专利名称：多功能清洗模块及应用该模块的清洗设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平板显示器的制造设备，尤其涉及一种因部件集成化而减小了所需安装空间尺寸的多功能清洗模块，和应用该多功能清洗模块的清洗设备。
背景技术：
图1a是平板显示器制造设备中传统的清洗设备的方框图。图1b是结构示意图。
参照图1a和图1b，传统的清洗设备包括具有装载部分和卸载部分的驱动部，具有O3处理部分、刷部分、喷嘴部分、以及D.I.(去离子水)喷淋部分的清洗部，以及干燥部。
驱动部的装载部分将玻璃基片(图中未示出)送入清洗设备，而驱动部的卸载部分将玻璃基片送出清洗设备。
清洗部清除玻璃基片上的污物和杂质。
干燥部用于干燥经过清洗步骤之后残余在玻璃基片上的清洗剂例如去离子水。
在上述步骤中，玻璃基片通过其下面的支承件进行移动。
可是，在传统的清洗设备中，包含清洗的生产步骤和其它除清洗步骤之外的生产步骤难于衔接地连续进行，这是因为清洗部的安装面积过大，导致降低FAB效率。
发明内容
因此，本发明旨在彻底解决由于上述现有技术的局限性和缺点造成的一个或多个问题。
本发明的目的是提供一种多功能清洗模块，其通过部件集成化而减小了所需地安装空间尺寸，并且能有效地控制FAB空间。
本发明的另一个目的是通过应用该多功能清洗模块从而提高平板显示器的产量。
本发明再一个目的是提供多功能清洗模块中的新的部件。
为了达到发明目的，并根据在此概括的和广义描述的发明目的，本发明包括多个气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀，它们依次被连续地设置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入这些部分中。
此外，根据本发明的清洗设备包括具有一个装载部分和一个卸载部分的驱动部以及多功能清洗模块。
本发明通过下文给出的详细描述和附图将被得到充分的理解。附图仅被作为示意解释用，并不对本发明构成限制，其中图1a是平板显示器生产设备中传统的清洗设备的方框图，图1b是结构示意图。
图2是表示根据本发明的多功能清洗模块的示意性透视图。
图3a是表示根据本发明的多功能清洗模块中的eximer紫外光照射装置的示意图，图3b是图3a的剖面图，图3c是图3b的侧视图。
图4a是表示根据本发明的多功能清洗模块中的高速喷淋装置的视图，图4b是图4a的局部放大图。
图5a是表示高速喷淋装置的另一个实施例的视图，而图5b是图5a的局部放大图。
图6是用于解释图5a和图5b的参考视图。
图7是表示高速喷淋装置另一个实施例的视图。
图8是表示高速喷淋装置另一个实施例的视图。
图9a和9b是表示根据本发明的多功能清洗模块中的V型空气刮刀的视图。
图10是用于解释依照本发明所述多功能清洗模块中的驱动部工作原理的视图。
图11是用于解释驱动部另一个工作原理的视图。
图12a是表示根据本发明的多功能清洗模块中的驱动部的一个实施例的平面图，图12b是图12a的侧视图。
图13a是表示驱动部另一个实施例的平面图，图13b是图13a的侧视图。
图14是根据本发明的一实施例的清洗设备示意性侧视图。
图15是根据本发明的另一个实施例的清洗设备示意性侧视图。
具体实施例方式
下面，将结合附图对本发明的多功能清洗模块和应用该模块的清洗设备做详细的阐述。
图2是表示根据本发明的多功能清洗模块的示意性透视图。
根据本发明的多功能清洗模块包括多个气帘1、eximer紫外光照射装置2、刷3、高速喷淋装置4、和空气刮刀5，它们依次地设置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入这些部分中。
多个气帘1被用来隔绝上述部件之间可能产生的相互干扰。
另一方面，本发明的多功能清洗模块中的每一个包含空气刮刀的部件，和传统的清洗模块相比都做了改进，且各种清洗功能同时作用于玻璃基片。
参照图2，本发明多功能清洗模块有如下构造气帘-eximer紫外光照射装置-刷-高速喷淋装置-气帘-空气刮刀-气帘。而且，根据本发明，对应如下的功能和目的有可能提供各种构造。
1)气帘-刷-高速喷淋装置-气帘-空气刮刀-气帘-eximer紫外光照射装置-气帘2)气帘-eximer紫外光照射装置-气帘-刷-高速喷淋装置-气帘-空气刮刀-气帘-eximer紫外光照射装置-气帘3)气帘-eximer紫外光照射装置-气帘-高速喷淋装置-气帘-空气刮刀-气帘4)气帘-高速喷淋装置-气帘-空气刮刀-气帘-eximer紫外光照射装置-气帘5)气帘-eximer紫外光照射装置-气帘-高速喷淋装置-气帘-空气刮刀-气帘-eximer紫外光照射装置-气帘依照本发明的另一方面，除了用于上述列出的1)-5)的构造，可以应用执行特定功能的其他构造。
例如，高速喷淋装置可以被用作蚀刻装置或显影装置。即，在上述方面，高速喷淋装置喷淋去离子水；而当被用作蚀刻装置或显影装置时，高速喷淋装置喷淋蚀刻剂或显影剂。
下面，将结合附图对依照本发明所述多功能清洗模块中的部件做详细的说明。
eximer紫外光照射装置图3a是表示根据本发明的多功能清洗模块中的eximer紫外光照射装置的示意图。
参照图3a，eximer紫外光照射装置2包括灯壳113、圆柱形石英管115、在圆柱形石英管115内的紫外灯117。
eximer紫外光照射装置2构造成对由紫外灯117产生的O3(臭氧)外流进行补充加压，并维持O3的恒定浓度，O3浓度优选地为50-500ppm。eximer紫外光照射装置2构造为流入口→空气或N2气注入口→流出口→灯壳→流出口→空气或N2气注入口→流出口。
图中，附图标记116代表N2气注入口，箭头A代表空气注入方向，而箭头O代表空气流出方向。另一方面，玻璃基片10下方的箭头代表上浮流体流动的方向。
图3b是图3a的剖面图，图3c是侧视图。
参照图3a和图3b，圆柱形石英管115设有紫外灯117和反射膜115a。通过这种结构，紫外灯117发出的光被汇聚向玻璃基片10，由此提高了光效率。此时，反射膜115a通过镀覆具有光反射特性的物质而制得。
通过N2气注入口注入的N2气使圆柱形石英管115和紫外灯117之间的空隙保持N2气环境下，由此可以减少氧气对紫外光的损耗。
紫外灯117包括多个外电极117a、一内电极117b、和一灯电源117c。
图中，外电极117a设在除S区域之外的区域，从而提高光效率。
下面，将结合附图对紫外光照射过程做详细的说明。
首先，玻璃基片10通过传输装置(图中未示出)被插入该设备，并保持在被下文中将提及的喷射阀悬浮的状态。此时，通过控制从喷射阀喷出的上浮流体的喷射强度，使玻璃基片10和灯壳113之间保持适当的间隙。
其次，空气进入灯壳113，而N2气通过N2气注入口注入圆柱形石英管115内。随后，开启灯电源117c，并从而在外电极117a和内电极117b之间形成电场，从而产生紫外光。此时，为了增加辐射效率，灯电源117c的频率最好为20kHz-200kHz，这类似于灯电源117c的内部气体例如氙、氪、氡保持亚稳态。
由紫外灯117产生的部分紫外光通过圆柱形石英管115照射到玻璃基片10的表面，而其它部分的紫外光被反射膜115a反射并然后照射到玻璃基片10的表面。
高速喷淋装置图4a是表示根据本发明的多功能清洗模块中的高速喷淋装置的视图，而图4b是图4a的局部放大图。
参照图4a和图4b，首先，清洗剂通过具有小面积的流入口30以清洗剂的量为Qs，压力为Ps的状态流入。之后，从流入口30流出的清洗剂的速度从水槽40中的高速变为低速。此外，通过多孔板50的清洗剂变为层流并扩散到玻璃基片的表面上(图中未示出)。
图5a是表示高速喷淋装置另一个实施例的视图，图5b是图5a的局部放大图。图6是用于解释图5a和图5b的参考视图。
参照附图，通过多孔板50产生的层流被连接装置60分层(exfoliated)从而产生旋涡。可以通过控制连接装置60的尺寸a和相邻连接装置的间距b，来消除旋涡。为了避免旋涡，在这个实施例中，间距b是尺寸a的3-5倍。
在图中，Pm是多孔板50下部的压力，h是相邻喷嘴之间的间隙，Fm是作用在间隙h上的力。为了补偿相邻喷嘴之间的间隙的弹性变化而设置了连接装置70。
图7是表示高速喷淋装置另一个实施例的视图。
在这个实施例中，借助于速度能和碰撞能同时对玻璃基片10的上部和下部进行清洗。
图8是表示高速喷淋装置另一个实施例的视图。
在这个实施例中，和图7类似，高速喷淋装置连续设置在一平面上以及上和下部。
图7、图8的结构是以图4-图6为基础。因此其部件的详细描述被省略。
V型空气刮刀图9a和9b是表示根据本发明的多功能清洗模块中的V型空气刮刀的视图。
参照图9a和图9b，根据本发明的V型空气刮刀5包括上和下空气刮刀5a、5b，以及流入孔和流出孔(图中未示出)。
在图9a中，清洗剂被移向玻璃基片10的中心区域；而在图9b中，清洗剂被移向玻璃基片10的边侧区域。
在这个实施例中，玻璃基片10是在V型空气刮刀5静止的状态下移动。但是，也有可能在玻璃基片10是静止的情况下，移动V型空气刮刀5。
驱动部图10是用于解释根据本发明的多功能清洗模块中的驱动部的工作原理的视图。
参照图10，驱动部的喷射阀包括水槽250和多孔板260。
首先，压力为P2、量为Q2的上浮流体流入水槽250，这时，量Q2等同于水槽250中的量Q4，而水槽250中的压力变小。
其次，不考虑能量损耗，假设势能一样，依据关于速度能转化为压力能的伯努利方程，水槽250中的压力P4快速增长。
另一方面，因为多孔板260的直径小，上浮流体在水槽250中压力均匀；并从而通过多孔板260，可以在喷射阀上和玻璃基片10下方维持均匀的压力P6。
接着通过玻璃基片10均匀分布的重量W和均匀喷射压力P6，使喷射阀和玻璃基片10之间保持均匀间隙h，从而玻璃基片10和喷射阀相互间不接触。
标记A代表玻璃基片10的运动方向。
图11是用于解释驱动部另一个工作原理的视图。
在这种情况下，由于喷射压力和清洗剂的重量会引起重心瞬时振动，所以在玻璃基片10的上和下部提供喷射阀。上和下喷射阀各自距玻璃基片10的表面的距离小于1mm地设置；从而上喷射阀提供的压力P1等于下喷射阀提供的压力P2。
图中，标记250a和250b代表水槽，标记260a和260b代表多孔板。
图12a是表示根据本发明的多功能清洗模块中的驱动部的一个实施例的平面图，而图12b是图12a的侧视图。
参照图12a和图12b，驱动部包括驱动辊210、玻璃运输车(cart)270、运输线(wire)280、喷射阀290。
玻璃运输车270通过电力传输线(图中未示出)与驱动辊210相连接。玻璃基片10被喷射阀290浮起，而后被放置在玻璃运输车270中。
图13a是表示驱动部另一个实施例的平面图，图13b是图13a的侧视图。
在这个实施例中，除了图12a和图12b中描述的玻璃运输车270之外，所有部件与前文所述相同。
图14是根据本发明一个实施例的清洗设备的示意性侧视图。
参照图14，清洗设备包括进行装载和卸载玻璃基片10的驱动部340；具有多个气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀的多功能清洗模块300，在此这些部件连续地布置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入其中；用于收集清洗剂350，例如去离子水的支撑板320；以及水槽330。
图中，标记A代表玻璃基片10的运动方向，标记B代表多功能清洗模块300的运动方向。
图15是根据本发明另一个实施例的清洗设备的示意性侧视图。
在这个实施例中，除了多功能清洗模块300是固定的之外，所有的部件与前文所述相同。
根据本发明，通过使用部件集成化的多功能清洗模块，减小了安装面积，并且可以有效地控制FAB空间。
此外，根据本发明，通过使用多功能清洗模块，可以提高平板显示器例如液晶显示装置的产量。
本领域技术人员应理解，以上描述只是所公开装置的优选实施例，而在不违背本发明的范围和精髓的情况下，可以对本发明作出各种改进和变化。
权利要求
1.一种用于平板显示器的多功能清洗模块，包括多个气帘；eximer紫外光照射装置；刷；高速喷淋装置；以及V型空气刮刀，其中，气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀被连续地布置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入它们之中。
2.如权利要求1所述的多功能清洗模块，其特征在于，eximer紫外光照射装置包括灯壳、圆柱形石英管、以及在圆柱形石英管内的紫外灯。
3.如权利要求2所述的多功能清洗模块，其特征在于，紫外灯包括多个外电极、内电极、和灯电源。
4.如权利要求2所述的多功能清洗模块，其特征在于，反射膜设置在圆柱形石英管内以便反射紫外灯产生的紫外光。
5.如权利要求1所述的多功能清洗模块，其特征在于，高速喷淋装置包括清洗剂在其内流动的水槽以及用于使清洗剂变为层流并扩散到玻璃基片的表面上的多孔板。
6.如权利要求5所述的多功能清洗模块，其特征在于，在玻璃基片的上和下部均设置有高速喷淋装置。
7.如权利要求5所述的多功能清洗模块，其特征在于，高速喷淋装置喷淋蚀刻剂或显影剂。
8.如权利要求1所述的多功能清洗模块，其特征在于，V型空气刮刀包括相对于玻璃基片的上空气刮刀和下空气刮刀，以及用于空气的流入孔和流出孔。
9.如权利要求1所述的多功能清洗模块，还包括驱动辊；玻璃运输车；用于运送玻璃运输车的运输线；以及具有水槽和多孔板的喷射阀。
10.一种平板显示器的清洗设备，包括进行装载和卸载玻璃基片的驱动部；具有多个气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀的多功能清洗模块，在此这些部件连续地布置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入其中；用于收集清洗剂的支撑板；以及水槽。
全文摘要
本发明公开了一种多功能清洗模块,包括:多个气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀,在此这些部件被连续的布置在一个平面上,而玻璃基片可以被连续地插入它们之中。也公开了一种应用该多功能清洗模块的清洗设备,其包括:执行装载和卸载玻璃基片的驱动部以及所述多功能清洗模块。
文档编号B65G49/00GK1344590SQ01123278
公开日2002年4月17日 申请日期2001年6月29日 优先权日2000年6月29日
发明者朴庸硕, 韩占烈, 金贞真, 朴炳厚 申请人:株式会社D.M.S