一种传送辊及其应用的制作方法

本发明涉及一种传送辊，以及应用该传送辊的辊道和链式炉。

背景技术：

链式炉可采用辊道传送产品，辊道包括多个传送辊，且传送辊由链条带动运转（传送辊一端设有与链条配合的链轮）。

现有传送辊都是一体式结构，即传送辊由一种材质制备而成，且传送辊的端部常采用异形结构。而链式炉常采用高温工艺，这就要求传送辊采用耐高温的材质制备，且某些链式炉对传送辊的材质有进一步要求，如太阳能电池片生产所用的链式炉，其需要传送辊采用非金属材质，而采用特殊材质制备一体式结构的传送辊加工难度大。

另外，链式炉对传送辊的直线度有较高要求，否则传送辊容易因堵转而断裂，而一体式结构的传送辊一旦断裂就整个报废，更换成本高。

技术实现要素：

为了解决现有技术的缺陷，本发明提供一种传送辊，包括：用于传送产品的辊棒，与辊棒一端可拆卸连接的连接轴，以及将辊棒和连接轴锁在一起的连接销；

所述辊棒和连接轴位于同一直线，辊棒在其朝向连接轴的一端设有第一连接头，连接轴在其朝向辊棒的一端设有第二连接头；第一连接头和第二连接头公母配合，其中一个连接头为公连接头，另一个连接头为母连接头；公连接头插入母连接头中，上述连接销贯穿公连接头和母连接头，公连接头和母连接头分别设有可供连接销贯穿的通孔；连接轴在其远离辊棒的一端设有链轮，且链轮与连接轴共轴心；

所述连接销在辊棒堵转时可断裂。

本发明传送辊主要由辊棒、连接轴和连接销组成，故本发明传送辊并非一体式结构，辊棒和连接轴可以采用不同的材质，如辊棒采用非金属材质，连接轴采用金属材质，可降低传送辊的加工难度。且连接销在辊棒堵转时可断裂，维修传送辊仅需更换连接销，不需要更换整个传送辊，更不需要将整个传送辊报废，故本发明传送辊维修方便，维修成本低。

优选的，所述辊棒为非金属辊棒。

优选的，所述非金属辊棒为陶瓷辊棒或石英辊棒。

优选的，所述连接轴为金属连接轴。

优选的，所述金属连接轴为不锈钢连接轴。

优选的，所述连接销为剪断销。

本发明还提供一种辊道，其包括由链条带动运转的多个上述传送辊，且链条通过链轮驱动连接轴和辊棒转动。

优选的，所述辊棒还配有用于检测其转速的转速检测装置。

优选的，所述转速检测装置靠近连接销，转速检测装置包括可由连接销的一端或两端触发的感应器，且转速检测装置通过感应连接销的一端或两端来检测辊棒的转速。

转速检测装置可以检测辊棒的转速，当辊棒堵转时，可第一时间被检测出来。

本发明还提供一种链式炉，其包括上述辊道。

优选的，所述链式炉为链式氧化炉。

优选的，所述链式氧化炉的辊道用于传送硅片，且链式氧化炉可氧化在辊道上传送的硅片。传送硅片时，辊道的辊棒优选为非金属辊棒，可以避免因采用金属辊棒而使硅片受到金属污染。

优选的，所述链式氧化炉设有被辊道贯穿的氧化腔；氧化腔外接有：可向氧化腔输送氧化气体的供气装置；氧化腔内部设有：用于加热硅片的第一加热装置；且氧化气体可氧化被加热的硅片。

优选的，所述供气装置设有用于输送氧化气体的输气管路，输气管路上设有水汽发生装置，该水汽发生装置向输气管路供应水汽，使氧化气体携带水汽。

优选的，所述水汽发生装置包括：内部储液的储液容器，用于加热储液容器中液体的第二加热装置，用于检测储液容器中液位的液位检测装置，给储液容器补充液体的补液管，以及分别与输气管路连接的进气管和出气管；

所述进气管伸入储液容器内部，且进气管伸至储液容器的液面下方；输气管路通过进气管向储液容器输送氧化气体；

所述出气管与储液容器的内腔连通，且出气管位于储液容器的液面上方；储液容器通过出气管向输气管路输送携带水汽的氧化气体。

水汽发生装置的设置，使链式氧化炉可以实现湿氧工艺，可通过湿氧工艺氧化硅片。

附图说明

图1是传送辊的示意图；

图2是水汽发生装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

实施例1

本发明提供一种传送辊，包括：用于传送产品的辊棒1，与辊棒1一端可拆卸连接的连接轴2，以及将辊棒1和连接轴2锁在一起的连接销3；

所述辊棒1和连接轴2位于同一直线，辊棒1在其朝向连接轴2的一端设有第一连接头，连接轴2在其朝向辊棒1的一端设有第二连接头；第一连接头和第二连接头公母配合，其中一个连接头为公连接头，另一个连接头为母连接头；公连接头插入母连接头中，上述连接销3贯穿公连接头和母连接头，公连接头和母连接头分别设有可供连接销3贯穿的通孔；连接轴2在其远离辊棒1的一端设有链轮4，且链轮4与连接轴2共轴心；

所述连接销3在辊棒1堵转时可断裂。

优选的，所述辊棒1为非金属辊棒，如陶瓷辊棒或石英辊棒。

优选的，所述连接轴2为金属连接轴，不锈钢连接轴。

优选的，所述连接销3为剪断销。

本发明传送辊主要由辊棒1、连接轴2和连接销3组成，故本发明传送辊并非一体式结构，辊棒1和连接轴2可以采用不同的材质，如辊棒1采用非金属材质，连接轴2采用金属材质，可降低传送辊的加工难度。且连接销3在辊棒1堵转时可断裂，维修传送辊仅需更换连接销3，不需要更换整个传送辊，更不需要将整个传送辊报废，故本发明传送辊维修方便，维修成本低。

实施例2

本发明还提供一种辊道，其包括由链条带动运转的多个上述传送辊，且链条通过链轮4驱动连接轴2和辊棒1转动。

传送辊可由一对轴承51、52支承，其中一个轴承51与连接轴2装配，另一个轴承52与辊棒1远离连接轴2的一端装配。

优选的，所述辊棒1还配有用于检测其转速的转速检测装置。

更优选的，所述转速检测装置靠近连接销3，转速检测装置包括可由连接销3的一端或两端触发的感应器，且转速检测装置通过感应连接销3的一端或两端来检测辊棒1的转速。

转速检测装置可以检测辊棒1的转速，当辊棒1堵转时，可第一时间被检测出来。

实施例3

本发明还提供一种链式氧化炉，其包括上述辊道，辊道的辊棒为陶瓷辊棒或石英辊棒，辊道用于传送硅片，且链式氧化炉可氧化在辊道上传送的硅片。

传送硅片时，辊道的辊棒采用非金属辊棒，可以避免因采用金属辊棒而使硅片受到金属污染。

更具体地，所述链式氧化炉设有被辊道贯穿的氧化腔；氧化腔外接有：可向氧化腔输送氧化气体的供气装置；氧化腔内部设有：用于加热硅片的第一加热装置；且氧化气体可氧化被加热的硅片。

实施例4

在实施例3的基础上，区别在于：

所述供气装置设有用于输送氧化气体的输气管路，输气管路上设有水汽发生装置，该水汽发生装置向输气管路供应水汽，使氧化气体携带水汽。

水汽发生装置的设置，使链式氧化炉可以实现湿氧工艺，可通过湿氧工艺氧化硅片。

实施例5

在实施例4的基础上，区别在于：

如图2所示，所述水汽发生装置包括：内部储液的储液容器61，用于加热储液容器61中液体的第二加热装置62，用于检测储液容器61中液位的液位检测装置63，给储液容器61补充液体的补液管64，以及分别与输气管路连接的进气管65和出气管66；

所述进气管65伸入储液容器61内部，且进气管65伸至储液容器61的液面下方；输气管路通过进气管65向储液容器61输送氧化气体；

所述出气管66与储液容器61的内腔连通，且出气管66位于储液容器61的液面上方；储液容器61通过出气管66向输气管路输送携带水汽的氧化气体。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。