各种溶剂。涂布液回收部22的一端侧开口部与第一密封壁9形成为一体，另一端 部由第二密封壁23构成。第二密封壁23与所述第一密封壁9一样，形成 有与所述第一插通孔8相对的第二插通孔24，在其内周面上设置有第二密
封部件25。最好在第一插通孔8与第二插通孔24之间确保足够的距离。由 此，贯穿的涂布液压出部件6的支撑状态稳定，可对进入输出用涂布液收 容室13内的涂布液压出部件6的整个区域进行清洗。另外，也可以在所述涂布液回收部22上具有可更换清洗液的结构，或 者利用蒸馏回收装置等对从涂布液回收部22排出的清洗液进行再利用，使 其向涂布液回收部22回流。涂布液压出部件6将金属材料(例如不锈钢、铁或在表面上进行了镀 铬的材料)做成圆柱状。涂布液压出部件6的表面通过镜面加工等而将粗 糙度抑制得较小。驱动部件7构成为在电动机26的驱动下使与其转轴形成一体的滚珠 丝杠27旋转，通过与该滚珠丝杠27旋合的支撑部28使所述涂布液压出部件6 往复移动。涂布液输出装置3为以往公知的结构，通过狭缝喷嘴将涂布液涂布到 诸如载放在石平台等支撑台29上的PDP (等离子显示板)等被涂布部件30 上而形成涂膜31 (例如参照日本专利特开2002-113411号公报、日本专利 特开平8-229497号公报等)。控制装置4按照预先设定的控制程序对各开闭阀21a、 21b、 21c、 21d 进行开闭，对电动机26等进行驱动控制，进行下面的各工序。但是，开闭 阀21a、 21b也可以不用电气控制，而使用机械式开闭的止回阀。下面对所述结构的涂布液供给装置2的动作进行说明。 (初始准备工序)首先，如图2所示，使涂布液压出部件6移动至后退到最后面的位置 (涂布液压出部件6的前端面与隔壁部12的输出用涂布液收容室侧的内表 面成为一个面的位置，下面称作初始位置)上。此时，预先使开闭阀21a、 21b、 21c、 21d全部处于闭锁状态，但为了使涂布液推压部件6顺利地动作， 也可预先开放开闭阀21c，从而可通过空气排出管19来吸入外部大气。 (涂布液供给工序) 接着，如图3所示，开放开闭阀21a，将储藏在涂布液箱体1中的涂布液通过涂布液供给管17向输出用涂布液收容室13内供给。此时，开放开闭阀21c，通过空气排出管19将输出用涂布液收容室13内的空气排出。 空气排出管19设置在与涂布液供给管17相反的一侧的位置的、输出用涂 布液收容室13的最高位置上。因此，输出用涂布液收容室13内的空气可 顺利地排出，不会残留在内部。另外，最好开闭阀21c因涂布液从空气排 出管19溢出而闭锁，从而停止供给。另外，向输出用涂布液收容室13内 供给后的涂布液也经由在隔壁部12上形成的贯穿孔16流入到排出用涂布 液收容室14内(此时，也可预先开放开闭阀21d，将排出用涂布液收容室 14内的空气从涂布液排出管20排出。另外，最好开闭阀21d也与所述开闭 阀21c—样，因涂布液从涂布液排出管20溢出而闭锁)。 (涂布液输出工序) 若像这样向(包括排出用涂布液收容室14在内)输出用涂布液收容室 13内供给涂布液后(在此状态下，将曾经开放的所有开闭阀21a、 21c (根 据需要，也包括21d)闭锁)，则如图4所示，开放开闭阔21b，驱动驱动 部件7的电动机26，使滚珠丝杠27旋转，从而使涂布液压出部件6前进。 涂布液压出部件6进入输出用涂布液收容室13内，填充在内部的涂布液经 由涂布液输出管18向涂布液输出装置3输出。此时，涂布液大致从先供给 到输出用涂布液收容室13内的涂布液开始依次经由涂布液输出管18输出， 即以所谓的先入先出的方式输出。另外，在涂布液输出装置3中，像以往 公知的那样，例如在PDP的表面上覆盖涂布液。因此，不会出现旧涂布液 残留在输出用涂布液收容室13内的情况，可始终以良好的状态进行涂布作 业。此时，也可使开闭阀21c开放一定时间，从而通过空气排出管19将混入涂布液中的空气从上方排出。 (第二次以后的准备工序) 若涂布液的输出结束，则如图5所示，驱动驱动部件7的电动机26反 转，使涂布液压出部件6向所述初始位置后退。另外，闭锁开闭阀21b。此 时，开放开闭阀21a，经由涂布液供给管17开始向输出用涂布液收容室13 内供给涂布液。由于对应于使涂布液压出部件6后退而增大的空间体积，
依次向输出用涂布液收容室13内供给涂布液，因此在初始准备工序后的涂 布液供给工序中，如上所述，开闭阀21c可以维持闭锁状态。 (夹杂物除去工序) 通过反复进行上面的工序来进行涂布作业。但是，也可能因第一密封部件11滑动接触涂布液压出部件6的外周面而导致涂布液固化或变性。但 是，涂布液压出部件6以贯穿涂布液回收部22的形态设置。即，在每次往 复移动时，涂布液压出部件6与所述第一密封部件11的滑动接触部分会进 入清洗液内，会使涂布液溶解。另外，在涂布液回收部22的前方侧设置有 排出用涂布液收容室14。因此，固化或变性了的涂布液不会进入输出用涂 布液收容室13内，可将涂布作业长时间维持在良好状态。另外，根据需要，只要如图6所示地在所述初始位置上仅开放开闭阀 21a及开闭阀21d，向输出用涂布液收容室13内供给涂布液，经由涂布液 排出管20将排出用涂布液收容室14内的涂布液排出即可。由此，即使在 涂布液压出部件6的外周面上固化(变性)后的涂布液未被涂布液回收部 22回收而残留在涂布液收容部件5内，这也只是在排出用涂布液收容室14 内，而并非在输出用涂布液收容室13内，而且该处的涂布液可经由涂布液 排出管20排出到外部。因此，可将输出用涂布液收容室13内的涂布液始 终维持在没有夹杂物的良好状态，可长时间顺利进行涂布作业。 (第2实施形态)图7表示的是第2实施形态的涂布液供给装置2。与上述第1实施形 态的装置的不同点在于，该涂布液供给装置2没有排出用涂布液收容室14。艮口，在图7中没有隔壁部12，涂布液收容部件5内部仅由输出用涂布 液收容室13构成。另外，对于涂布液在涂布液压出部件6的外周面上固化 (变性)，仅通过使其在涂布液回收部22内的清洗液中溶解来应对。因此， 最好在涂布液回收部22上具有可更换清洗液的结构。此时，清洗液可根据 更换时间特定信息进行更换。作为更换时间特定信息，除了自使用开始起 的时间和涂布液压出部件6的实际往复次数之外，可使用通过直接用传感 器对清洗液的污浊情况进行检测(例如通过利用光传感器来检测透射率) 而获得的信息等。另外，也可以在涂布液回收部22上分别连接供给清洗液的清洗液供给管(未图示)和将清洗液从涂布液回收部22排出的清洗液排出管(未图示)，在各配管上设置开闭阀(未图示)，利用泵(未图示) 等来进行清洗液的自动供给和排出。另外，还可利用蒸馏回收装置等对从涂布液回收部22排出的清洗液进行再利用，使其向涂布液回收部22回流。 另外，若是仅设置有所述涂布液回收部22的结构，则如图8所示，涂 布液压出部件6可以与以往一样，做成使活塞32与缸33的内周面滑动接 触的结构。此时，最好在涂布液回收部22，即与缸33内部被活塞32分割 而成的后方侧空间连通的配管上设置开闭阀21e、 21f，在与前方侧空间连 通的配管上分支设置涂布液供给管17和涂布液排出管18。另外，当活塞 32前进时，开放开闭阀21e，供给清洗液(此时预先使开闭阀21f闭锁)， 当使活塞32后退时，开放开闭阀21f，排出清洗液(此时预先使开闭阀21e 闭锁)。但是，开闭阀21e和开闭阀21f并非必须，也可以是清洗液可从 另行设置的清洗液箱体(未图示)自由出入缸33内的结构。 (第3实施形态)图9表示的是第3实施形态的涂布液供给装置2。与上述第1实施形 态的装置的不同之处在于，该涂布液供给装置2没有涂布液回收部22。在该涂布液供给装置2中，若涂布液因与设在第一密封壁9的第一插 通孔8内的第一密封部件11滑动接触或与外部大气接触而在涂布液压出部 件6的外周面固化等、从而成为夹杂物，则该夹杂物可经由涂布液排出管 20排出到外部。因此，夹杂物不会混入到输出用涂布液收容室13内，可将 涂布作业长时间维持在良好状态。另外，在上述各实施形态中，涂布液供给装置2横向配置，即配置成 使涂布液压出部件6沿水平方向往复移动，但涂布液供给装置2也可以纵 向配置，即配置成使涂布液压出部件6沿铅垂方向往复移动。
权利要求
1.一种涂布液供给装置，其特征在于，包括涂布液收容部件，该涂布液收容部件具有可将收容的涂布液输出的涂布液流动部；以及涂布液压出部件，该涂布液压出部件插入在所述涂布液收容部件内，并通过所述涂布液流动部将收容在所述涂布液收容部件内的涂布液向外部输出，所述涂布液收容部件在所述涂布液压出部件的插入部上具有涂布液回收部，该涂布液回收部用于回收经由该插入部漏出的涂布液。
2. 如权利要求1所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述涂布液回 收部由清洗室构成，在该清洗室内填充有使所述涂布液溶解的清洗液。
3. 如权利要求1或2所述的涂布液供给装置，其特征在于， 所述涂布液压出部件可相对于所述涂布液收容部件的内周面保持规定间隔地往复移动，所述涂布液回收部由排出用涂布液收容室构成，所述排出用涂布液收容室 利用隔壁部在所述涂布液收容部件内形成，所述隔壁部具有将所述涂布液压出 部件可滑动地引导的导向孔，所述排出用涂布液收容室具有可供给或排出所述涂布液的结构。
4. 如权利要求3所述的涂布液供给装置，其特征在于， 所述涂布液收容部件的涂布液流动部包括涂布液供给部，该涂布液供给部设在所述涂布液压出部件的插入部侧；以及涂布液输出部，该涂布液输出部设在与所述插入部相反的一侧，将已供给 的涂布液输出。
5. 如权利要求3所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述涂布液收容 部件在与所述涂布液供给部相反的一侧的最高位置上具有空气排出部。
6. 如权利要求3所述的涂布液供给装置，其特征在于， 通过在隔壁部上形成的开口部向所述排出用涂布液收容室供给涂布液， 通过涂布液排出部将涂布液从所述排出用涂布液收容室排出，所述涂布液 排出部与所述涂布液输出部分开设置并与所述排出用涂布液收容室连通。
全文摘要
一种涂布液供给装置，该涂布液供给装置能可靠防止从涂布液收容部件漏出的涂布液到达外部。所述涂布液供给装置包括收容涂布液、具有涂布液流动部(18)的涂布液收容部件(5)；以及插入在涂布液收容部件(5)内、通过涂布液流动部(18)将收容在涂布液收容部件(5)内的涂布液向外部输出的涂布液压出部件(6)。涂布液收容部件(5)在涂布液压出部件(6)的插入部(9)上具有涂布液回收部(22)，该涂布液回收部(22)用于回收经由插入部(9)漏出的涂布液。
文档编号B05C11/10GK101209444SQ200710307339
公开日2008年7月2日 申请日期2007年12月27日 优先权日2006年12月27日
发明者甲田正纪, 西尾勤, 近藤尚城 申请人:中外炉工业株式会社