专利名称：多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚，属于太阳能电池生产设备的领域。
背景技术：
目前，多晶硅铸锭采用石英坩埚为主要基体材料，高温下石英材料会与液态硅发 生反应，引起粘埚现象。为了尽量防止石英材料与液态硅发生反应，现有的石英坩埚会在表 面涂覆一层氮化硅材料。由于氮化硅属于共价键材料，所以纯氮化硅粉体无法烧结致密。致 密的氮化硅材料必须要在氮气氛保护和高温下液相烧结，且通常致密的氮化硅材料烧结后 的尺寸比烧结前收缩10%以上，所以表面涂覆氮化硅材料很难达到高致密。使用后，会出现 涂层脱落或部分粘埚的现象，无法实现坩埚多次使用。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、能实现重复使用的多晶硅 太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚。为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩 埚，其特点是所含氮化硅的重量比为70-98%且气孔率小于10%的可重复用坩埚为顶部 敞开的正方形立体槽式结构，其长度为50-1500mm，宽度为50-1500mm，高度为20-1000mm。进一步，所述坩埚的四侧壁的倾角为0-45°，壁厚为3_30mm。进一步，所述坩埚为整体式，或为由一面或多面可拆卸的侧壁，并经卡槽或销钉或 螺栓或包裹成一体。本实用新型具有积极的效果⑴本实用新型的多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅 坩埚，由于由高致密度的氮化硅材料(所含氮化硅的重量比为70-98%且气孔率小于10% ) 构成，在高温下该高致密的氮化硅不与液态硅反应，因此使坩埚可以重复使用。(2)可拆卸 式的坩埚可以方便脱模，防止脱模过程对坩埚的损害，以提高坩埚的使用寿命，可使用至少 100次。(3)坩埚材料的气孔率小于10%，使材料不存在连通的气孔，可以阻止高温液态硅 的渗入。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据的具体实施例并结合附 图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图1为实施例中的多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚的剖面结构示意图。
具体实施方式
见图1，本实施例的多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚，所含氮化硅的重量比为 70-98%且气孔率小于10%，以实现重复使用。[0011]坩埚为顶部敞开的正方形立体槽式结构，其长度为50-1500mm，宽度为 50-1500mm，高度为20-1000mm。所述坩埚的四侧壁的倾角为0-45°，壁厚为3_30mm。 所述坩埚为整体式，或为由一面或多面可拆卸的侧壁，并经卡槽或销钉或螺栓或 包裹成一体。上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型 的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出 其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。
权利要求一种多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚，其特征在于所含氮化硅的重量比为70-98％且气孔率小于10％的可重复用坩埚为顶部敞开的正方形立体槽式结构，其长度为50-1500mm，宽度为50-1500mm，高度为20-1000mm。
2.根据权利要求1所述的多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚，其特征在于所述坩 埚的四侧壁的倾角为0-45°，壁厚为3-30mm。
3.根据权利要求2所述的多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚，其特征在于所述坩 埚为整体式，或包括一面或多面可拆卸的侧壁，并经卡槽或销钉或螺栓或包裹成一体。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅太阳能电池铸锭用氮化硅坩埚，其所含氮化硅的重量比为70-98％且气孔率小于10％；可重复用坩埚为顶部敞开的正方形立体槽式结构，其长度为50-1500mm，宽度为50-1500mm，高度为20-1000mm。坩埚的四侧壁的倾角为0-45°，壁厚为3-30mm。坩埚为整体式，或为由一面或多面可拆卸的侧壁，并经卡槽或销钉或螺栓或包裹成一体。由于由高致密度的氮化硅材料构成，在高温下该高致密的氮化硅不与液态硅反应，因此使坩埚可以重复使用并阻止高温液态硅的渗入。可拆卸式的坩埚可以方便脱模，防止脱模过程对坩埚的损害，以提高坩埚的使用寿命，可使用至少50次。
文档编号C30B28/06GK201553616SQ20092025601
公开日2010年8月18日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者冯志峰 申请人:江苏华盛精细陶瓷科技有限公司