直接充装mo源的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。
【专利说明】直接充装MO源的装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种充装装置，尤其一种可直接对M0源进行充装工作的装置。
【技术领域】
[0002] M0源在M0CVD设备中使用非常特殊，物料在使用时需要保持恒温（±0. 1 °C )，恒压 (± ltorr)，稳定气体流量（± lsccm)。M0源存储在钢瓶(一般称为M0源钢瓶冲，惰性气体 (一般用氢气或者氮气）通过深入钢瓶内部的管道进入M0源钢瓶中，经过M0源时产生鼓泡 效应，M0源在鼓泡过程中大量蒸发，形成M0源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。而目 前在对于M0源进行充装的领域内，并没有一种较为有效的手段在不拆卸M0源钢瓶的情况 下对其进行充装，而拆卸M0源钢瓶进行更换耗费时间，工作效率低下。因此，解决M0源充 装困难的问题就显得尤为重要了。 实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的是提供了一种可直接对M0源进行充装工作的装置，无需将M0 源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将M0源钢瓶和M0源储罐连接在一起，并通过惰性气体将M0 源储罐中的M0源带入M0源钢管中，解决了 M0源充装困难的问题。
[0004] 为了解决上述问题，本实用新型提供一种直接充装M0源的装置，包括M0源储罐和 M0源钢瓶，所述M0源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述M0源储罐设置有出料口，所述M0 源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述M0源钢瓶内部设置有液位探头，所述 液位探头通过PLC控制器连接在M0CVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接， 通过液位探头和M0CVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。
[0005] 进一步改进在于：所述M0源储罐的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个 M0源储罐的出料口同时连接在三通接头上，所述M0源储罐使用惰性气体进行充装载体。
[0006] 进一步改进在于：所述两个M0源储罐为一组，每组M0源储罐可充装三个M0源钢 瓶，所述每个M0源钢瓶放置在恒温水浴槽中。
[0007] 进一步改进在于：所述M0源储罐内部同样设置有液位探头，所述M0源储罐上设置 有警报灯，所述液位探头电连接在警报灯上。
[0008] 在M0源钢瓶上安装1个液位探头。设置1个高位报警点和1个低位报警点。高 位报警点用于控制充装。低于低位报警点时提醒用户进行设备检查。
[0009] 液位探头需要满足：探头与M0源接触部分均是316L材质不锈钢，探头接口是1/2" VCR接口，信号响应及时（< ls)，液位测量精度高(< 2mm)。
[0010] 在不改变现有M0源钢瓶结构时，在M0源钢瓶的进出口处增加三通管道接头和阀 门，通过1/4" VCR接头与M0源钢瓶相连。
[0011] M0源储槽与M0CVD设备上M0源钢瓶通过管道连接，管道上采用气动隔膜阀，并通 过PLC控制器进行控制，根据设备使用状态，实时自动补充M0源。
[0012] 本实用新型的有益效果是：通过液位探头对M0源钢瓶中的M0源量进行测量，并在 MO源不足时通过PLC控制器对三通接头进行控制，使MO源储罐中的MO源通过惰性气体带 入M0源钢瓶中，解决了 M0源钢瓶无法充装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0013] 图1是本实用新型的示意图。
[0014] 其中：1-M0源储罐，2-M0源钢瓶，3-进气管，4-出气管，5-三通接头，6-液位探头， 7-PLC控制器，8-M0CVD信号接收器，9-出料口，10-恒温水浴槽，11-警报灯。
【具体实施方式】
[0015] 为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述， 该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
[0016] 如图1所示，本实施例提供了一种直接充装M0源的装置，包括M0源储罐1和M0 源钢瓶2,所述M0源钢瓶2上设置有进气管3和出气管4,所述M0源储罐1设置有出料口 9,所述M0源储罐1的出料口 9通过三通接头5连接在进气管3上，所述M0源钢瓶2内部 设置有液位探头6,所述液位探头6通过PLC控制器7连接在M0CVD信号接收器8上，所述 PLC控制器7与三通接头5电连接，通过液位探头6和M0CVD信号接收器8探测到的信号对 三通接头5进行控制。所述M0源储罐1的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个M0 源储罐1的出料口 9同时连接在三通接头5上，所述M0源储罐1使用惰性气体进行充装载 体。所述两个M0源储罐为1 一组，每组M0源储罐1可充装三个M0源钢瓶2,所述每个M0 源钢瓶2放置在恒温水浴槽10中。所述M0源储罐1内部同样设置有液位探头6,所述M0 源储罐1上设置有警报灯11，所述液位探头6电连接在警报灯11上。通过液位探头6对 M0源钢瓶2中的M0源量进行测量，并在M0源不足时通过PLC控制器7对三通接头5进行 控制，使M0源储罐1中的M0源通过惰性气体带入M0源钢瓶2中，解决了 M0源钢瓶无法充 装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。
【权利要求】
1. 一种直接充装MO源的装置，其特征在于：包括MO源储罐（1)和MO源钢瓶（2)，所述 M0源钢瓶（2)上设置有进气管（3)和出气管（4)，所述M0源储罐（1)设置有出料口（9)，所 述M0源储罐（1)的出料口（9)通过三通接头（5)连接在进气管（3)上，所述M0源钢瓶（2) 内部设置有液位探头（6 )，所述液位探头（6 )通过PLC控制器（7 )连接在M0CVD信号接收器 (8)上，所述PLC控制器（7)与三通接头（5)电连接，通过液位探头（6)和M0CVD信号接收 器（8)探测到的信号对三通接头（5)进行控制。
2. 如权利要求1所述的直接充装M0源的装置，其特征在于：所述M0源储罐（1)的数量 为两个，一个使用，另一个备用，所述两个M0源储罐（1)的出料口（ 9 )同时连接在三通接头 (5)上，所述M0源储罐（1)使用惰性气体进行充装载体。
3. 如权利要求2所述的直接充装M0源的装置，其特征在于：所述两个M0源储罐（1)为 一组，每组M0源储罐（1)可充装三个M0源钢瓶（2 )，所述每个M0源钢瓶（2 )放置在恒温水 浴槽（10)中。
4. 如权利要求1-3任意一项所述的直接充装M0源的装置，其特征在于：所述M0源储 罐（1)内部同样设置有液位探头（6 )，所述M0源储罐（1)上设置有警报灯（11)，所述液位探 头（6)电连接在警报灯（11)上。
【文档编号】B67C3/10GK203890029SQ201420204367
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申请人:安徽亚格盛电子新材料有限公司