大尺寸面板用输送板的制作方法与工艺

本发明涉及利用空气的浮力，将各种显示板及大尺寸薄板以非接触的方式移送的输送板，具体是，输送大尺寸面板时，可以抑制晃动，提高移送时的稳定性，且抑制边缘下垂现象而保持平坦度的大尺寸面板用输送板。

背景技术：
在线检测装备（In-LineFPDAutomaticOpticalInspection）是指引导TFTLCD板或PDP、彩色滤光片等显示板（displaypanel）等同时使用光学透镜和CCD摄像头捕捉图像之后，应用图像处理算法检测出用户需要找出的各种缺陷的装备。所述在线检测装备大体上分为检测不良的扫描部（scansection）、reviewsection、unlaodsection。所述检验装备为发挥作为检验系统的作用，不仅需要准确检测出缺陷所在位置和大小，而且从扫描部到unlaodsection引导被输送体（检验对象）的输送装置的作用也是一个重要的因素。作为传统的输送装置，曾公开了一种利用滚轮（roller）的旋转力输送被输送体的接触式输送装置，但该装置因滚轮的旋转产生斑点，而且摩擦力小或者旋转力弱，输送体被下滑而输送上并不顺利。为解决所述问题，目前正在使用对多个气孔上充入压缩空气，用从气孔上喷出的空气将被输送体浮起输送的非接触式输送装置。所述接触式输送板中韩国专利注册第650290号（2006.11.27.公告）和韩国专利注册第886968号(2009.03.09.公告)是在空气喷出的气孔内部任意形成细缝从中喷出空气。首先，专利第650290号如图1所示，在输送板的上板110上形成的气孔a1内部连接螺栓112，在该螺栓112上装配形成细缝的垫圈113，由垫圈113和螺栓112的螺线形成喷出空气的结构。专利第886968号如图2所示，在输送板的上板220上形成的气孔221的内部插入弹簧销222，使销部223被插进气孔221的内侧而形成一定的细缝。专利第650290号是将螺栓112和垫圈113作为阻力装置，喷出低流量空气，但气孔111上形成的内螺纹和螺栓112上形成的外螺纹不能始终按一定规格提供，而从气孔111上喷出的空气不均匀。就是说，内螺纹是用人工加工（TAP加工）方式形成而具有一定规格，但螺栓不是根据内螺纹的规格进行加工，一般使用成品，因此从螺线之间泄漏出去的气体量在每个气孔之间的差异较大。因每个气孔的气体喷出量相差较大，而在输送板上的悬浮的被浮体会失去平坦度，振动较大而检验的可靠性也随之下降。专利第886968号是在具有一定规格的气孔221和在此气孔上插入具有一定规格的销部223，使整个区段分布均匀地喷出空气，但具有固定作用的弹簧部224不能始终被垂直地固定住而销部223被倾斜插入，或者对销部223的直进性而无法均匀地对准气孔221的细缝。为解决所述问题，本申请人通过韩国专利注册第10-0938355号（2010.01.22公告）提出了一种通过螺旋线均匀地喷出高压气体的非接触式输送板。本申请人提供的非接触式输送板其组成包括：外部的空气流入后填充上部面上形成的空气室的中板；结合于所述中板的上部，使所述空气室内的空气从上部面上喷出，且形成所述空气室连通的多个气孔的上板。所述气孔的内部下侧形成直径大于所述气孔的延伸部，所述延伸部内形成节圆（pitch）较大的螺旋线，所述螺旋线上插入销使其具有既定的摩擦力。所述结构的非接触式输送板是使空气在气孔的内部的销和螺旋线槽之间缝隙流动，而使从气孔上喷出的流量的偏差最小化的同时，使各气孔的气压和喷出量保持均匀。但，本申请人提出的非接触式输送板是需要在气孔的内面上加工螺旋线，加工难度太大而不利于批量生产，输送率也大幅下降。而且从气孔喷出的空气的推进旋转力是其性能虽然优于传统技术，但仍然存在很多缺陷，无法将被输送体被稳定支承的状态下输送。为解决所述问题，本申请人曾经通过韩国专利注册第10-1091561号（2011.12.13公告）提出过一种“非接触式输送板”。本申请人提出的非接触式输送板的组成包括：下板，形成外部空气被流入的通气口；空气分支板，在所述下板的上部形成，形成与所述通气口相对应的贯通孔，以及使空气分支的空气通路；以及作为在所述空气分支板的上部形成，且将被输送体浮起移送的空气的喷出要素的空气室，将通过所述贯通孔流入的空气传递到气路；漩涡发生部，连接于所述气路而流入的空气通过而形成旋风形态的具有直进旋转力的螺旋槽而形成；上板，位于旋涡发生的上部，包括形成垂直面使旋涡以具有直进性的喷出的由直进引导部形成的气孔。所述结构的非接触式输送板是对气孔的结构进行改进，在具有旋风形态的推进旋转力的状态下保持直进性而将被输送体稳定无晃动地移送。但，所述本申请人提出的非接触式输送板是将形成螺旋线槽的涡形销硬夹进气孔内而组成，但涡形销的加工难度太大，生产性低，装配也需要高精密度而无法达到量产水平，且制造成本也很高。而且，目前显示板和太阳能电池板等各种面板逐渐走向大型化趋势，在保持平坦度的同时稳定移送的难度也随之加大，尤其如图3所示，随着显示板的尺寸逐渐加大，沿移送方向的左右侧边缘部分下垂现象逐渐严重而导致工艺不良等问题。就是说，根据图3，从位于被输送体（p）的下部中心侧的气孔喷出的气压因无法被排到外部而形成停滞的停留气流（a），从位于被输送体（p）边缘侧的气孔喷出的气压是在与外气接触的状态下而喷出的空气无法向所述停留气流（a）流动，形成向外侧快速排放的排气气流（b）而最终导致被输送体（p）如图所示的中心部分凸出等平坦度不良的问题。最近作为环保能源备受瞩目的太阳能电池板是因尺寸大，为输送较重的玻璃基板（Borosilicate和Sodalime系列）进行蒸镀等工艺而在局部负载作用下难以控制平坦度，最终无法实现大规模生产，且输送性低，从经济角度不宜制造。

技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种在输送由大尺寸的薄型面板以及各种显示板形成的被运输体时，能够抑制面板的局部下垂，且输送同时保证其平坦度的大尺寸面板用输送板，从而解决所述传统技术上存在的问题。就是说，本发明的目的在于提供一种移送被输送体时从移送方向上位于两侧的空气喷出压对于位于中心的空气喷出压保持高压，从而抑制被输送体两侧边缘部分下垂，并精密地控制移送平坦度而保证稳定移送的大尺寸面板用输送板。根据本发明，移送太阳能电池板使用的玻璃基板等尺寸大且重量较大的产品时，可以补偿局部负载，精密地控制平坦度，从而提高输送率，节省制造成本。本发明的另一个目的在于，提供一种喷出的空气保持旋风形态的推进旋力，保证无晃动地移送被输送体的大尺寸面板用输送板。为实现所述目的，本发明优选的大尺寸面板用输送板，该组成包括：下板，一面形成由外部供应的空气被填入的槽形空气室；空气分支板，位于所述下板的上部，形成多个将由所述空气室供应的空气分支的空气通路；上板，位于所述空气分支板的上部，形成从所述空气通路接收空气向上侧喷出的气孔；所述空气通路包括：快速通路，由空气快速流动的狭缝形成；延迟通路，具备可以使空气比该快速通路相对较慢的速度流动的阻力要素。本发明的另一个优选的大尺寸面板用输送板该组成包括：下板，具备从外部分别供应空气和真空压的通气口和真空口，上面连接于所述真空口而形成真空压产生作用的槽形真空室；上板，位于所述下板的上部，下面形成由通气口供应的空气被填入的槽形空气室和向上喷出空气以及真空压产生作用的气孔和真空孔；真空分支板，位于所述下板和上板之间，形成与所述真空室连接而将真空压传输给所述真空孔的真空通路；空气分支板，位于所述真空室的上侧或者下侧，与所述空气室连接形成将供应到的空气分支供应给所述气孔的空气通路；所述空气通路还包括：快速通路，由空气快速流动的狭缝形成；延迟通路，具备使空气相对于所述快速通路以较慢速度流动的阻力要素。本发明的另一个优选的大尺寸面板用输送板，该组成包括：下板，从外部分别接收空气和真空压，对上面形成的空气室和真空室产生作用；上板，位于所述下板的上部，下面形成由通气口供应的空气被填入的槽形空气室和向上喷出空气以及真空压产生作用的气孔和真空孔；真空分支板，位于所述下板和上板之间，与所述真空到连接形成将真空传输给所述真空孔的真空通路；空气分支板，位于所述真空分支板的上侧或者下侧，形成将从所述空气室供应的空气分支供应给所述气孔的空气通路；所述空气通路包括快速通路，由空气快速流动的狭缝形成；延迟通路，具备空气比该快速通路相对较慢速度流动的阻力要素。本发明的优选是，所述空气通路具备相互连接接收空气使之分支的所述快速通路和所述延迟通路，或者具备相互独立接收空气的所述快速通路和延迟通路。本发明的另一个优选是，所述空气通路其结构上向被输送体的中心部侧安排延迟通路，向被输送体的外围部侧安排所述快速通路。本发明的又一个优选是，所述延迟通路是在具备对于所述快速通路向空气发生流动阻力，使喷出速度变慢的弯曲形状区段的阻力要素，或者所述延迟通路形成比所述快速通路相对较长的流动距离使空气的喷出速度变慢的阻力要素，或者所述延迟通路从大小上比所述快速通路空气的总通过量减少的阻力要素中，包括一种或者一种以上组合而成。本发明的另一优选是，所述快速通路和所述延迟通路在各一侧末端部形成半圆弧状排放部，该排放部的直径大小小于所述气孔的内部直径。本发明的又一个优选是，所述气孔的组成包括：涡流发生部，引导流入的空气通过的同时具有旋风形态的推进旋转力；直进引导部，位于所述涡流发生部的上部，由引导涡流具有直进性地喷出的垂直面形成。本发明的又一个优选是，所述涡流发生部占所述气孔全长的50-80%范围，外面夹入形成螺旋线的金属材料涡形销对接组成，或者在占所述气全长50-80%范围的区段内周面形成螺旋线，或者所述气孔的内周面形成螺旋线并夹入圆柱形态销对接插入形成。本发明的又一个优选是，所述真空通路其组成包括：快速狭缝，由与所述真空室连接形成真空压产生作用的长孔形成；延迟狭缝，包括形成真空压比所述快速狭缝相对较慢的速度产生作用的弯曲形状区段，或者比所述快速狭缝具有更长的流动距离，或者大小与所述快速狭缝相比真空压产生作用的容积减少的阻力要素；吸入部，分别形成于所述快速狭缝和延迟狭缝的各侧端，连接于所述真空孔。本发明的大尺寸面板用输送板的有益效果在于，移送大尺寸的薄形板或者各种显示板乃至各种被输送体时，有效抑制局部下垂现象，保证以平坦状态稳定移送。尤其，喷出的空气的形成旋风形态的上升气流而不但保持高直进性，且中心部的压力比起周边相对较低而浮起被输送体时，从低压的中心部产生吸引作用而最大限度地减少因移送被输送体时发生的振动所致的抖动现象，且良好地保持被输送体的悬浮平坦度。本发明在制造过程中考虑到被输送体的尺寸和移送速度，不同地设定各个气孔的喷出压，而可一对一地定制具有被输送体优化的悬浮压的大尺寸面板用输送板。本发明结构简单，由形成空气被分支的分支狭缝孔的中板，以及形成连接于所述分支狭缝孔的气孔和室形成上、下板组成，制造简便，节省成本，厚度和重量比先前的产品大幅减少，从安装上不受限制而可以预期有益的工业效果。附图说明图1和图2是利用传统技术的输送板图示；图3是说明利用传统技术的被输送体的移送状态的图示；图4是本发明的大尺寸面板用输送板的立体图；图5是本发明的大尺寸面板用输送板的分解立体图；图6是本发明的大尺寸面板用输送板的仰视图；图7是本发明的大尺寸面板用输送板中的空气分支板的平面图；图8是图7的A-A线截面图；图9是图7的B-B线截面图；图10是图9的其它实施例的截面图；图11是本发明其它实施例大尺寸面板用输送板立体图；图12是说明图11的结构的分解立体图；图13是说明图11的平面例示图。图中：1:大尺寸面板用输送板；10:下板；13,34:空气室；20:空气分支板；21:空气通路；21a:快速通路；21b:延迟通路；30:上板；33:气孔；33a:涡流发生部；33b:直进引导部；33ap′：圆柱形态销；35ah：螺旋线槽；37：真空孔；40:真空分支板；41：真空通路；41a：快速狭缝；41b：延迟狭缝；a1:通气口；a2：第一通气口；a3：第二通气口；ap：空气供应线；p：被输送体；s：螺丝部件；v1:真空口。具体实施方式下面参照附图，对发明优选实施例详细进行描述。说明内容和各附图中的实际同一个构件是用同一个符号表示，不再重复说明。而且说明本发明时，若对有关的公知功能或者结构的具体说明使本发明宗旨变得模糊则省略该说明。图4是本发明一个实施例的大尺寸面板用输送板的立体图。图中，中间隔着薄金属板材的空气分支板，上侧配置具备多个气孔33的上板，所述空气分支板20的下侧显示有从结构上配置下板10的大尺寸面板用输送板1。图5是本发明一个实施例的大尺寸面板用输送板的分解立体图。图中显示，利用多个螺丝部件（s）用螺丝拧紧成一体的下板10，以及由空气分支板20和上板30形成的大尺寸面板用输送板1，所述下板10接收外部流入的空气，上面形成空气室13，所述空气分支板20由紧贴于所述下板10的上部面的薄金属板材提供且形成将从所述空气室13流入的空气分支引导的空气通路21，所述上板30是形成有将从所述空气分支板20流入的空气喷出使之具有旋转推进力的气孔33。图6是本发明一个实施例的大尺寸面板用输送板的仰视图。图中显示形成有用于接收空气的通气口（a1）的下板，以及连接于该下板10的通气口（a1）而成为供应空气的线路的空气供应线（ap）。图7是本发明的大尺寸面板用输送板中的空气分支板的平面图。图中显示空气分支板20并形成有由上板30和下板10之间紧贴着的金属薄板材料构成，且连接于所述下板10的空气室13接收空气使之分支的空气通路21。所述空气通路21由将由所述空气通路21提供的空气快速喷出的快速通路21a，以及向该快速通路21a以较慢速度喷出空气的延迟通路21b构成。图8是表示图7的A-A线的截面图。图中显示用螺丝部件（s）接合成一体的大尺寸面板用输送板1，构件之一的下板10上贯通形成用于接收空气的通气口（a1），从该通气口（a1）流入的空气被充入下板10上面形成的空气室13。图9是表示图7的B-B线的截面图。图中显示由填充下板10的空气室13的空气是经过空气分支板20上形成的多个空气通路21，再通过上板30的气孔33从上侧喷出结构的大尺寸面板用输送板1。所述上板30上形成的气孔33由引导喷出的空气引起旋风形态的推进旋转力的涡流发生部33a，以及在该涡流发生部33a的上部形成垂直面引导空气具有直进性的直进引导部33b构成。图10是图9的其它实施例的截面图。图中显示有上板30，并具备在外周面夹入形成螺旋线的涡形销33ap而对接装配的涡流发生部33a。下面根据以上附图，对本发明的结构详细进行描述。本实施例的大尺寸面板用输送板1由以几大部分组成：下板10，配置于下部；空气分支板20，紧贴于该下板10上部的由金属薄板形成；上板30，紧贴于该空气分支板20上部且与所述下板10和空气分支板20结合成为一体。下板10上形成通气口（a1）用于接收从外部提供的空气，上面形成通过所述通气口（a1）流入的空气被填满的空气室13，在与所述通气口（a1）和空气室13不产生位置干扰的位置上贯通形成可以插入螺丝部件（s）通过的第一连接孔（h1）。所述空气室13是在下板10的上部面上沿长度方向形成较长的凹槽，为浮起被输送体（p）根据所需的气压决定该安装位置和槽的深度或宽度。所述通气口（a1）的结构是与作为接收从外部供应的高压空气的连通分支即空气供应线（ap）连接的。根据所述结构，其下板10是空气从外部通过所述空气供应线（ap）流入，则经过所述通气口（a1）填入空气室13。空气分支板20是由所述下板10和下述的上板30之间具备的金属薄板形成，并采用激光加工形成具有又长又细的孔的空气通路21，以便与所述空气室13连接接收空气使之分支。所述结构的空气分支板20在与所述第一连接孔（h1）相对应的位置贯通形成第二连接孔（h2）。上板30是在所述空气分支板20的上部层叠形成的板材型部件，下面形成具有圆桶形直管形态的多个气孔33，使空气经过所述空气分支板20的空气通路21向上侧喷出，所述气孔33是由流入的空气通过的同时引导其具有旋风形态的推进旋转力的涡流发生部33a，以及位于该涡流发生部33a的上部引导生面的涡流以保持直进性的状态喷出的由垂直面形成的直进引导道部33b形成。所述涡流发生部33a是引导利用螺旋线流入的空气具备旋风形态的较强推进旋转力的部分，在本发明中如图9所示，在气孔33的内面形成螺旋线槽35ah，或者在所述气孔33的内周面形成的螺旋线槽35ah上夹入圆柱形态销33ap′对接插入而形成。此外，如图10所示，所述涡流发生部33a是占所述气孔33全长的50-80%范围，外面夹入形成螺旋线槽的金属材料涡形销33ap对接装配而形成。此时，所述涡流发生部33a是优选地占所述气孔33全长的50-80%，因为涡流发生部33a所占范围小于50%时，无法形成具有推进旋转力的涡流，相对地随着直进引导部33b的区段加大，空气会逐渐丧失所具有的涡流性质，推进性下降，无法喷出空气而无法浮起被输送体（p）。所述直进引导部33b是在所述涡流发生部33a的上部侧形成垂直面而使通过所述涡流发生部33a的空气以保持直进性的状态喷出，优选地，与所述上板30的上面形成直角。所述结构的上板30在与所述第一连接孔（h1）和第二连接孔（h2）对应的位置上有第三连接孔（h3）贯通形成，所述第三连接孔（h3）被螺丝部件（s）与所述下板10和空气分支板20结合成为一体。如上所述构成的大尺寸面板用输送板1的结构与以前的输送板的结构相似。但本发明是在所述上板30上形成的气孔33上提供用于分支供应空气的空气通路21时，其技术特征在于，构成快速通路21a和延迟通路21b，改变对各个气孔供应的空气的喷出压，抑制被输送体（p）的局部下垂现象而提高平坦度的保持性能。就是说，本发明的空气通路21包括具备直线区段或缓和曲线区段的快速通路21a，以及具备阻力部分而空气对于该快速通路21a以相对较慢的速度流动的延迟通路21b。所述空气通路21可以具备多种形态的模样，如本发明的图中显示，将所述快速通路21a和延迟通路21b相互连接，从所述下板10的空气室13接收空气使之分支，或者虽然没有图示，但也可以不连接所述快速通路21a和延迟通路21b，以切断的形态相互独立地接收空气。而且本发明中，构成所述空气通路21的快速通路21a和延迟通路21b对局部下垂发挥防止作用，因此在被输送体（p）中下垂的可能性较高的部分可以安排快速通路21a，使气压快速喷出而浮起，相对不发生局部下垂现象的部分可以安排延迟通路21b。本发明中，如图9所示，以被输送体（p）为准位于中心部侧的气孔33是安排延迟通路21b供应空气，位于被输送体（p）的外围侧的气孔是安排快速通路21a供应空气。因为，向被输送体（p）的中心部侧供应的空气不能向输送体（p）的外部迅速流动，而是被关闭即被停留而保持一定的浮力，所以安排了空气喷出速度相对所述快速通路21a较慢的延迟通路21b，而向被输送体（p）外围侧供应的空气是因快速流向外部而安排了喷出速度相对延迟通路21b较慢的快速通路21a。另一方面，本发明中快速通路21a和延迟通路21b的特征是空气的喷出速度被相对不同地设置，为此本发明建议增加引导经过所述延迟通路21b的空气受到阻力而其速度被放慢的阻力要素。该阻力要素可以由多种方法实施，本发明大体地提出以下三种方法。第一、所述延迟通路21b包括具有弯曲形状的区段，对于所述快速通路21a向空气发生流动阻力，使空气的喷出速度相对地变慢。也就是说，所述快速通路21a是形成直线区段，或者形成具备缓和曲线区段的细长孔形态，所述延迟通路21b如图所示，以弯曲形状即具备波纹形状区段的细长孔形态形成。由于所述结构，经过所述快速通路21a的空气会快速流动流向气孔33侧，但经过所述延迟通路21b的空气因波纹形状阻力要素，比所述快速通路21a较延迟地流动流向气孔侧。第二、所述延迟通路21b对于所述快速通路21a形成相对较长的流动距离，使空气的喷出速度的缓慢。也就是说，所述快速通路21a和延迟通路21b是以由所述空气室13供应的供应位置为准，在各个气孔上形成供应路径时，所述延迟通路21b距离比所述快速通路21a相对更长地形成，进而引导经过延迟通路21b的空气喷出速度比所述快速通路21a慢。第三、所述延迟通路21b以空气总通过量小于所述快速通路21a大小的方式形成。也就是说，所述快速通路21a的孔的大小（宽度或者深度）大于所述延迟通路21b，进而经过延迟通路21b的空气的喷出速度比所述快速通路21a慢。另一方面，所述快速通路21a和延迟通路21b是分别在一侧端部一体地形成半圆弧形状的排出部21c，所述排出部21c的直径大小小于所述气孔33的内部直径。所述排出部21c优选地具有以形成所述气孔33的涡流发生部33a的螺旋线为准的螺纹与螺杆之间中间部分的直径，因所述结构，通过所述排出部21c排出的空气沿螺旋线能够顺利地流向上侧。下面对形成所述结构的本发明的大尺寸面板用输送板的作用进行详细说明。首先，通过下板10的通气口（a1）流入的空气经过空气室13沿其上侧的所述空气分支板20的空气通路21被分支流动之后，通过上板30形成的气孔33从其上部侧喷出。此时，所述空气通路21由空气快速流动的快速通路21a和与该快速通路21a以相对较慢速度流动的延迟通路21b组成，所述快速通路21a连接于安排在被输送体（p）外围侧的气孔，所述延迟通路21b连接于安排在被输送体（p）中心部侧的气孔，抑制被输送体（p）下垂现象而实现以平坦状态浮起。图11是本发明其它实施例的大尺寸面板用输送板的立体图，图12是说明图11结构的分解立体图，图3是说明图11的平面例示图。如图所示，本实施例中，紧贴在大尺寸面板用输送板1大致由安排在下部的下板10、紧贴于该下板10上部的金属薄板材料的真空分支板40、紧贴于该真空分支板40上部的空气分支板20以及位于最上部的上板30组成。下板10具有从外部分别供应空气和真空压的通气口（a1）和真空口（v1）分别形成且无位置干扰，上面连接于所述真空口（v1）而形成真空压发挥作用的槽状真空室14。根据所述结构，下板10与上述的一个实施例结构相似，只是多具备由真空压产生作用的真空口（v1）。上板30位于所述下板10的上部，下面形成由所述通气口（a1）供应的空气被填入的槽状空气室13，上侧形成喷出空气的气孔33和真空压起作用的真空孔37且相互无位置干扰。根据所述结构，上板30与上述的一个实施例结构大同小异，只是底面多形成空气室34。真空分支板40是位于所述下板10和上板30之间的金属薄板，连接于所述真空室14而形成将真空压传输给真空孔37的多个真空通路41，此时，所述真空通路41采用激光加工方式，形成细长的狭缝（Slit）状孔。空气分支板20位于所述真空室14的上侧或下侧，并形成连接于所述空气室13而将所供应的空气分支供应给所述气孔33的空气通路21。所述空气通路21由为空气快速流动而形成窄缝的快速通路21a，以及具有阻力要素而比该快速通路21a相对较慢速度流动的延迟通路21b形成。所述空气分支板20在与所述真空孔37相一致的位置形成第一真空口（v2），形成与所述下板10的通气口（a1）连接的贯通孔即第二通气口（a3）。所述真空分支板40形成连接所述第二通气口（a3）和所述通气口（a1）的第一通气口（a2）。根据所述结构，本实施例的大尺寸面板用输送板1的结构与上述的一个实施例结构基本相似，只是对所述上板30的上部有空气压和真空压同时产生影响。本实施例中，大尺寸面板输送板1的技术特征部由空气通路21与真空通路41相互以不同压力产生影响的结构形成。本实施例中，空气通路21由具备使空气快速流动的直线区段或者缓和曲线区段的快速通路21a，以及具备阻力要素而空气比该快速通路21a相对较慢的速度流动的延迟通路21b形成，所述快速通路21a和延迟通路21b按照与上述的一个实施例相同的实施方式，故不再详述。本实施例的真空通路41其组成包括：快速狭缝41a，为真空产生作用形成长孔形态；延迟狭缝41b，包括真空压比所述快速狭缝41a相对较慢速度产生作用而形成弯曲形状的区段或流动距离比所述快速狭缝41a更长或者从大小上真空压产生作用的容积比所述快速狭缝41a减少的阻力要素；吸入部41c，形成所述快速狭缝41a侧端和延迟狭缝41b的侧端连接于所述真空孔37的贯通孔状。所述真空通路41与上述的一个实施例的空气通路21相同，改变真空压的大小产生作用，其基本结构与形态可以与上述的空气通路21相同的方式实施，故不再详述。另外，虽然附图中没有图示，但如果本发明包含空气通路或者真空通路具有的技术特征，则下板和上板的结构可以采用多种实施方式和变形。例如，分别具备接收空气和真空压的端口；上面具备下板，形成通过各端口供应的气压产生作用的空气室和真空室；以及上板，在该下板上侧相对地配置，且分别连接于所述空气室和真空室形成喷出空气的气孔和真空压产生作用的真空孔；真空分支板，在该下板和上板之间形成使真空压分支的真空通路；以及层叠构成使空气分支的空气通路形成的空气分支板；所述空气分支板和真空分支板包含沿垂直方向传递空气或者真空压的路径形成的贯通孔状的大尺寸面板用输送板也可以实施。根据所述结构，下面对本发明实施例的大尺寸面板用输送板的作用进行说明。首先，通过下板10的通气口（a1）流入的空气是经过空气室13沿其上侧具备的所述空气分支板20的空气通路21分支流动后从上板30的气孔喷出，而构成所述空气通路21的快速通路21a与安排在被输送体（p）外围侧的气孔连接，所述延迟通路21b是与安排在被输送体（p）中心部位的气孔连接，从而将被输送体（p）完整地浮起且无下垂现象。对提供于所述下板10的通气口（a1）一侧的真空口（v1）产生作用的真空压经过真空室14通过真空分支板40的真空通路41对所述上板30的真空孔37产生作用，所述真空通路41与所述空气通路21相同，由具有不同真空压的快速狭缝41a和延迟狭缝41b形成，对被输送体（p）的局部真空压不同而精确地控制平坦性。以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所述的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例所述技术方案的范围。