储料器以及作业用脚手架的形成方法与流程

本发明涉及储料器以及作业用脚手架的形成方法。

背景技术：

在半导体制造车间等中，为了保管收容半导体晶片或者中间掩模等的foup、中间掩模盒等容器(物品)，设置有储料器。该储料器具备：在内部载置物品的搁架部；以及在储料器内部行进而进行物品的移载的输送装置。搁架部沿着输送装置的行进空间在上下方向配置有多层。在这样的储料器中，公知有如下的技术：为了使得在物品收纳时的故障或者维护时作业者能够访问上方的搁架部，在输送装置的行进空间配置多个脚手架部件而形成作业用脚手架(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－019031号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

关于专利文献1的储料器，从设置在划分储料器内外的门的外侧的收容部沿着隔着行进空间在水平方向平行延伸的一对轨道使多个脚手架部件依次充填，由此来形成作业用脚手架。关于该作业用脚手架的形成，通过作业者从收容部使脚手架部件充填到轨道来进行，但使最前头的脚手架部件充填到轨道的作业麻烦，并且是高处的作业，因此存在作业者的负担大的课题。并且，当在未形成有作业用脚手架的状态下作业者将划分储料器内外的门打开时，朝储料器内的进入未被限制，因此需要注意门的开闭，会对作业者造成负担。

本发明就是鉴于以上的情形而完成的，其目的在于，提供一种能够容易地进行作业用脚手架的形成、能够减轻作业者的负担的储料器以及作业用脚手架的形成方法。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的储料器具备：输送装置，在储料器内的行进空间行进，并输送物品；一对轨道，隔着行进空间而在水平方向平行地延伸；多个脚手架部件，能够沿着一对轨道移动；以及收容部，相对于划分储料器内和储料器外的门设置在储料器外侧，收容多个脚手架部件，一对轨道从储料器内通过设置在门的正下的开口部延伸配置至收容部，在多个脚手架部件的至少一个立起设置有上端比开口部的上端高的栅栏部，具备栅栏部的脚手架部件经由开口部而跨越储料器内和储料器外配置，且栅栏部配置在储料器内侧。

并且，也可以形成为，栅栏部设置于在最前头充填到一对轨道的脚手架部件。并且，也可以形成为，栅栏部具备：多个支柱，从脚手架部件朝上方延伸；以及多个水平部，配置在多个支柱间，最上部的水平部设定成比站在脚手架部件上的作业者的腰的位置高。并且，也可以形成为，多个脚手架部件中的具备栅栏部的脚手架部件以外的脚手架部件在输送装置行进时以层叠的状态收容在收容部。

并且，也可以形成为，输送装置具备：行进部，在行进空间行进；立柱，从行进部沿上下方向设置，且俯视观察时外周的一部分呈弧状；以及移载部，沿着立柱升降。并且，也可以形成为，多个脚手架部件中的接近立柱的脚手架部件设置有供立柱的一部分进入的切缺部。

本发明所涉及的作业用脚手架的形成方法在储料器中形成作业用脚手架，上述储料器具备输送装置，该输送装置在储料器内的行进空间行进，并输送物品，其中，储料器具备：一对轨道，隔着行进空间而在水平方向平行地延伸；多个脚手架部件，能够沿着一对轨道移动；以及收容部，相对于划分储料器内和储料器外的门设置在储料器外侧，收容多个脚手架部件，一对轨道从储料器内通过设置在门的正下的开口部延伸配置至收容部，在多个脚手架部件中的至少一个立起设置有上端比开口部的上端高的栅栏部，上述作业用脚手架的形成方法包括：在输送装置行进时，将多个脚手架部件中的具备栅栏部的脚手架部件以外的脚手架部件收容到收容部，将具备栅栏部的脚手架部件经由开口部而跨越储料器内和储料器外配置，且将栅栏部配置在储料器的内侧；以及在输送装置停止时，在具备栅栏部的脚手架部件之后，将脚手架部件从收容部依次通过开口部充填到储料器内的一对轨道。

发明效果

根据本发明的储料器以及作业用脚手架的形成方法，具备栅栏部的脚手架部件经由开口部而跨越储料器内和储料器外配置，且栅栏部配置在储料器内侧，因此，作业者通过在该具备栅栏部的脚手架部件之后使其他的脚手架部件从收容部依次充填到轨道，能够容易且简单地形成作业用脚手架，能够减轻作业者的负担。并且，当在未形成作业用脚手架的状态下作业者将储料器的门打开的情况下，由于相对于门而在储料器内侧的附近立起有栅栏部，因此能够限制作业者从门进入储料器内。

并且，当栅栏部设置于在最前头充填到一对轨道的脚手架部件的情况下，能够容易地形成在最前头具备栅栏部的作业用脚手架，并且，在不使用脚手架部件时，能够将栅栏部配置在门的内侧的附近。并且，当栅栏部具备从脚手架部件朝上方延伸的多个支柱和配置在多个支柱间的多个水平部、最上部的水平部设定得比站在脚手架部件上的作业者的腰的位置高的情况下，能够利用多个支柱以及多个水平部提高栅栏部的刚性，此外，由于最上部的水平部比作业者的腰的位置高，因此能够相对于作业者作为有效的栅栏部发挥功能。并且，当多个脚手架部件中的设置有栅栏部的脚手架部件以外的脚手架部件在输送装置行进时以层叠状态收容在收容部的情况下，能够利用收容部高效地保管多个脚手架部件。

并且，当输送装置具备在行进空间行进的行进部、从行进部沿上下方向设置且俯视观察时外周的一部分呈弧状的立柱、以及沿着立柱升降的移载部的情况下，能够利用输送装置高效地移载物品。并且，当多个脚手架部件中的接近立柱的脚手架部件设置有供立柱的一部分进入的切缺部的情况下，通过使立柱的一部分进入切缺部，能够相对于外周的一部分呈弧状的立柱而将脚手架部件接近配置，立柱与脚手架部件之间的间隙变小，因此能够减少来自该间隙的落下物。

附图说明

图1是示出实施方式所涉及的储料器的一例的俯视图。

图2是图1所示的储料器的主视图。

图3是示出收容部以及门的立体图。

图4是在将门打开的状态下从储料器的外侧观察储料器的内侧的图。

图5中，(a)是示出脚手架部件的侧视图，(b)至(d)是示出连结部件的动作的图。

图6是示出实施方式所涉及的作业用脚手架的形成方法的流程图。

图7中，(a)以及(b)是作业用脚手架的形成方法的说明图。

图8接续图7，(a)以及(b)是作业用脚手架的形成方法的说明图。

图9接续图8，是作业用脚手架的形成方法的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。但是，本发明并不限定于该实施方式。并且，在附图中，为了对实施方式进行说明，将一部分放大或者强调示出等而适当地变更比例尺进行表现。在以下的各图中，使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中，将与水平面平行的平面作为xy平面。在该xy平面中，将输送装置1的行进方向记为x方向，将水平方向中的与x方向正交的方向记为y方向。并且，将与xy平面垂直的方向记为z方向。关于x方向、y方向以及z方向的各个，将图中的箭头的方向记为+方向，将与箭头的方向相反的方向记为－方向而进行说明。

[实施方式]

图1以及图2是示意性地示出实施方式所涉及的储料器的一例的图。图1是从+z侧观察的俯视图。图2是从－y侧观察的主视图。

本实施方式的储料器s例如设置于半导体车间等，保管收容半导体晶片的foup、或者收容中间掩模等加工用部件的中间掩模盒等物品f。本实施方式的输送装置1是堆垛起重机。储料器s具有能够相对于外部隔离的内部空间。储料器s具备在储料器s的外部与内部空间之间交接物品f的出入库口(未图示)。储料器s具备输送装置1、保管搁架2、门3、一对轨道4、脚手架部件5、以及收容部6。

保管搁架2配置在储料器s的内部，收容物品f。保管搁架2设置有多个。各保管搁架2配置在相对于输送装置1的移动方向(x方向)的交叉方向(y方向)的两侧(+y侧以及－y侧)。各保管搁架2具备多个搁架板以及纵板，能够收容多个物品f。

输送装置1在储料器s内的行进空间sp行进而输送物品f。行进空间sp设置在+y侧以及－y侧的保管搁架2之间。输送装置1具备行进部8(参照图2)、立柱9、以及移载部10。

图2的行进部8沿着轨道11(未图示)行进。轨道11设置在储料器s内的上部(未图示)以及下部。上部以及下部的轨道11分别设置在+y侧以及－y侧的保管搁架2之间。上部以及下部的轨道11分别沿与x方向平行的方向配置。在上部以及下部的轨道11的－x侧设置有限制行进部8的行进的止挡件12。止挡件12限制行进部8的行进范围。行进部8例如具有电动马达等行进驱动部、减速器、驱动轮、编码器等。驱动轮以与轨道11接触的方式配置，且经由减速器与电动马达(行进驱动部)的输出轴连接。电动马达的输出轴的旋转经由减速器传递至驱动轮，通过驱动轮的旋转，行进部8行进。行进驱动部(电动马达)可以是旋转型的马达，也可以是线性马达。

在上部的以及下部的行进部8之间设置有沿上下方向(铅垂方向)延伸的立柱9。立柱9与上部的行进部8以及下部的行进部8一体地移动(参照图2)。立柱9如图1所示从上方观察(俯视观察)呈圆形的一部分的形状、外周的一部分呈弧状。立柱9从上方观察具有大致半圆形状的一部分被切缺的形状的切缺部9a，为c字状的形状。立柱9经由旋转支承部(未图示)而相对于行进部8被支承为能够以与铅垂方向平行的预定的旋转轴为中心旋转，且通过电动马达等旋转驱动部(未图示)的驱动而旋转(参照图1)。在立柱9旋转时，立柱9的圆弧状的外周9b的轨道从上方观察成为大致圆状的轨道。立柱9在移载物品f时以物品f朝向移载目的地的方向的方式旋转。立柱9在将物品f朝+y侧的保管搁架2输送的情况下，如图1的实线所示，以物品f朝向+y侧的方式旋转。并且，立柱9在将物品f朝－y侧的保管搁架2输送的情况下，如图1的单点划线所示，以物品f朝向－y侧的方式旋转。

移载部10将物品f移载至预定的位置。移载部10具备升降台14以及移载装置15。升降台14配置于立柱9的切缺部9a(参照图1)。在将升降台14配置于立柱9的切缺部9a的情况下，能够使装置的尺寸紧凑。升降台14沿着立柱9升降(参照图2)。升降台14由设置于立柱9的沿铅垂方向延伸的引导件16引导。升降台14由钢丝等吊挂部件从上方吊挂。输送装置1具备驱动吊挂部件的升降驱动部(未图示)。该升降驱动部进行吊挂部件的送出或者卷取。若升降驱动部卷取吊挂部件，则升降台14由立柱9引导而上升。并且，若升降驱动部送出吊挂部件，则升降台14由立柱9引导而下降。

移载装置15移载物品f。移载装置15设置于升降台14。移载装置15与升降台14的升降一起升降(参照图2)。移载装置15具备臂部18、保持部19、旋转驱动部20(参照图1)。臂部18是伸缩臂。臂部18呈2个臂经由关节连接的构造。臂部18能够通过2个臂在关节处折弯而在水平方向伸缩。臂部18的基端侧连接于旋转驱动部20。在臂部18的前端侧，以能够旋转的方式连接有对物品f进行定位保持的保持部19。移载装置15如图1的实线所示在朝移载目的地交接物品f时，相对于移载目的地而臂部18伸长，将保持部19上的物品f配置在移载目的地的上方。进而，升降台14下降，由此从保持部19朝移载目的地交接物品f。并且，移载装置15在从保管搁架2等移载源接收物品f时，保持部19相对于配置于移载源的物品f而使臂部18伸出，配置在物品f的底面的下方。进而，移载装置15通过升降台14上升而保持部19将物品f抬起。进而，移载装置15如图1的虚线所示在保持部19上保持有物品f的状态下使臂部18收缩，将物品f保持在升降台14的上方。

如上所述，输送装置1具备：在行进空间sp行进的行进部8；从行进部8沿上下方向设置且俯视观察时外周的一部分呈弧状的立柱9；以及沿着立柱9升降的移载部10，因此能够高效地移载物品f。

然而，储料器s有时由作业者u进行维护作业。作业者u在进行维护作业时，从划分储料器s内和储料器s的外部的门3访问储料器s内。作业者u所执行的维护作业有时在储料器s内的高处进行。储料器s内的高处的维护作业通过设置高处作业用的脚手架而进行。

本实施方式的储料器s如图2所示在每个预定的高度，直至储料器s的最上部的附近为止，具备门3、设置作业用脚手架sc的脚手架设置机构22、以及板面24。脚手架设置机构22具备一对轨道4、脚手架部件5(板台)、以及收容部6。在设置于各高度的板面24设置有梯子(未图示)，作业者u能够使用梯子移动至各高度的板面24。这样，关于本实施方式的储料器s，能够在每个预定的高度设置脚手架，因此能够容易地实施高处的各场所处的维护作业。

一对轨道4如图2所示对脚手架部件5进行支承引导。一对轨道4如图1所示隔着行进空间sp沿水平方向(x方向)平行地延伸。一对轨道4从后面即将说明的收容部6的内部延伸至储料器s的+x侧的端部。根据该结构，能够从收容部6内直至储料器s的+x侧的端部之间进行脚手架部件5的移动以及设置。

图3是示出收容部以及门的一部分的立体图。一对轨道4如图3所示从储料器s内通过门3的正下延伸配置至收容部6。在门3的正下设置有开口部26。开口部26用于供一对轨道4以及脚手架部件5在储料器s的外部与内部通过。开口部26的y方向的宽度以及z方向的高度设定成使得脚手架部件5能够在开口部26通过的间隔。当在门3的正下设置有一对轨道4以及脚手架部件5能够通过的开口部26的情况下，能够在关闭门3的状态下将脚手架部件5设置在储料器s内。在该情况下，能够限制在将脚手架部件5设置于储料器s内的作业中作业者u从门3进入储料器s内。另外，在开口部26设置有能够对开口部26进行开闭的罩(未图示)。关于开口部26，在不设置脚手架部件5时由罩封闭。并且，关于开口部26，在设置脚手架部件5时，罩打开而开口部26开口。

图4是在将门打开的状态下从储料器的外侧观察储料器的内部的图。一对轨道4在储料器s内配置于保管搁架2内部的一部分。一对轨道4配置在+y侧以及－y侧的保管搁架2的内部。并且，脚手架部件5也形成为其y侧的两端配置在+y侧以及－y侧的保管搁架2的内部。当像这样一对轨道4以及脚手架部件5的至少一部分配置在+y侧以及－y侧的保管搁架2的内部的情况下，能够利用脚手架部件5将+y侧的保管搁架2与－y侧的保管搁架2之间无间隙地覆盖。在该情况下，能够可靠地防止来自该间隙的落下物。

并且，一对轨道4分别限制脚手架部件5的上下方向的移动以及水平方向(y方向)的移动。在该情况下，能够对脚手架部件5可靠地进行支承以及引导。一对轨道4分别形成为与轨道4的长边方向(－x方向)正交的面(yz平面)的截面呈c字状。一对轨道4通过脚手架部件5的车轮5b嵌入c字状的截面而限制脚手架部件5的上下方向的移动以及水平方向(y方向)的移动。

返回图2的说明，对脚手架部件5进行说明。脚手架部件5设置有多个。各脚手架部件5呈矩形板状，通过排列多个脚手架部件5而形成一体的作业用脚手架sc。各脚手架部件5具备多个车轮5b(参照图5)，能够沿着一对轨道4行进(移动)。多个车轮5b如图1所示在脚手架部件5的+y侧以及－y侧的侧部(侧面)设置有4个。

如图2所示，多个脚手架部件5中的至少一个具备栅栏部28。栅栏部28限制作业者u的移动。在以下的说明中，将具备栅栏部28的脚手架部件5称为带栅栏的脚手架部件5a。带栅栏的脚手架部件5a在包含由输送装置1进行的物品f的输送时在内的输送装置1的行进时相对于门3位于储料器s内侧且相对于行进空间sp(x方向)配置在门3侧的位置(参照图1)。带栅栏的脚手架部件5a经由开口部26(参照图3)而跨越储料器s内和储料器s外配置，且栅栏部28配置在储料器s内侧(参照图2中用实线示出的带栅栏的脚手架部件5a)。根据该结构，带栅栏的脚手架部件5a配置在从输送装置1的行进范围偏离的死区空间ds。在将带栅栏的脚手架部件5a配置在上述的位置的情况下，如图4所示，当将门3打开时，成为栅栏部28在门3的附近立起的状态。当像这样带栅栏的脚手架部件5a相对于门3位于储料器s内侧且相对于行进空间sp配置在门3侧的位置的情况下、或者带栅栏的脚手架部件5a经由开口部26跨越储料器s内和储料器s外配置且栅栏部28配置在储料器s内侧的情况下，当在未形成有作业用脚手架sc的状态下作业者u将储料器s的门3打开时，由于栅栏部28相对于门3而在储料器s内侧立起，因此能够限制作业者u从门3进入储料器s内。并且，带栅栏的脚手架部件5a经由开口部26而跨越储料器s内和储料器s外配置，且栅栏部28配置在储料器s内侧、且配置在死区空间ds，因此能够不妨碍输送装置1的行进地配置带栅栏的脚手架部件5a。并且，带栅栏的脚手架部件5a如图2中用虚线所示在形成作业用脚手架sc时在最前头充填到一对轨道4。关于作业用脚手架sc的形成，将随后在动作的部分进行说明。

对栅栏部28进行说明。如图4所示，栅栏部28在脚手架部件5立起设置。栅栏部28形成为上端比开口部26(参照图3)的上端高。栅栏部28具备多个支柱28a以及多个水平部28b。各支柱28a从脚手架部件5朝上方延伸，且分别在与y方向平行的方向排列配置。各水平部28b沿与y方向平行的方向延伸。各水平部28b配置在多个支柱28a间，连结多个支柱28a。多个水平部28b中的最上部的水平部28b设定得比站在脚手架部件5上的作业者u的腰的位置高(参照图2)。当栅栏部28具备从脚手架部件5朝上方延伸的多个支柱28a、以及配置在多个支柱28a间的多个水平部28b，且最上部的水平部28b设定得比站在脚手架部件5上的作业者u的腰的位置高的情况下，能够利用多个支柱28a以及多个水平部28b提高栅栏部28的刚性，并且，由于最上部的水平部28b比作业者u的腰的位置高，因此能够相对于作业者u作为有效的栅栏部28发挥功能。另外，栅栏部28构成为满足jis、osha(occupationalsafetyandhealthadministration，职业安全与健康管理局)等的标准。并且，在本实施方式中，关于带栅栏的脚手架部件5a，为了稳定地支承栅栏部28，前方(+x侧)的车轮5b相对于脚手架部件5朝前方突出设置，车轮5b与车轮5b之间的间隔(轴距)设定为比脚手架部件5长(参照图1)。

并且，带栅栏的脚手架部件5a如图1所示具备切缺部29。切缺部29设置在输送装置1侧(+x侧)。切缺部29呈与立柱9的形状对应的形状。立柱9的一部分进入切缺部29。切缺部29构成为：如图1所示即便在输送装置1朝最接近门3的位置(－x侧的位置)移动并进行旋转动作的情况下，立柱9的可动区域也配置在切缺部29，不会与立柱9干涉。当如上所述在多个脚手架部件5中的接近立柱9的脚手架部件5设置有切缺部29的情况下，通过使立柱9的一部分进入切缺部29，能够相对于外周的一部分呈弧状的立柱9而将脚手架部件5接近配置。根据该结构，立柱9与脚手架部件5之间的间隙变小，因此能够减少来自该间隙的落下物。

对脚手架部件5的连结进行说明。图5的(a)是示出脚手架部件5的从－y方向观察的侧视图。图5的(b)以及(c)是示出连结部件的动作的图。图5的(d)是示出多个脚手架部件连结的状态的图。各脚手架部件5分别具备连结脚手架部件5和脚手架部件5的连结部件30。连结部件30具备：朝脚手架部件5的行进方向侧(+x侧)突出的一对突出钩31；以及一对卡合销32。一对突出钩31设置在脚手架部件5的－y侧以及+y侧的侧面。在各突出钩31的下方形成有从下方朝上方延伸的切缺部31a。各突出钩31从前端直至切缺部31a的开口端倾斜，该倾斜形成为倾斜部31b。一对卡合销32设置在脚手架部件5的与行进方向相反侧(－x侧)的部分的－y侧以及+y侧的侧面。

对脚手架部件5的连结动作进行说明。在将2台脚手架部件5连结的情况下，如图5的(b)所示，相对于配置在前方(+x侧)的脚手架部件5，从后方将其他的脚手架部件5进行抵靠，由此，后方的脚手架部件5的突出钩31与前方的脚手架部件5的卡合销32抵接，进一步，经由倾斜部31b，突出钩31逐渐上抬至卡合销32，进而，如图5的(c)所示，卡合销32与切缺部31a卡合。根据该结构，2台脚手架部件5连结。进而，通过反复进行上述的连结动作，如图5的(d)所示，多个脚手架部件5连结。

返回图2的说明，收容部6收容多个脚手架部件5。收容部6相对于门3设置在储料器s外侧的附近。多个脚手架部件5中的带栅栏的脚手架部件5a以外的脚手架部件5在输送装置1的行进时以层叠的状态收容在收容部6。在该情况下，能够高效地保管多个脚手架部件5。一对轨道4延伸配置到收容部6的内部，并与收容部6连接。收容在收容部6的多个脚手架部件5在使用时能够从收容部6直接充填到轨道4。并且，用于形成作业用脚手架sc的多个脚手架部件5在收容时能够从一对轨道4直接收容于收容部6。这样，一对轨道4与收容部6连接，因此能够容易且简单地形成作业用脚手架sc，并且能够容易地收容多个脚手架部件5，所以能够减轻作业者u的负担。

其次，基于储料器s的动作，对实施方式所涉及的作业用脚手架的形成方法进行说明。图6是示出作业用脚手架的形成方法的一例的流程图。图7至图9是示出储料器s的动作的图。作业用脚手架的形成方法是在储料器s中形成作业用脚手架的方法。

在储料器s中，在图6的步骤s1中，在输送装置1的行进时，将多个脚手架部件5中的带栅栏的脚手架部件5a以外的脚手架部件5收容于收容部6，将带栅栏的脚手架部件5a经由开口部26(参照图3)而跨越储料器s内与储料器s外配置，且将栅栏部28配置在储料器s内侧。多个脚手架部件5中的带栅栏的脚手架部件5a以外的脚手架部件5例如如图2所示以层叠的状态收容于收容部6。根据该结构，能够高效地保管多个脚手架部件5。如图7的(a)所示，带栅栏的脚手架部件5a配置在一对轨道4中的相对于门3位于储料器s内侧且相对于行进空间sp位于门3侧的位置。根据该结构，带栅栏的脚手架部件5a在作业用脚手架sc中成为最前头的脚手架部件5。并且，当将带栅栏的脚手架部件5a配置在上述的位置的情况下，当在未形成有作业用脚手架sc的状态下作业者u将储料器s的门3打开的情况下，相对于门3而栅栏部28在储料器s内侧立起，因此能够限制作业者u从门3进入储料器s内。并且，带栅栏的脚手架部件5a在输送装置1的行进时配置在上述的位置，因此能够可靠地限制在输送装置1的行进时作业者u从门3进入储料器s内。

在储料器s中，有时需要进行由作业者u执行的维护等的作业。此时，在需要进行作业的场所形成作业用脚手架sc。作业用脚手架sc的形成在输送装置1停止时进行。在形成作业用脚手架sc前，在图6的步骤s2中，使输送装置1退避、停止。例如，如图7的(b)所示，使输送装置1移动(退避)至储料器s的+x侧的端部并停止。另外，输送装置1也可以不移动至+x侧的端部。例如，使输送装置1移动的位置可以根据维护的场所设定。

接着，在图6的步骤s3中，在输送装置1停止时，在带栅栏的脚手架部件5a之后，脚手架部件5从收容部6通过开口部26依次充填到储料器s内的一对轨道4。例如，如图8的(a)所示，1个脚手架部件5从收容部6充填到轨道4，且如图5的(a)至(c)所示抵靠于前方(+x侧)的带栅栏的脚手架部件5a，由此，如图5的(d)所示与前方的带栅栏的脚手架部件5a连结。在与前方的带栅栏的脚手架部件5a的连结完毕后，脚手架部件5依次充填到一对轨道4，反复进行上述的与前方的脚手架部件5的连结。根据该结构，如图8的(b)所示，形成作业用脚手架sc。并且，如上所述，作业用脚手架sc在输送装置1的停止时形成，因此能够抑制形成作业用脚手架sc时的脚手架部件5与输送装置1的接触。

关于以上述方式形成的作业用脚手架sc，如图9所示，通过立柱9的一部分进入带栅栏的脚手架部件5a的切缺部29，能够相对于外周的一部分呈弧状的立柱9而将脚手架部件5接近配置。根据该结构，立柱9与脚手架部件5之间的间隙变小，因此能够减少来自该间隙的落下物。并且，在本实施方式中，栅栏部28设置于在最前头充填到一对轨道4的带栅栏的脚手架部件5a，因此能够容易地形成在最前头具备栅栏部28的作业用脚手架sc，此外，在不形成作业用脚手架sc时，能够相对于门3而将栅栏部28配置在储料器s内侧的附近。并且，在本实施方式中，带栅栏的脚手架部件5a相对于门3配置在储料器s内侧，因此能够避免带栅栏的脚手架部件5a通过门3的正下的开口部26时产生的干涉。

如上，根据本发明的储料器s以及作业用脚手架的形成方法，具备栅栏部28的脚手架部件5(带栅栏的脚手架部件5a)经由开口部26而跨越储料器s内与储料器s外配置、且栅栏部28配置在储料器s内侧，因此，作业者u能够接续具备该栅栏部28的脚手架部件5而使其他的脚手架部件5从收容部6依次充填到轨道4，由此能够容易且简单地形成作业用脚手架sc，能够减轻作业者u的负担。并且，当在未形成有作业用脚手架sc的状态下作业者u将储料器s的门3打开的情况下，栅栏部28相对于门3而在储料器s内侧立起，因此能够限制作业者u从门3进入储料器s内。

以上对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的说明，能够在不脱离本发明的主旨的范围进行各种变更。例如，在上述的实施方式中，假设输送装置1为堆垛起重机而进行了说明，但输送装置1也可以并非堆垛起重机，能够使用任意的输送装置。并且，在上述的实施方式中，假设物品f为foup而进行了说明，但物品f也可以为foup以外。另外，储料器s也能够应用于半导体领域以外的设备。

另外，在上述的实施方式中，对输送装置1的立柱9俯视观察时外周的一部分呈弧状的例子进行了说明，但立柱9的形状是任意的。例如，立柱9的形状也可以形成为从上方观察呈大致矩形状(包含正方形)，也可以为不定形。

另外，在上述的实施方式中，对具备栅栏部28的脚手架部件5(带栅栏的脚手架部件5a)配置在门3的内侧且为相对于行进空间sp(x方向)距门3侧最近的位置的例子进行了说明，但具备栅栏部28的脚手架部件5的位置并不限定于该位置。例如，也可以形成为，在输送装置1的行进时，在储料器s内侧，在具备栅栏部28的脚手架部件5与门3之间设置有多个脚手架部件5。

另外，在上述的实施方式中，示出了具备栅栏部28的脚手架部件5(带栅栏的脚手架部件5a)配置在多个脚手架部件5中的距输送装置1最近的位置的例子，但具备栅栏部28的脚手架部件5的位置并不限定于该位置。例如，也可以形成为，在输送装置1的行进时，在储料器s内侧，在具备栅栏部28的脚手架部件5与输送装置1之间设置有多个脚手架部件5。

另外，在上述的实施方式中，对具备栅栏部28的脚手架部件5(带栅栏的脚手架部件5a)具备切缺部29的例子进行了说明，但具备切缺部29的脚手架部件5也可以并非带栅栏的脚手架部件5a。例如，也可以形成为，具备切缺部29的脚手架部件5是多个脚手架部件5中的接近立柱9的脚手架部件5、且是不具备栅栏部28的脚手架部件5。并且，脚手架部件5也可以不具备切缺部29。例如，在输送装置1或者立柱9的形状为从上方观察呈矩形状的情况下，也可以不具备切缺部29。

另外，在上述的实施方式中，对具备栅栏部28的脚手架部件5(带栅栏的脚手架部件5a)在最前头充填到一对轨道4的例子进行了说明，但具备栅栏部28的脚手架部件5也可以在最前头以外的任意的位置充填到一对轨道4。例如，具备栅栏部28的脚手架部件5也可以在从最前头起的第2个至第5个的任一个位置充填。并且，在法令所允许的范围内，援引日本特许出愿即日本特愿2017－032048以及本说明书中引用的所有文献的内容而作为本文的记载的一部分。

附图标记说明

1···输送装置

2···保管搁架

3···门

4···轨道

5···脚手架部件

5a···带栅栏的脚手架部件(具备栅栏部的脚手架部件)

6···收容部

8···行进部

9···立柱

9a···切缺部

28···栅栏部

28a···支柱

28b···水平部

f···物品

s···储料器

sp···行进空间

u···作业者