锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光材料、制备方法及其应用与流程

技术特征：
1.一种锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：根据aMgO-bMgF2-cGeO2:dMn4+,eTi4+各元素的化学计量比称取MgO、MgF2、GeO2、MnO2和TiO2粉体并混合均匀在900℃～1300℃下烧结0.5小时～5小时制成靶材，其中a为1～6，b为0.05～2，c为0.5～3，d为0.01～0.05，e为0.005～0.03；将所述靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置为1.0×10-3Pa～1.0×10-5Pa；及调整磁控溅射镀膜工艺参数为：基靶间距为45mm～95mm，磁控溅射工作压强0.2Pa～4Pa，工作气体的流量为10sccm～35sccm，衬底温度为250℃～750℃，接着进行制膜，得到化学式为aMgO-bMgF2-cGeO2:dMn4+,eTi4+的锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光薄膜。2.根据权利要求1所述的锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法进一步包括退火处理，该步骤为将制得锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光薄膜在0.01Pa真空炉中退火1～3h，退火温度为500℃～800℃。3.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供具有阳极的衬底；在所述阳极上形成发光层，所述发光层的材料为锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光材料，该锰钛共掺杂氟镁锗酸盐发光材料的化学式为aMgO-bMgF2-cGeO2:dMn4+,eTi4+，其中aMgO-bMgF2-cGeO2是基质，锰元素和钛元素是激活元素，且a为1～6，b为0.05～2，c为0.5～3，d为0.01～0.05，e为0.005～0.03；所述发光层的制备包括以下步骤：根据aMgO-bMgF2-cGeO2:dMn4+,eTi4+，各元素的化学计量比称取MgO、MgF2、GeO2、MnO2和TiO2粉体并混合均匀在900℃～1300℃下烧结0.5小时～5小时制成靶材，a为1～6，b为0.05～2，c为0.5～3，d为0.01～0.05，e为0.005～0.03；将所述靶材以及所述衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置为1.0×10-3Pa～1.0×10-5Pa；调整磁控溅射镀膜工艺参数为：基靶间距为45mm～95mm，磁控溅射工作压强0.2Pa～4Pa，工作气体的流量为10sccm～35sccm，衬底温度为250℃～750℃，接着进行制膜，在所述阳极上形成发光层；在所述发光层上形成阴极。