粘结膜带馈送机构的制作方法

专利名称：粘结膜带馈送机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及在部件实装装置中使用的粘结膜贴附装置，特别涉及
(ACF)等的粘结膜的粘结膜贴附装置，以及运送含有作为贴附对象的 带状的粘结膜的粘结膜带的粘结膜带馈送机构。
背景技术：
以往，作为这种粘结膜贴附装置，公知有下述ACF贴附装置从 收容有由ACF部件和覆盖带构成的各向异性导电膜(ACF)带的供给巻 轴将ACF带仅拉出需要的长度(应贴附在粘结对象部件上的长度)，并 令这样拉出的需要的长度的ACF带中作为贴附对象的ACF部件位于作 为粘结对象部件的面板基板上或者电子部件上而进行压接(参照特开 2003-103499号公报)。
图13表示这样的以往的ACF贴附装置的一例。
在图13表示的ACF贴附装置360中，ACF带51从被供给侧驱动轴 312驱动旋转的供给巻轴311放出，并以下述方式被运送经由供给侧 可动辊313以及固定辊314而位于设置在垫板320上的粘结对象部件 52上。另外，ACF带51如图14所示，由ACF部件51a和覆盖带51b 构成，位于粘结对象部件52上的ACF带51中，仅由带切断机构(未 图示)形成切口的ACF部件51a的一部分借助加压机构319而被压接 在粘结对象部件52上，覆盖带51b原样保留。而且通过压接ACF部件 51a而仅残留有覆盖带51b的使用后的ACF带51经由固定辊315以及 回收侧可动辊316而被运送，最终被巻取在由回收侧驱动轴318驱动 旋转的回收巻轴317上而被回收。
在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，在ACF带51的运送 路径上配置张力机构，在对ACF带51施加一定的张力的状态下进行ACF部件51a的贴附过程的各阶段的动作(ACF带51的运送、ACF带51的 定位、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合的动作)。 另外，作为图13所示的以往的ACF贴附装置360中的张力机构， 使用例如图15所示的机构。在图15所示的张力机构370中，ACF带 51挂绕在可动辊371上并被该可动辊371以滚动接触的状态支承。此 外，可动辊371被引导机构372在上下方向上移动自如地引导。在此， 在可动辊371上，经由挂绕在固定辊373、 374上的驱动力传递用绳索 375连结有重锤376,可动辊371始终向一定的方向(图15中为上方) 受到拉引，由此始终对挂绕在可动辊371上的ACF带51施加一定大小 的张力。
此外，作为以往的张力机构，也使用例如图16所示的机构。在图 16所示的张力机构380中，挂绕在固定辊391、 392等上而被运送的 ACF带51挂绕在可动辊381上而被该可动辊381以滚动接触的状态支 承。在此，可动辊381经由连结棒382而与重锤383连结，可动辊381 经由旋转轴384而向一定的方向(图16中为逆时针)旋转，由此对挂 绕在可动辊381上的ACF带51始终施加一定大小的张力。
即，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，借助图15以及 图16所示的张力机构370、 380，利用重锤376、 383被重力吸引的力 等而始终对ACF带51施加一定大小的张力。
但是，公知在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，ACF部件 51a的贴附过程的各阶段的动作(ACF带51的运送、ACF带51的定位、 压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合)时所需要的 张力的大小不同，例如在ACF带51的定位时，需要比较高的张力，在 运送ACF带51、剥离压接后的覆盖带51b、以及ACF带51的自动接合 时需要比较低的张力。
但是，图13所示的以往的ACF贴附装置360中，借助图15以及 图16所示的张力机构370、 380对ACF带51时常地施加一定大小的张 力，所以存在对于ACF带51，不能施加与ACF部件51a的贴附过程的 各阶段的动作(ACF带51的运送、ACF带51的定位、压接后的覆盖带 51b的剥离、以及ACF带51的自动接合)相应的张力的问题。
该情况下，在例如与ACF部件51a的定位时需要的比较高的张力 对应而将对ACF带51赋予的张力设定得较高时，存在下述问题难以高速进行ACF带51的运送，此外，压接后的覆盖带51b的剥离时，覆 盖带51b相对于ACF部件51a的剝离角度变为锐角而易发生ACF部件 51a的翻巻，进而，在ACF带51的自动接合时由于作用有过大的应力 所以易于在ACF带51的自动接合部发生切断，此外，由于始终对ACF 带51施加高的张力，所以存在对于进行ACF带51的供给以及回收的 ACF巻轴(供给巻轴311以及回收巻轴317)施加过大应力的问题。
相反，在与ACF带51的运送、压接后的覆盖带51b的剥离、以及 ACF带51的自动接合时需要的比较低的张力对应而设定对ACF带51赋 予的张力时，存在不能提高定位精度的问题。
此外，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，通过在粘结对 象部件52上压接ACF部件51a而仅残留有覆盖带51b的使用后的ACF 带51最终被巻取到回收巻轴317上而被回收。
但是，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，由于通过将使 用后的ACF带51巻取到回收巻轴317上而回收该ACF带51，所以在回 收巻轴317满了时需要将该回收巻317轴更换为新的回收巻轴(没有 巻取有使用后的ACF带的回收巻轴)，存在由于回收巻轴317的交换动 作的装置的工作效率的降低的问题。
进而，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，被供给侧可动 辊313、固定辊314、 315以及回收侧可动辊316运送的ACF带51需要 在既定的平面(含有相对于粘结对象部件52的ACF部件51a的贴附位 置的平面)内限制了向其宽度方向移动的状态下被运送，以便可高精 度地进行ACF部件51a对粘结对象部件52的贴附。此外，被这样运送 的ACF带51需要以该ACF带51中作为粘结面的ACF部件51a朝向外 侧的状态，即在ACF部件51a与供给侧可动辊313、固定辊314、 315 以及回收侧可动辊316不接触的状态被运送.
因此，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中被运送的ACF带 51，其可得到的运送路径中没有自由度，存在在对ACF贴附装置360 进行各种的构造改变(增加用于将预备的供给巻轴的ACF带自动接合 在现在的供给巻轴的ACF带上的接合机构、或增加用于借助真空吸引 等回收使用后的ACF带的排出机构等)时，不能柔性地与这样的构造 改变对应的问题。

发明内容
本发明是鉴于这样的问题而提出的，目的在于提供一种可提高ACF 带的定位精度，同时可避免伴随着ACF带的运送、压接后的覆盖带的 剥离、以及ACF带的自动接合等而产生的各种的问题的粘结膜贴附装 置。
此外，本发明的目的在于提供一种无需回收巻轴的交换作业而可 提高装置的工作效率的粘结膜贴附装置。
进而，本发明的目的在于提供一种粘结膜带馈送机构，以高自由
度设定由粘结膜贴附装置运送的粘结膜带的运送路径，可柔性^;^应
粘结膜贴附装置的构成的变更等。
本发明作为其第1解决方法提供一种粘结膜贴附装置，其特征在 于，包括供给由粘结膜和覆盖带构成的粘结膜带的供给机构；沿既 定的运送路径运送从上述供给机构供给的粘结膜带的带运送机构；将 由上述带运送机构运送的粘结膜带中作为贴附对象的粘结膜的一部分 压接在粘结对象部件上的带压接机构；回收由于粘结膜的一部分被上 述带压接机构压接而残留的使用后的粘结膜带的回收机构；配置在上 述带运送机构的上述既定的运送路径上且对由上述带运送机构运送的 粘结膜带施加张力的张力机构，上述张力机构具有以滚动接触状态 支承由上述带运送机构运送的粘结膜带的可动辊；在对由上述可动辊 支承的粘结膜带施加张力的状态下移动自如地引导上述可动辊的引导 机构；对由上迷引导机构引导的上述可动辊施加驱动力的驱动力赋予 装置；控制上述驱动力赋予装置，以便根据粘结膜的贴附过程的各阶 段中需要的上述粘结膜带的张力而调整对上述可动辊施加的驱动力的 控制装置。
另外，在本发明的第1解决方法中，优选地是上述张力机构的上 述控制装置在由上述带运送机构运送上述粘结膜带的阶段中减小对上 述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较低的张力。
此外，在本发明的第l解决方法中，优选地是还具有带定位机构， 将由上述带运送机构运送到上述带压接机构的粘结膜带向上述粘结对 象部件推压而进行该粘结膜带的定位，上述张力机构的上述控制装置 在由上述带定位机构进行上述粘结膜带的定位的阶段中增大对上述可 动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较高的张力。进而，在本发明的第1解决方法中，优选地是还具有带剥离机构， 从被上述带压接机构压接在上述粘结对象部件上的粘结膜上剥离覆盖 带，上述张力机构的上述控制装置在借助上述带剥离机构从上述粘结 膜上剥离上述覆盖带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上 述粘结剂膜带赋予比较低的张力。
进而，在本发明的第1解决方法中，优选地是还具有带自动接合 机构，将从上述供给机构供给的粘结膜带的终端部自动接合在从预备 供给机构供给的粘结膜带的始端部上，上述张力机构的上述控制装置 在由上述带自动接合机构自动接合粘结膜带的阶段中减小对上述可动 辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较低的张力。
另外，在本发明的第1解决方法中，上述粘结膜带优选是作为上 述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。
根据本发明的第1解决方法，配置在带运送机构的运送路径上的
装置，并^基^控制装置的控制下根;粘结膜的贴附过程的各阶段中 需要的粘结膜带的张力而调整对可动辊赋予的驱动力。因此，可在例 如基于带运送机构的粘结膜带的运送时，基于带剥离机构的压接后的 覆盖带的剥离时，以及基于自动接合机构的粘结膜带的自动接合时， 将施加给粘结膜带的张力保持为比较低，另一方面，在粘结膜带的定 位时，将对粘结膜带施加的张力保持为比较高。由此，可提高粘结膜 带的定位精度，并且可避免伴随粘结膜带的运送、压接后的覆盖带的 剥离、以及粘结膜带的自动接合等而产生的各种问题。
本发明作为第2解决方法提供一种粘结膜贴附装置，其特征在于， 包括供给由粘结膜和覆盖带构成的粘结膜带的供给机构；沿既定的 运送路径运送从上述供给机构供给的粘结膜带的带运送机构；将由上 述带运送机构运送的粘结膜带中作为贴附对象的粘结膜的一部分压接 在粘结对象部件上的带压接机构；回收由于粘结膜的一部分被上述带 压接机构压接而残留的使用后的粘结膜带的回收机构，上述回收机构 是以在使用后的粘结膜带巻绕在其外周部的一部分上的状态下运送该 粘结膜带的方式被驱动旋转的回收巻轴，包括回收巻轴，构成为将 拉到该回收巻轴的外周部而被固定的使用后的粘结膜带在既定的拉离 位置拉离；回收箱，回收从上述回收巻轴在上述外周部的上述拉离位置被拉离的使用后的粘结膜带。
另外，在本发明的第2解决方法中，优选地是在上述回收巻轴的 上述拉离位置被拉离的上述使用后的粘结膜带在基于自重而在上下方 向上下垂的状态下被运送到上述回收箱。
此外，在本发明的笫2解决方法中，优选地是上述回收巻轴在其 外周部设置有多个真空吸引部，并构成为通过与上述回收巻轴的旋转 联动地切换上述各真空吸引部的p及引状态，上述外周部中仅位于该回 收巻轴的上半部分的部分始终为吸引状态。
进而，在本发明的第2解决方法中，优选地是巻绕在上述回收巻 轴上的上述使用后的粘结膜带以该粘结膜带中所含有的覆盖带中没有 附着上述粘结膜一侧的面与上述回收巻轴的上述外周部接触的状态被 巻绕，
另外，在本发明的第2解决方法中，优选地是上述粘结膜带是作 为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带.
根据本发明的第2解决方法，在借助被驱动旋转的回收巻轴，以 使用后的粘结膜带巻绕在其外周部的一部分上的状态运送该粘结膜带 后，将粘结膜带在该回收巻轴的下游侧的既定的拉离位置处拉离，并 最终借助回收箱进行回收，所以可无需回收巻轴的交换而提高装置的 工作效率。
本发明作为其笫3解决方法提供一种粘结膜带馈送机构，运送含 有带状的粘结膜的粘结膜带，其特征在于，包括第1带馈送机构， 对在笫1平面内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与上述笫1平面不 同的第2平面运送该粘结膜带；笫2带馈送机构，为了使以被上述第l 带馈送机构施加有扭转的状态被运送的粘结膜带在上述笫2平面内运 送，使施加在该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。
另外，在本发明的笫3解决方法中，上述第1带馈送机构优选地 是具有位于上述笫1平面内的直径比较大的大辊、和以相对于上述第1 平面倾斜的状态位于比该大辊靠下游侧的直径比较小的小辊。此外， 上述笫2带馈送机构优选地是具有位于上述第2平面内的直径比较大 的大辊、和以相对于上述第2平面倾斜的状态位于比该大辊靠上游侧 的直径比较小的小辊。
此外，在本发明的第3解决方法中，上述大辊优选地是具有凹型槽，该凹型槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截面为矩形。此外， 上述小辊优选地是具有倒梯形槽，该倒梯形槽具有与粘结膜带的宽度 对应的大小且截面为倒梯形.
进而，在本发明的笫3解决方法中，优选地是被上述第1带馈送 机构以及上述第2带馈送机构运送的粘结膜带是其上游侧的部分和下 游侧的部分相互立体地交叉。
此外，在本发明的第3解决方法中，优选地是上述粘结膜带是作 为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。
根据本发明的第3解决方法，借助第1带馈送机构对在第1平面 内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与第1平面不同的第2平面运送 该粘结膜带，之后，借助第2带馈送机构，为了使以被第1带馈送机 构施加有扭转的状态下运送的粘结膜带在第2平面内运送，使施加在 该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。因此，被第1带馈 送机构以及第2带馈送机构运送的粘结膜带的运送路径位于相互不同 的两个平面(第1平面以及第2平面)内，粘结膜带能够以其上游侧 的部分和下游侧的部分相互立体交叉的状态被运送。因此，能够以高 自由度设定在粘结膜贴附装置中运送的粘结膜带的运送路径，即便在 设置接合机构或排出机构等而在粘结膜带的运送路径中产生变更时， 也可柔性地对应这样的构成变更。此外，通过这样的配置，可将供给 粘结膜带的供给机构、和对粘结膜带施加张力的张力机构配置在两个 平面上，进而可将粘结膜贴附装置的各机构配置在多个平面上而不是 一个平面上，所以可进行小型化以及有效的配置.
此外，根据本发明的第3解决方法，在第1带馈送机构中，使用 位于第1平面内的直径比较大的大辊、和以相对于第1平面倾斜的状 态位于比该大辊靠下游侧的直径比较小的小辊，对在笫1平面内运送 的粘结膜带施加扭转，此外，在第2馈送机构中，使用位于第2平面 内的直径比较大的大辊、和以相对于第2平面倾斜的状态位于比该大 辊靠上游侧的直径比较小的小辊，令由第1带馈送机构施加有扭转的 粘结膜带的扭转复元，则可稳定地进行粘结膜带的运送路径的变更。


图1是表示本发明的一实施方式的粘结膜贴附 置概略图.图2是用于详细说明图1所示的粘结膜贴附装置中使用的张力机 构的图。
图3是用于详细说明图1所示的粘结膜贴附装置中使用的带定位 机构的图。
图4是用于详细说明图1所示的粘结膜贴附装置中使用的带剥离 机构的图。
图5是表示图1所示的粘结膜贴附装置的变形例的概略图。 图6A以及图6B是表示图1所示的粘结膜贴附装置的供给侧上设 置的粘结膜带馈送机构的详细情况的图。
图7A以及图7B是表示图1所示的粘结膜贴附装置的回收侧上设
置的粘结膜带馈送机构的详细情况的图。
图8是表示图6A、图6B、图7A以及图7B所示的粘结膜带馈送机
构中含有的大辊的图。
图9是表示图6A、图6B、图7A以及图7B所示的粘结膜带馈送机
构中含有的小辊的图。
图IO是表示本发明的其他实施方式的粘结膜贴附装置的概略图。 图ll是表示图10所示的粘结膜贴附装置中使用的粘结膜带的局
部放大剖视图。
图12是表示图10所示的粘结膜贴附装置的回收巻轴的详细情况 的图。
图13是表示以往的粘结膜贴附装置的概略图。
图14是表示由粘结膜贴附装置运送的粘结膜带的局部放大图。
图15是表示在以往的粘结膜贴附装置中使用的张力机构的一例的图。
图16是表示在以往的粘结膜贴附装置中使用的张力机构的其他例 的图.
具体实施例方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。 首先，借助图1以及图9对本发明的一实施方式的粘结膜贴附装 置进行说明。
如图1所示，本实施方式的ACF贴附装置(粘结膜贴附装置)10是将作为粘结膜的各向异性导电膜(ACF)贴附在面板基板或电子部件 等的粘结对象部件上的装置，包括供给由ACF部件和覆盖带构成的 ACF带(粘结膜带)51的供给机构11;沿既定的运送路径运送从供给 机构11供给的ACF带51的带运送机构15;将由带运送机构15运送的 ACF带51中作为贴附对象的ACF部件的一部分压接在粘结对象部件52 上的带压接机构33;回收由于ACF部件的一部分被带压接机构33压接 而主要仅残留覆盖带的使用后的ACF带51的自动回收机构40。
其中，供给机构11具有巻绕并收容ACF带51的供给巻轴12、和 以从供给巻轴12放出ACF带51的方式驱动供给巻轴12旋转的供给侧 驱动轴13。另外，在供给机构11的供给巻轴12的附近设置自动接合 机构38，将从供给巻轴l2供给的ACF带51的终端部自动接合在从预 备的供给巻轴(未图示)供给的ACF带(未图示)的始端部上。
带运送机构15作为以滚动接触状态支承ACF带51的辊具有固定 辊16、 17、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)18、固定辊24、 25以及粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27，以该顺序拉绕 从供给机构11供给的ACF带51。
在此，可在这样的带运送机构15的运送路径上配置供给側张力机 构n以及回收侧张力机构32，对由带运送机构15运送的ACF带51施 加张力.
具体而言，如图1以及图2所示，供给侧张力机构31具有以滾 动接触的状态支承由带运送机构15运送的ACF带51的供给侧可动辊 23、和在对由供给侧可动辊23支承的ACF带51赋予张力的状态下移 动自如地引导供给侧可动辊23的供给侧可动辊引导机构31a。
此外，回收侧张力机构32具有以滚动接触的状态支承由带运送 机构15运送的ACF带51的回收侧可动辊26、和在对由回收侧可动辊 26支承的ACF带51赋予张力的状态下移动自如地引导回收侧可动辊 26的回收侧可动辊引导机构32a。
另外，供给侧张力机构31以及回收侧张力机构32都如图2所示， 具有对由供给侧可动辊引导机构31a(或者回收侧可动辊引导机构32a) 引导的供给侧可动辊23 (或者回收侧可动辊26)施加驱动力的驱动力 赋予装置61、和控制驱动力赋予装置61以便根据ACF部件的贴附过程 的各阶段所需要的ACF带51的张力而调整对供给侧可动辊23(或者回收侧可动辊26)施加的驱动力的控制装置67。另外，驱动力赋予装置 61具有连接在供给侧可动辊23 (或者回收侧可动辊26 )上的驱动力 传递带64、挂绕在驱动力传递带64上的从动辊62以及驱动辊63、对 驱动辊63施加扭矩而进行驱动的扭矩赋予装置65以及驱动马达66(由 控制装置67控制的驱动马达)。
若回到图l继续说明，则包含在带运送机构15中的粘结膜带馈送 机构(供给侧立体运送机构)18具有第1带馈送机构121 (供给侧立 体运送用固定辊123、 124)以及第2带馈送机构122 (供给侧立体运 送用固定辊125、 126)，构成为可一边改变运送ACF带51的平面一边 立体地运送ACF带51。进而，粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机 构)27具有第1带馈送机构127 (回收侧立体运送用固定辊129、 130) 以及回收侧立体运送用固定辊131,构成为可一边改变运送ACF带51 的平面一边立体地运送ACF带51.另外，粘结膜带馈送机构(供给側 立体图运送机构18以及回收侧立体运送机构27)的详细描述如后述。
带压接机构33具有ACF粘着机构35，向载置粘结对象部件52的 垫板34、和载置在垫板34上的粘结对象部件52推压由带运送机构15 运送来的ACF带51，由此将ACF带51中成为贴附对象的ACF部件(参 照图3的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。
在此，在带压接机构33的附近，如图1以及图3所示，设置有 带切断机构36，在ACF带51的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件 52上的部分的两端位置上形成切口 51c;带拉出机构37，令由带运送 机构15运送的ACF带51拉出应贴附到粘结对象部件52上的需要的长 度并位于粘结对象部件52上.另外，如图3所示，基于带切断机构36 的ACF带51的切断仅对ACF部件51a进行，不对覆盖带51b进行。
此外，在带压接机构33的附近，如图1以及图3所示，设置带定 位机构39、 39，将由带运送机构15运送到带压接机构33的ACF带51 向粘结对象部件52推压而进行该ACF带51的定位。
进而，在带压接机构33的附近，如图4所示，设置带剥离机构45， 从由带压接机构33压接在粘结对象部件52上的ACF部件51a上剥离 覆盖带51b。
若回到图l进而说明，则自动回收机构40具有回收巻轴41，以 使用后的ACF带51巻绕在其外周槽41a的一部分上的状态运送该ACF带51;驱动回收巻轴41旋转的回收侧驱动轴42;回收由回收巻轴41 运送的使用后的ACF带51的回收箱44。在此，回收巻轴41中，在巻 绕ACF带51的外周槽41a上设置多个真空吸引孔，通过与回收巻轴41 的旋转联动地切换各真空吸引孔的吸引状态而使外周槽41a中仅位于 回收巻轴41的上半部分的部分始终处于吸引状态。
接着，对这样构成的ACF贴附装置10的动作进行说明。
在图1所示ACF贴附装置10中，ACF带51，借助供给机构11从 由供给侧驱动轴13驱动旋转的供给巻轴12被放出，以下述方式运送 经由固定辊l6、 l7、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)l8、 供给侧可动辊23 (供给侧张力机构31)以及固定辊24而位于载置在 压接机构33的垫板34上的粘结对象部件52上.
更具体而言，在由带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带51的状态下， 若令供给巻轴12伴随着供给侧驱动轴13的旋转驱动而向图示方向旋 转，则ACF带从供给巻轴12放出，并且该ACF带51经由带运送机构 15 (特别是固定辊16、 17、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构) 18以及供给侧可动辊23)而被运送，在该ACF带51上产生爭>弛。在 此，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置67的控制下，借助驱 动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递 带64向图2的实线的箭头方向移动，由此在对ACF带51施加一定张 力的状态下令由供给侧可动辊引导机构31a引导的供给侧可动辊23上 升。另外，此时，供给侧张力机构31的控制装置67以减小对供给侧 可动辊23施加的驱动力的方式控制驱动马达66，由此，在由带运送机 构15运送ACF带51的阶段中，对ACF带51赋予比较低的张力。
而且，若供给侧可动辊23上升而到达上限位置，则停止供给侧驱 动轴13的旋转驱动以及驱动马达66的驱动。由此，成为下述状态， 即，从供给机构11的供给巻轴12临时放出应贴附到粘结对象部件52 上所需的长度的ACF带51，并储存在供给巻轴12和固定辊24之间。
在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的 夹紧，并且停止供给侧驱动轴13的旋转驱动，若在该状态下，借助带 拉出机构37将ACF带51向图示方向拉出，则由供给侧张力机构31的 供给侧可动辊引导机构31a保持的供给侧可动辊23开始下降，储存在 供给巻轴12和固定辊24之间的ACF带51向图示的方向移动.在此，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置67的控制下，借助驱动马 达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64 向图2的虚线的箭头方向移动，由此，在向ACF带51施加一定的张力 的状态下令由供给侧可动辊引导机构31a引导的供给侧可动辊23下 降。另外，此时，供给侧张力机构31的控制装置67以减小对供给侧 可动辊23施加的驱动力的方式控制驱动马达66，在由带运送机构15 运送ACF带51的阶段中，对ACF带51施加比较低的张力。由此，在 供给侧可动辊23下降而到达下限位置时，令ACF带51中应贴附在粘 结对象部件52上的ACF部件位于粘结对象部件52上。
之后，借助设置在带压接机构33的附近的带定位机构39、 39，如 图3所示，将由带运送机构15运送到压接机构33处的ACF带15向粘 结对象部件52推压，并进行该ACF带51的定位。此时，在供给侧张 力机构31中，在基于控制装置67的控制下，由驱动马达66以及扭矩 赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64向图2的实线 箭头方向移动而令供给侧可动辊23仅上升既定的距离。由此，在借助 带定位机构39、 39进行ACF带51的定位的阶段中，可加大对供给侧 可动辊23施加的驱动力而对ACF带51赋予比较高的张力。
而且，在带压接机构33中，令ACF粘着机构35向载置在垫板34 上的粘结对象部件52移动，推压借助带定位机构39、 39定位在粘结 对象部件52上的ACF带51，由此将ACF带51中成为贴附对象的ACF 部件(图3的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。另 外，此时，在ACF带51的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件52上 的部分的两端位置上，借助带切断机构36在既定的时刻切入切口 51c。
之后，借助设置在带压接机构33的附近的带剥离机构45,如图4 所示，从被带压接机构33压接在粘结对象部件52上的ACF部件51a 上剥离覆盖带51b。此时，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置 67的控制下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱 动，令驱动力传递带64向图2的虛线的箭头方向移动而令供给侧可动 辊23仅下降既定的距离。由此，在借助带剥离机构45进行覆盖带51b 的剥离的阶段中，减小对供给侧可动辊23施加的驱动力而对ACF带51 施加比较低的张力。
而且，最终，这样压接ACF部件51a而主要仅残留覆盖带51b的使用后的ACF带51经由固定辊25、回收侧可动辊26 (回收侧张力机 构32)以及粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27而被运送， 最终，由自动回收机构40回收。
更具体而言，在借助带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带51的状态 下，若令回收巻轴41伴随回收侧驱动轴24的驱动旋转而向图示的方 向旋转，则回收巻轴41以使用后的ACF带51巻绕在其外周槽41a的 一部分上的状态运送该ACF带51。即，回收巻轴41通过与其旋转联动 地切换各真空吸引孔的吸引状态，使外周槽41a中的仅位于回收巻轴 41上半部分的部分始终处于吸引状态，在回收巻轴41的外周槽41a上， 仅将在上游侧被拉近并固定的使用后的ACF带51运送小于一周的既定 长度，之后在下游侧的既定的拉离位置被拉离。由此，从回收巻轴41 在外周槽41a的拉离位置被拉离的使用后的ACF带51在其自重作用下 以在上下方向上(可动辊26的移动方向)下垂的状态运送，最终由回 收箱44回收。另外，巻绕在回收巻轴41上的使用后的ACF带51以该 ACF带51中所包含的覆盖带51b中没有贴附ACF部件51a—侧的面(图 3所示的覆盖带51b则为其上表面)与回收巻轴41的外周槽41a接触 的状态被巻绕。
另外，在上述这样的借助自动回收机构40回收使用后的ACF带51 的过程中，在回收侧张力机构32中，产生向下方拉引使用后的ACF带 51的力。在此，在回收侧张力机构32中，在基于控制装置67的控制 下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱 动力传递带64向图2的虚线箭头方向移动，由此在对ACF带51施加 一定张力的状态下令由回收侧可动辊引导机构32a引导的供给侧可动 辊26下降。另外，此时，回收侧张力机构32的控制装置67以减小对 回收侧可动辊26施加的驱动力的方式控制驱动马达66,在这样通过带 运送机构15运送ACF带51的阶段中，对ACF带51赋予比较低的张力。
而且，若回收侧可动辊26下降而到达下限位置，则停止回收侧驱 动轴42的旋转驱动以及驱动马达66的驱动。
在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的 夹紧，并停止回收侧驱动轴42的旋转驱动，在该状态下，若借助带拉 出机构37向图示方向拉出ACF带51，则应由自动回收机构40回收的 使用后的ACF带51产生松弛。在此，在回收侧张力机构32中，在基于控制装置67的控制下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动 辊63进行驱动，令驱动力传递带64在图2的实线箭头方向移动，由 此，在对ACF带51施加一定张力的状态下令由回收侧可动辊引导机构 32a引导的供给侧可动辊23上升。另外，此时，回收侧张力机构32的 控制装置67以减小对回收侧可动辊26施加的驱动力的方式控制驱动 马达66，在这样借助带运送机构15运送ACF带51的阶段中，对ACF 带51赋予比较低的张力。而且，若借助带拉出机构37将应贴附在粘 结对象部件52上的所需的长度的ACF带51拉出，则回收侧可动辊26 上升而到达上限位置，所以该时刻，停止回收侧驱动轴42的旋转驱动 以及驱动马达66的驱动。 粘结膜带馈送机构
在此，借助图1、图6A以及图6B对设置在ACF贴附装置10的供 给侧的粘结膜带馈送机构(供给侧立体馈送机构)18的详细结构进行 说明.另外，图6A是表示图1所示的粘结膜带馈送机构18的详细结 构的俯视图，图6B是表示图1以及图6A所示的粘结膜带馈送机构18 的ACF带51的运送路径的概略图'
如图1、图6A以及图6B所示，粘结膜带馈送机构18具有第1 带馈送机构121， 一边对在第1平面P,内运送的ACF带51施加扭转一 边向与笫1平面P!不同的笫2平面P2运送该ACF带51;第2带馈送机 构122，为了使以由第1带馈送机构121施加有扭转的状态被运送的 ACF带51在第2平面P2内运送，4吏施加在该ACF带51上的扭转复元， 同时运送该ACF带51。
其中，第1带馈送机构121具有位于笫1平面P,内的直径比较大 的大辊123、和以相对于第1平面Pi倾斜的状态位于比该大辊123还 下游侧的直径比较小的小辊124。此外，第2带馈送机构122具有位于 第2平面P2内的直径比较大的大辊126、和以相对于第2平面P2倾斜 的状态位于比该大辊126还上游侧的直径比较小的小辊125。另外，第 1带馈送机构121的大辊123以及小辊124分别由固定在支承体137上 的支轴123a、 124a旋转自如地支承。此外，第2带々黄送机构122的大 辊126以及小辊125分别由固定在支承体138上的支轴126a、 125a旋 转自如地支承。
在此，第1带馈送机构121以及第2带馈送机构122中含有的各大辊l23、 1W如图8所示，具有凹型槽l41，该凹型槽具有与ACF带 51的宽度对应的大小且截面为矩形状。此外，第1带馈送机构121以 及笫2带馈送机构122中含有的各小辊124、 125如图9所示，具有倒 梯形槽1"，该倒梯形槽142具有与ACF带51的宽度对应的大小且截 面为倒梯形。
接着，对由这样的结构构成的粘结膜带馈送机构18的作用进行说明。
首先，从供给机构11的供给巻轴12放出而在第1平面P,内被运 送的ACF带51在第1带馈送机构121中被位于第1平面P！内的大辊 U3运送后，由设置在大辊123的下游侧附近的小辊124运送。在此， 小辊124以相对于第1平面P,倾斜的状态布置，从大辊123送出的ACF 带51在向其施加有扭转的状态下被送出到第2带送出机构122。另外， 为了防止ACF带51从大辊123以及小辊124分离，从大辊123送出ACF 带51的位置和向小辊124送入ACF带51的位置优选在同一平面(第1 的平面PJ内(参照图6A)。
接着，从第1带馈送机构121的小辊124以施加有扭转的状态被 送出的ACF带51在第2带馈送机构122中被设置在位于第2平面P2 内的大辊126的上游侧附近的小辊124运送，之后，净皮大辊126运送。 另外，由大辊126运送的ACF带51向位于笫2平面P2内的供给侧可动 辊23送出。在此，小辊125以相对于第2平面P2倾斜的状态布置，从 第1带馈送机构121的小辊124送出的ACF带51， 一边复元施加在其 上的扭转一边被送出到大辊126。另外，为了防止ACF带51从小辊125 以及大辊126分离，从小辊125送出ACF带51的位置和向大辊126送 入ACF带51的位置优选在同一平面(第2平面P2)内(参照图6A)。
另外，如上那样由第1带馈送机构121以及第2带馈送机构122 运送的ACF带51，由于其运送路径位于相互不同的两个平面(第1平 面P!以及第2平面P2)内，所以可在ACF带51的上游侧部分和下游側 部分相互立体交叉的状态下进行运送。
接着，借助图1、图7A以及图7B对设置在ACF贴附装置10的回 收侧的粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27的详细结构进行 说明。另外，图7A是表示图1所示的粘结膜带馈送机构27的详细结 构的俯视图，图7B是表示图1以及图7A所示的粘结膜带馈送机构27的ACF带51的运送路径的概略图。另外，在图7A以及图7B中，在图 1所示的粘结膜带馈送机构27中，以在回收侧立体运送用固定辊131 的下游侧使用与回收侧立体运送用固定辊129相同的固定辊而不是如 图1所示的回收巻轴41的情况为例进行说明.
如图1、图7A以及图7B所示，粘结膜带馈送机构27具有第1 带馈送机构127， 一边对在笫1平面P3内运送的ACF带51施加扭转一 边向与第1平面P3不同的第2平面P4运送该ACF带51;第2带馈送机 构128,为了使以由笫1带馈送机构127施加有扭转的状态^皮运送的 ACF带51在第2平面P4内运送，^_施加在该ACF带51上的扭转复元， 同时运送该ACF带51。
其中，第1带馈送机构127具有位于笫1平面P3内的直径比较大 的大辊129、和以相对于第1平面P3倾斜的状态位于比该大辊129还 下游侧的直径比较小的小辊130。此外，第2带馈送机构128具有位于 第2平面P4内的直径比较大的大辊132、和以相对于第2平面P4倾斜 的状态位于比该大辊132还上游侧的直径比较小的小辊131。另外，第 1带馈送机构127的大辊129以及小辊130分别由固定在支承体139上 的支轴129a、 130a旋转自如地支承。此外，第2带馈送机构128的大 辊132以及小辊131分别由固定在支承体140上的支轴132a、 131a旋 转自如地支承。
在此，第1带馈送机构127以及第2带馈送机构128中含有的各 大辊129、 132如图8所示，具有凹型槽141，该凹型槽具有与ACF带 51的宽度对应的大小且截面为矩形状.此外，第1带馈送机构127以 及第2带馈送机构128中含有的各小辊130、 131如图9所示，具有倒 梯形槽142，该倒梯形槽142具有与ACF带51的宽度对应的大小且截 面为倒梯形。
接着，对由这样的结构构成的粘结膜带馈送机构27的作用进行说明。
首先，经由回收侧可动辊26而在第1平面P3内^^运送的ACF带 51在笫1带馈送机构127中被位于第1平面P3内的大辊129运送后， 由设置在大辊129的下游侧附近的小辊130运送。在此，小辊130以 相对于笫1平面P3倾斜的状态布置，从大辊129送出的ACF带51以向 其施加有扭转的状态被送出到第2带送出机构128.另外，为了防止ACF带51从大辊I"或者小辊130分离，从大辊129送出ACF带51的 位置和向小辊1S0送入ACF带51的位置优选在同一平面(第1的平面 P3)内(参照图7A)。
接着，从第1带馈送机构127的小辊130以施加有扭转的状态被 送出的ACF带51在第2带馈送机构128中被设置在位于第2平面P4 内的大辊132的上游侧附近的小辊131运送，之后，被大辊132运送。 另外，由大辊132运送的ACF带51向作为位于第2平面P4内的排出机 构的回收箱44送出.在此，小辊131以相对于第2平面P4倾斜的状态 布置，从第1带馈送机构l27的小辊130送出的ACF带51， 一边复元 施加在其上的扭转一边被送出到大辊132。另外，为了防止ACF带51 从小辊131以及大辊132分离，从小辊131送出ACF带51的位置和向 大辊132送入ACF带51的位置优选在同一平面(第2平面P4)内(参 照图7A)。
另外，如上那样由第1带馈送机构127以及笫2带馈送机构128 运送的ACF带51时，由于ACF带51的运送路径位于相互不同的两个 平面(第1平面P3以及第2平面P4 )内，所以ACF带51可在其上游侧
部分和下游侧部分相互立体交叉的状态下进行运送。
根据这样的本实施方式，配置在带运送机构15的运送路径上的供 给侧张力机构31以及回收侧张力机构32具有对由供给侧可动辊引导 机构31a (或者回收侧可动辊引导机构32a)引导的供给侧可动辊23 (或者回收侧可动辊26)施加驱动力的驱动力赋予装置61，在基于控 制装置67的控制下，根据ACF部件51a的贴附过程的各阶段中需要的 ACF带51的张力来调整对供给侧可动辊23(或回收侧可动辊26)施加 的驱动力。因此，在例如基于带运送机构15的ACF带51的运送时， 基于带剥离机构45的压接后的覆盖带51b的剥离时、以及基于自动接 合机构38的ACF带51的自动接合时，将赋予ACF带51的张力保持为 比较低，另一方面，在ACF带51的定位时，将赋予ACF带51的张力 保持为比较高。由此，可提高ACF带51的定位精度，并可避免伴随着 ACF带51的运送、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动 接合等而产生的各种问题。具体而言，由于在基于带运送机构15的ACF 带51的运送时对ACF带51赋予的张力低，所以可高速地进行ACF带 51的运送。此外，由于在压接后的覆盖带51b的剥离时对ACF带51赋予的张力也低，所以奇降低覆盖带51b相对于ACF部件51a的剥离角 度为锐角，ACF部件51a翻巻的发生频率。进而，由于在ACF带51的 自动接合时对ACF带51施加的张力也低，所以不会对ACF带51施加 过大的应力，可降低ACF带51的自动接合部的断开的发生频率。进而， 由于不是始终对ACF带51赋予高张力，所以还具有对进行ACF带51 的供给以及回收的供给巻轴12以及回收巻轴41不施加过大的应力的 优点。
此外，根据本实施方式，在设置在ACF贴附装置10的供给侧以及 回收侧的粘结膜带馈送机构18、 27中，借助第1带馈送机构121、 127， 一边对在第1平面P!、 P3内运送的ACF带51施加扭转一边向与第1平 面P,、 P3不同的第2平面P2、 P4运送该ACF带51，之后，借助第2带 馈送机构122、 128，以在由第1带々费送机构121、 127施加有扭转的状 态下被运送的ACF带51在第2平面P2、 P4内被运送的方式一边将施加 在该ACF带51上的扭转复元一边运送该ACF带51。因此，由第1带馈 送机构in、 以及第2带馈送机构l22、 128运送的ACF带51的运
送路径位于相互不同的两个平面(第1平面P,、 P3以及第2平面P2、
P4)内，ACF带51可在其上游侧部分和下游侧部分相互立体交叉的状 态下进行运送。因此，能够以高自由度设定由ACF贴附装置IO运送的 ACF带51的运送路径，在向ACF贴附装置10的供给机构11的供给巻 轴12和供给侧可动辊23之间设置自动接合机构38而改变ACF带51 的运送路径时，在向ACF贴附装置10的回收侧设置作为排出机构的回 收箱44而改变ACF带51的运送路径时，也可柔性地对应该结构的改 变。
进而，根据本实施方式，在粘结膜带馈送机构18、 27的第1带馈 送机构121、 127中，使用位于笫1平面P,、 P3中的直径比较大的大辊 123、 129，和以相对于第1平面P,、 P3倾斜的状态位于比该大辊123、 129还下游的直径比较小的小辊124、 130，对在第1平面P、P3内运 送的ACF带51施加扭转，此外，在粘结膜带馈送机构18、 27的第2 带馈送机构122、 128中，使用位于第2平面P2、 P4中的直径比较大的 大辊126、 132,和以相对于笫2平面P2、 P4倾斜的状态位于比该大辊 126、 132还下游的直径比较小的小辊125、 131，令由第1带馈送机构 121、 127施加了扭转的ACF带51的扭转复元，所以，可稳定地进行ACF带51的运送路径的变更。
进而，根据本实施方式，在粘结膜带馈送机构18、 27的第1带馈 送机构121、 127中，在沿位于第1平面P,， P3的大辊123、 129的凹 型槽141运送ACF带51后，沿设置在大辊123、 129的下游侧附近的 小辊124、 130的倒梯形槽142运送ACF带51，所以，在借助具有截面 矩形状的凹型槽141的大辊123、 129限制ACF带51的宽度方向的移 动的状态下，可确保该ACF带51的稳定的运送，并且借助具有截面倒 梯形的倒梯形槽142 (特别是形成在其侧面的斜度(V型面))的小辊
124、 130对ACF带51赋予充分的角度而对ACF带51施加扭转。此外， 同样，在粘结膜带馈送机构18、 27的第2带馈送机构122、 128中， 在沿设置在位于第2平面P2、 P4的大辊126、 132的上游侧附近的小辊
125、 131的倒梯形槽142运送ACF带51后，沿大辊126、 132的凹型 槽141运送ACF带51，所以在借助具有截面矩形状的凹型槽141的大 辊126、 132限制ACF带51的宽度方向的移动的状态下，可确保该ACF 带51的稳定的运送，并且借助具有截面倒梯形状的倒梯形槽142 (特 别是形成在其侧面的斜度(V型面))的小辊125、 131对ACF带51赋 予充分的角度，而令施加在ACF带51上的扭转复元，
另外，在上述实施方式中，分别在供给侧张力机构31以及回收側 张力机构32中设置控制装置67，但不限定于此，作为控制装置67， 也可设置一个控制装置，综合地控制供给侧张力机构31以及回收侧张 力机构32双方。
此外，在上述实施方式中，举例说明了如图1所示ACF贴附装置 10所示那样设置自动接合机构38以及自动回收机构40并借助粘结膜 带馈送机构(供给侧立体馈送机构)18以及粘结膜带馈送机构(回收 侧立体运送机构)27立体地运送ACF带51的情况，但不限定于此，也 可同样地应用于下述情况，即如图5所示的ACF贴附装置10，那样，不 设置自动接合机构38以及自动回收机构40，从供给机构11的供给巻 轴12放出的ACF带51在一个平面内被运送，借助通常的回收机构46 的回收巻轴47巻取而进行回收.
其他实施方式
接着，借助图10至图12对本发明的其他的实施方式的粘结膜贴 附装置进行说明。如图10所示，本实施方式的ACF贴附装置(粘结膜贴附装置)210 是将作为粘结膜的各向异性导电膜(ACF)贴附在面板基板或电子部件 等的粘结对象部件上的装置，包括供给由ACF部件和覆盖带构成的 ACF带(粘结膜带)51的供给机构211;沿既定的运送路径运送从供给 机构211供给的ACF带51的带运送机构215;将由上述带运送机构215 运送的ACF带51中作为贴附对象的ACF部件的一部分压接在粘结对象 部件52上的带压接机构233;回收由于ACF部件的一部分被上述带压 接机构33压接而主要仅残留覆盖带的使用后的ACF带51的自动回收 机构240。
其中，供给机构211具有巻绕并收容ACF带51的供给巻轴212、 和以从供给巻轴212放出ACF带51的方式驱动供给巻轴212旋转的供 给侧驱动轴213。另外，在供给机构211的供给巻轴212的附近设置有 自动接合机构238,将从预备的供给巻轴(未图示)供给的ACF带(未 图示)自动接合在现在的供给巻轴212的ACF带51上。
带运送机构215，作为在滚动接触的状态下支承ACF带51的辊， 具有固定辊216、 217、供给侧立体运送机构(粘结膜带馈送机构)218、 供给侧可动辊223、固定辊224、 225、回收侧可动辊226以及回收侧 立体运送机构(粘结膜带运送机构)227，在该顺序下，拉绕从供给机 构211供给的ACF带51。另外，供给侧可动辊233以及回收侧可动辊 226分别通过供给侧可动辊保持机构231以及回收侧可动辊保持机构 232保持成在重锤(未图示)的作用下被施加有向上方的拉引力的状态 在上下方向移动自如，分别作为供给侧阶梯辊以及回收侧阶梯辊起作 用。此外，供给侧立体运送机构218具有供给侧立体运送用固定辊219、 220、 211、 222,构成为可一边改变运送ACF带51的平面一边立体地 运送ACF带51。进而，回收侧立体运送机构227具有回收侧立体运送 用固定辊228、 229、 230，构成为可一边改变ACF带51的运送平面一 边立体地运送ACF带51。
带压接机构233具有栽置粘结对象部件52的垫板234和ACF粘着 机构235， ACF粘着机构235向载置在垫板234上的粘结对象部件52 推压由带运送机构215运送来的ACF带51，由此将ACF带51中成为贴 附对象的ACF部件(图11的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象 部件52上。在此，在ACF粘着机构235的附近设置有带切断机构236，在 ACF带51的ACF部件51a中贴附在黏结对象部件52上的部分的两端位 置上形成切口 (参照图11的附图标记51c);带拉出机构237，将由带 运送机构215运送的ACF带51仅拉出应贴附到粘结对象部件52上的 需要的长度并位于粘结对象部件52上。另外，如图11所示，基于带 切断机构236的ACF带51的切断仅对ACF部件51a进行，不对覆盖带 51b进行。
自动回收机构2"具有回收巻轴241，以使用后的ACF带51巻 绕在其外周槽(外周部)241a的一部分上的状态运送该ACF带51;驱 动回收巻轴241旋转的回收侧驱动轴242;回收由回收巻轴241运送的 使用后的ACF带51的回收箱244。在此，如图12所示，回收巻轴241 中，在巻绕ACF带51的外周槽241a上设置由多个真空吸引孔构成的 真空吸引部243，通过与回收巻轴241的旋转联动地切换各真空吸引部 243的吸引状态，使外周槽241a中仅位于回收巻轴241的上半部分的 部分始终处于吸引状态。
接着，对这样构成的ACF贴附装置210的动作进行i兌明。
在图10所示的ACF贴附装置210中，ACF带51借助供给机构211 从由供给侧驱动轴213驱动旋转的供给巻轴212放出，以下述方式运 送经由固定辊216、 217、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构) 218、供给侧可动辊223以及固定辊224而位于载置在压接机构233的 垫板234上的粘结对象部件52上。
更具体而言，在由带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带51的状态下， 若令供给巻轴212伴随着供给侧驱动轴213的旋转而向图示方向旋转， 则ACF带51从供给巻轴212被放出，并且该ACF带51经由带运送机 构215 (特别是固定辊216、 217、供给侧立体运送机构218以及供给 侧可动辊223 )运送，在该ACF带51上产生矛>弛。在此，由供给侧可 动辊保持机构231保持的供给侧可动辊223在未图示的重锤的作用下 上升。此外，在供给侧可动辊223上升而到达上限位置的时刻，停止 供给侧驱动轴213的旋转驱动。另外，在该时刻成为从供给机构211 的供给巻轴212临时放出应贴附在粘结对象部件52上的所需的长度的 ACF带51并储存在供给巻轴212和固定辊224之间的状态.
在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的夹紧，并且停止供给侧驱动轴213的旋转驱动，若在该状态下，借助 带拉出机构237将ACF带51向图示方向拉出，则由供给侧可动辊保持 机构231保持的供给侧可动辊223开始下降，储存在供给巻轴212和 固定辊2"之间的ACF带51向图示的方向移动。由此，在供给侧可动 辊"3下降而到达下限位置时，令ACF带51中应贴附在粘结对象部件 52上的ACF部件位于粘结对象部件52上。
而且，在带压接机构233中，令ACF粘着机构235向载置在垫板 234上的粘结对象部件52移动，通过推压位于在粘结对象部件52上的 ACF带51而将ACF带51中成为贴附对象的ACF部件(图2的附图标记 51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。另外，此时，在ACF带51 的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件52上的部分的两端位置上，借 助带切断机构236在既定的时刻切入切口 51c。
在此，压接ACF部件51a而主要仅残留覆盖带51b的使用后的ACF 带51经由固定辊"5、回收侧可动辊以及粘结膜带馈送机构227 而被运送，最终，由自动回收机构40回收。
更具体而言，在借助带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带的状态下， 若令回收巻轴241伴随回收侧驱动轴242的驱动旋转而向图示的方向 旋转，则回收巻轴241以使用后的ACF带51巻绕在其外周槽241a的 一部分上的状态运送该ACF带51。即，回收巻轴241通过与其旋转联 动地切换各真空吸引部243的吸引状态，使外周槽241a中仅位于回收 巻轴241上半部分的部分始终处于吸引状态，在回收巻轴241a的外周 槽241a上，在上游侧^皮拉近并固定的使用后的ACF带51在被运送小 于一周的既定长度后，在下游侧的既定的拉离位置(参照图12的附图 标记R )被拉离。由此，从回收巻轴241在外周槽241a的拉离位置(参 照图12的附图标记R)被拉离的使用后的ACF带51以在其自重作用下 在上下方向上(回收侧可动辊226的移动方向)下垂的状态运送，最 终由回收箱244回收。另外，巻绕在回收巻轴241上的使用后的ACF 带51以该ACF带51中所包含的覆盖带51b中没有贴附ACF部件51a 一侧的面(图2所示的覆盖带51b则为其上表面)与回收巻轴241的 外周槽241a接触的状态被巻绕。
另外，在上述这样的借助自动回收240回收^_用过的ACF带51的 过程中，产生向下方拉引使用后的ACF带51的力。由此，由回收侧可动辊保持机构232保持的回收侧可动辊226在未图示的重锤作用下克 服向上方被施加的拉引力而下降。另外，若回收侧可动辊226下降而 到达下限位置，则停止回收侧驱动轴242的旋转。
在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的 夹紧，并停止回收侧驱动轴242的旋转驱动，在该状态下，若借助带 拉出机构237向图示方向拉出ACF带51，则应由自动回收机构240回 收的使用后的ACF带51产生松弛，在未图示的重锤的作用下回收侧可 动辊上升。而且，若借助带拉出机构237将应贴附在粘结对象部 件52上的所需的长度的ACF带51拉出，则回收侧可动辊26到达上限 位置。
根据本实施方式，借助由回收侧驱动轴242驱动旋转的回收側巻 轴241以使用后的ACF带51巻绕在其外周槽241a的一部分上的状态 运送该ACF带51，之后，将ACF带51在该回收巻轴241的下游侧的既 定的拉离位置(参照图12的附图标记R)拉离，以借助其自重在上下 方向(回收侧可动辊226的移动方向)上下垂的状态被运送，最终由 回收箱224回收，所以，不需要回收巻轴241的交换作业，可提高装 置的工作效率。
此外，根据本实施方式，巻绕在回收巻轴241上的使用后的ACF 带51，以该ACF带51中所包含的覆盖带51b中没有贴附ACF部件51a 侧的面与回收巻轴241的外周槽241a接触的方式被巻绕，所以，可有 效地防止使用后的残留在ACF带51上的ACF部件51a附着在回收巻轴 241等上，可无需维修。
权利要求
1.一种粘结膜带馈送机构，运送含有带状的粘结膜的粘结膜带，其特征在于，包括第1带馈送机构，对在第1平面内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与上述第1平面不同的第2平面运送该粘结膜带；第2带馈送机构，为了使以被上述第1带馈送机构施加有扭转的状态运送的粘结膜带在上述第2平面内运送，使施加在该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。
2. 如权利要求1所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述第 1带馈送机构具有位于上述笫1平面内的直径比较大的大辊、和以相对 于上述第1平面倾斜的状态位于比该大辊靠下游侧的直径比较小的小。
3. 如权利要求1或2所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上 述第2带馈送机构具有位于上述第2平面内的直径比较大的大辊、和 以相对于上述第2平面倾斜的状态位于比该大辊靠上游侧的直径比较 小的小辊。
4. 如权利要求2所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述大 辊具有凹型槽，该凹型槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截面为 矩形。
5. 如权利要求2所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述小 辊具有倒梯形槽，该倒梯形槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截 面为倒梯形。
6. 如权利要求1所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，被上述 第1带馈送机构以及上述第2带馈送机构运送的粘结膜带是其上游侧的部分和下游侧的部分相互立体地交叉。
7. 如权利要求1所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述粘 结膜带是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电 膜带。
全文摘要
本发明提供一种粘结膜带馈送机构，以高自由度设定由粘结膜贴附装置运送的粘结膜带的运送路径，可柔性地对应粘结膜贴附装置的构成的变更等。在运送含有带状的粘结膜的粘结膜带的粘结膜带馈送机构中，包括第1带馈送机构，对在第1平面内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与上述第1平面不同的第2平面运送该粘结膜带；第2带馈送机构，为了使以被上述第1带馈送机构施加有扭转的状态运送的粘结膜带在上述第2平面内运送，使施加在该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。
文档编号B65H23/04GK101602446SQ20091014894
公开日2009年12月16日 申请日期2005年8月16日 优先权日2004年9月30日
发明者铃木正广, 高桥利男 申请人:芝浦机械电子装置股份有限公司