一种芯片光刻机的光刻版取料装置的制作方法

文档序号:12633339阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种芯片光刻机的光刻版取料装置,包括支座,其特征在于:所述支座上安装有第一吸板和第二吸板,所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同,所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构,所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口,该负压抽吸口与负压抽吸系统连接,所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应,所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动,所述第一吸板和第二吸板的内侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口。

2.如权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置,其特征在于:所述同步开合机构包括转动安装于支座上的同步摆轮,所述同步摆轮上安装有第一销轴和第二销轴,所述第一销轴和第二销轴相对于同步摆轮的摆动中心成中心对称布置,所述第一吸板上设置有与第一销轴适配的第一条孔,第二吸板上设置有与第二销轴适配的第二条孔,所述第一销轴和第二销轴分别约束于第一条孔和第二条孔内。

3.如权利要求2所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置,其特征在于:所述底座上设置有限位条孔,所述第一吸板和第二吸板上分别设置有位于限位条孔内的第一限位销和第二限位销。

4.如权利要求3所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置,其特征在于:所述底座与第一吸板之间或底座与第二吸板之间设置有合拢复位弹性件。

5.如权利要求4所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置,其特征在于:所述第一吸板的长度比第二吸板的长度长,所述第一吸板上的避让凹口为一个大避让凹口,第二吸板上的避让缺口为两个小避让凹口,第一吸板上设置了两个负压抽吸口且位于大避让凹口的两侧,第二吸板上设置了两个负压抽吸口且位于远离支座的小避让凹口的两侧,第一吸板上的两个负压抽吸口的连线与第二吸板上的两个负压抽吸口的连线平行,第二吸板上的两个负压抽吸口处于大避让凹口范围内。

6.如权利要求5所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置,其特征在于:所述开合动力装置包括一个开合气缸,所述开合气缸固定于支座上,开合气缸的活塞杆与所述第一吸板或第二吸板连接。

7.如权利要求6所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置,其特征在于:所述底座上设置有第一供气连接头和第二供气连接头,所述第一吸板上设置有第一进气接头,所述第二吸板上设置有第二进气接头,所述第一供气连接头和第一进气接头之间通过软管连通,所述第二供气连接头与第二进气接头通过软管连通,第一吸板板体和第二吸板的板体内均设置有通气通道。

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