专利名称：一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅领域，尤其涉及一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置。
背景技术：
多晶硅铸锭采用石英坩埚作为容器，多晶硅在其中熔融、冷却、退火结晶。由于普通石英坩埚杂质含量大，高纯坩埚成本又太高，而且坩埚会与熔融硅产生如下反应Si02+Si = 2Si0引起粘埚现象发生，同时对成品电池片电性能不利的氧元素和杂质元素也能混入锭中。所以采用的方法是在普通石英坩埚内壁喷涂一层氮化硅。传统方法采用的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺是将粉末氮化硅和去离子水按照一定配比制成浆状，在常压下喷涂在坩埚内壁，在普通烘箱中烘干。它主要存在以下不足没有注意喷涂和烘干过程中洁净度的需求。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种合理有效、洁净、使用方便、成本较低的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置。为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，包括坩埚、雾化头、氮化硅浆容器、 压缩空气站，所述坩埚通过支架固定，坩埚底端设置有排水口，所述雾化头设置在坩埚内部顶端，所述氮化硅浆容器与雾化头之间通过导管连接，所述导管上连接有压缩空气站。根据本实用新型的另一个实施例，一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置进一步包括所述导管上设置有阀门。根据本实用新型的另一个实施例，一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置进一步包括所述坩埚与水平面呈60°角。根据本实用新型的另一个实施例，一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置进一步包括所述氮化硅浆容器内设置有搅拌器。根据本实用新型的另一个实施例，一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置包括所述氮化硅涂层的致密度为0. 8-1. 8克/立方厘米，厚度为30-200微米。本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，能方便、有效地在石英坩埚内壁喷涂一层氮化硅涂层，阻止高温熔融的硅液与坩埚发生反应，避免出现粘锅现象，同时在坩埚内壁涂覆有氮化硅层，替代了高纯石英坩埚的使用，节约了成本，坩埚底部设置有排水口，将多余的氮化硅溶液收集，可循环利用。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。[0013]
图1是本实用新型的优选实施例的结构示意图；其中1、坩埚，2、支架，3、雾化头，4、氮化硅浆容器，5、导管，6、搅拌器，7、阀门，8、
压缩空气站，9、排水口。
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。如
图1所示的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，包括坩埚1、雾化头3、氮化硅浆容器4、压缩空气站8，所述坩埚1通过支架2固定，坩埚1底端设置有排水口 9，所述雾化头3设置在坩埚1内部顶端，所述氮化硅浆容器4与雾化头3之间通过导5 连接，氮化硅浆容器4内设置有搅拌器6，所述导管5上连接有压缩空气站8。使用时，将氮化硅粉末放入氮化硅浆容器4中，通过搅拌器6与纯水调和，将阀门7 打开，通过压缩空气站8使氮化硅从雾化口 3喷出，从而对坩埚内壁进行喷涂，氮化硅涂层的致密度为0.8-1. 8克/立方厘米，厚度为30-200微米。由于坩埚与水平面呈60°角设置，多余的氮化硅溶液很容易地从排水口流出，收集起来，可以循环利用。以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
权利要求1.一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，包括坩埚(1)、雾化头(3)、氮化硅浆容器G)、压缩空气站(8)，其特征在于所述坩埚(1)通过支架O)固定，坩埚(1) 底端设置有排水口(9)，所述雾化头C3)设置在坩埚(1)内部顶端，所述氮化硅浆容器(4) 与雾化头C3)之间通过导管( 连接，所述导管( 上连接有压缩空气站(8)。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，其特征在于所述导管(5)上设置有阀门(7)。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，其特征在于所述坩埚(1)与水平面呈60°角。
4.如权利要求1所述的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，其特征在于所述氮化硅浆容器内设置有搅拌器(6)。
5.如权利要求1所述的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，其特征在于所述氮化硅涂层的致密度为0. 8-1. 8克/立方厘米，厚度为30-200微米。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，包括坩埚、雾化头、氮化硅浆容器、压缩空气站，所述坩埚通过支架固定，坩埚与水平面呈60°角，坩埚底端设置有排水口，所述雾化头设置在坩埚内部顶端，所述氮化硅浆容器与雾化头之间通过导管连接，氮化硅浆容器内设置有搅拌器，所述导管上连接有压缩空气站。本实用新型能方便、有效地在石英坩埚内壁喷涂一层氮化硅涂层，阻止高温熔融的硅液与坩埚发生反应，避免出现粘锅现象，同时在坩埚内壁涂覆有氮化硅层，替代了高纯石英坩埚的使用，节约了成本，坩埚底部设置有排水口，将多余的氮化硅溶液收集，可循环利用。
文档编号B05C5/00GK202052653SQ201120068758
公开日2011年11月30日 申请日期2011年3月16日 优先权日2011年3月16日
发明者陆国富 申请人:常州市万阳光伏有限公司