一种芯片光刻机的光刻版取料装置的制作方法

本实用新型涉及一种取料装置，尤其涉及一种芯片光刻机的光刻版取料装置。

背景技术：

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。

而光刻版的取料装置包括底座和固定于底座上的两个插板，插板上设置有负压抽吸口，插板位于光刻版的下方，插板将光刻版负压吸附稳当后水平移动到光刻版吸附底座的上方，然后取料装置下降将光刻版防止在光刻版吸附底座上，然后取料装置的插板水平移出。光刻版吸附底座包括处于光刻版左右两侧的座体，座体真空吸附将光刻版的下板面的左右边缘，插板处于左右座体的中部，插板水平移动并不妨碍。然由于光刻工艺的提升和改进，光刻版上的上下表面会粘结有版膜，版膜的厚度薄，目前的取料装置结构并不适用粘结有版膜的光刻版，插板在插入光刻版的下方进行取料时，容易对版膜表面磨损或撕裂，从而使其无法满足后续的光刻要求。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种芯片光刻机的光刻版取料装置，该取料装置可通过第一吸板和第二吸板的开合从光刻版的两侧进入到光刻版的下方并直接吸附光刻版，第一吸板和第二吸板并不接触版膜，从而避免了版膜的磨损或撕裂，保证了正常的光刻操作。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种芯片光刻机的光刻版取料装置，包括支座，所述支座上安装有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同，所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，所述第一吸板和第二吸板的内侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口。

作为一种优选的方案，所述同步开合机构包括转动安装于支座上的同步摆轮，所述同步摆轮上安装有第一销轴和第二销轴，所述第一销轴和第二销轴相对于同步摆轮的摆动中心成中心对称布置，所述第一吸板上设置有与第一销轴适配的第一条孔，第二吸板上设置有与第二销轴适配的第二条孔，所述第一销轴和第二销轴分别约束于第一条孔和第二条孔内。

作为一种优选的方案，所述底座上设置有限位条孔，所述第一吸板和第二吸板上分别设置有位于限位条孔内的第一限位销和第二限位销。

作为一种优选的方案，所述底座与第一吸板之间或底座与第二吸板之间设置有合拢复位弹性件。

作为一种优选的方案，所述第一吸板的长度比第二吸板的长度长，所述第一吸板上的避让凹口为一个大避让凹口，第二吸板上的避让缺口为两个小避让凹口，第一吸板上设置了两个负压抽吸口且位于大避让凹口的两侧，第二吸板上设置了两个负压抽吸口且位于远离支座的小避让凹口的两侧，第一吸板上的两个负压抽吸口的连线与第二吸板上的两个负压抽吸口的连线平行，第二吸板上的两个负压抽吸口处于大避让凹口范围内。

作为一种优选的方案，所述开合动力装置包括一个开合气缸，所述开合气缸固定于支座上，开合气缸的活塞杆与所述第一吸板或第二吸板连接。

作为一种优选的方案，所述底座上设置有第一供气连接头和第二供气连接头，所述第一吸板上设置有第一进气接头，所述第二吸板上设置有第二进气接头，所述第一供气连接头和第一进气接头之间通过软管连通，所述第二供气连接头与第二进气接头通过软管连通，第一吸板板体和第二吸板的板体内均设置有通气通道。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于所述支座上安装有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同，所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，所述第一吸板和第二吸板的内侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口，因此，在实际的取料过程中，该取料装置的第一吸板和第二吸板张开，第一吸板和第二吸板之间的间距大于光刻版的宽度，取料装置下降使第一吸板和第二吸板处于光刻版的下方，第一吸板和第二吸板合拢，第一吸板和第二吸板与光刻版的下板面边缘对应，该边缘正好也是光刻版吸附底座的吸附边缘，版膜的尺寸小于光刻版的尺寸，从而在光刻版板面边缘形成方便吸附的部位；取料装置上升将光刻版抬起，然后取料装置将光刻版移动到骨干刻板吸附底座上，然后取料装置下降，此时第一吸板和第二吸板上的避让凹口刚好实现避让，方便将光刻版放置在光刻版吸附底座上，然后取料装置的第一吸板和第二吸板打张开，第一吸板和第二吸板超过光刻版的方位后上升，这样该取料装置在取料的过程中不会与光刻版的版膜接触，避免版膜磨损或撕裂，从而确保光刻机的正常工作，保证了良好的光刻效果。

又由于所述同步开合机构包括转动安装于支座上的同步摆轮，所述同步摆轮上安装有第一销轴和第二销轴，所述第一销轴和第二销轴相对于同步摆轮的摆动中心成中心对称布置，所述第一吸板上设置有与第一销轴适配的第一条孔，第二吸板上设置有与第二销轴适配的第二条孔，所述第一销轴和第二销轴分别约束于第一条孔和第二条孔内，该同步开合机构动作准确可靠，开合距离准确。

又由于所述底座上设置有限位条孔，所述第一吸板和第二吸板上分别设置有位于限位条孔内的第一限位销和第二限位销，利用限位条孔可限定开合的极限位置，从而进一步的确保开合位置准确。

又由于所述底座与第一吸板之间或底座与第二吸板之间设置有合拢复位弹性件。这样，利用合拢复位弹性件即可带动第一吸板和第二吸板同步合拢，动作稳定可靠，并且避一旦开合动力装置出现故障时，第一吸板和第二吸板会因为弹性力而收拢，这样避免光刻版从第一吸板和第二吸板上掉落。

又由于所述第一吸板的长度比第二吸板的长度长，所述第一吸板上的避让凹口为一个大避让凹口，第二吸板上的避让缺口为两个小避让凹口，第一吸板上设置了两个负压抽吸口且位于大避让凹口的两侧，第二吸板上设置了两个负压抽吸口且位于远离支座的小避让凹口的两侧，第一吸板上的两个负压抽吸口的连线与第二吸板上的两个负压抽吸口的连线平行，第二吸板上的两个负压抽吸口处于大避让凹口范围内，这样，第一吸板和第二吸板的负压抽吸口分布合理，光刻版的受力合理。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是图1的局部放大示意图；

图3是光刻版取料状态的结构示意图；

附图中：1.支座；2.第一吸板；3.第二吸板；4.同步摆轮；5.开合气缸；6.限位条孔；7.第一限位销；8.第二限位销；9.合拢复位弹性件；10.第二销轴；11.第二条孔；12.第一销轴；13.第一条孔；14.大避让凹口；15.小避让凹口；16.光刻版；17.版膜；18.第一供气连接头；19.第一进气接头；20.第二供气连接头；21.第二进气接头。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1至图3所示，一种芯片光刻机的光刻版16取料装置，包括支座1，所述支座1上安装有第一吸板2和第二吸板3，所述第一吸板2和第二吸板3的滑动方向相同，具体的，支座1上设置有平行设置的第一导轨和第二导轨，所述第一吸板2上设置有与第一导轨配合的滑块，第二吸板3设置有与第二导轨上配合的滑块。

所述支座1上设置有分别与第一吸板2和第二吸板3连接的同步开合机构，如图1和图2所示，所述同步开合机构包括转动安装于支座1上的同步摆轮4，所述同步摆轮4上安装有第一销轴12和第二销轴10，所述第一销轴12和第二销轴10相对于同步摆轮4的摆动中心成中心对称布置，所述第一吸板2上设置有与第一销轴12适配的第一条孔13，第二吸板3上设置有与第二销轴10适配的第二条孔11，所述第一销轴12和第二销轴10分别约束于第一条孔13和第二条孔11内，所述第一吸板2或第二吸板3由开合动力装置驱动，本实施例中，开合动力装置驱动是与第二吸板3水平滑动，例如第二吸板3向图纸左侧滑动时，第二吸板3会带动第二销轴10向左方向滑动，进而带动同步摆轮4摆动，第一销轴12则与第二销轴10的运行方向相反，第一条孔13和第二条孔11方便第一销轴12和第二销轴10在图纸上下方向上移动，保证动作的顺畅和同步。

所述底座上设置有限位条孔6，所述第一吸板2和第二吸板3上分别设置有位于限位条孔6内的第一限位销7和第二限位销8，该限位条孔6的长度可现实第一吸板2和第二吸板3的打开宽度，并且第一吸板2和第二吸板3收拢后时，第一限位销7和第二限位销8相互接触实现限位，当然，也可以通过第一条孔13和第二条孔11的长度控制实现限位。

所述第一吸板2和第二吸板3上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版16的下板面的边缘对应，如图3所示，在正常工作时，光刻版16的上版面和下版面均粘结有版膜17，版膜17的尺寸比光刻版16的尺寸小，因此，版膜17的边缘与光刻版16的边缘构成了方便真空吸附的间距，该间距也方便光刻版16吸附底座的吸附，所述第一吸板2和第二吸板3的内侧均设置有用于避让光刻版16吸附底座的避让凹口。

如图1所示，所述第一吸板2的长度比第二吸板3的长度长，所述第一吸板2上的避让凹口为一个大避让凹口14，第二吸板3上的避让缺口为两个小避让凹口15，而光刻版16吸附底座中左侧的吸附座体是处于大避让凹口14的范围内，方便避让，而光刻版16吸附底座中右侧的两个吸附座体分别处于小避让凹口15的范围内。这样，第一吸板2和第二吸板3可上下升降，并不受到光刻版16吸附底座的干涉。

第一吸板2上设置了两个负压抽吸口且位于大避让凹口14的两侧，第二吸板3上设置了两个负压抽吸口且位于远离支座1的小避让凹口15的两侧，第一吸板2上的两个负压抽吸口的连线与第二吸板3上的两个负压抽吸口的连线平行，第二吸板3上的两个负压抽吸口处于大避让凹口14范围内。

所述底座上设置有第一供气连接头18和第二供气连接头20，所述第一吸板2上设置有第一进气接头19，所述第二吸板3上设置有第二进气接头21，所述第一供气连接头18和第一进气接头19之间通过软管连通，所述第二供气连接头20与第二进气接头21通过软管连通，第一吸板2板体和第二吸板3的板体内均设置有通气通道，该通气通道将第一进气接头19与第一吸板2上的负压抽吸口连通、将第二进气接头21与第二吸板3上的负压抽吸口连通。

所述底座与第一吸板2之间或底座与第二吸板3之间设置有合拢复位弹性件9，底座上和第二吸板3上均设置有连接销，合拢复位弹性件9安装于连接销之间。

作为一种优选的方案，所述开合动力装置包括一个开合气缸5，所述开合气缸5固定于支座1上，开合气缸5的活塞杆与所述第一吸板2或第二吸板3连接。

本实用新型中的光刻版16取料装置可适应带有版膜17的光刻版16的取料要求，取料时不会对版膜17造成破坏，保证光刻版16的完整，确保光刻效果。

以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。