一种靶材翻转台的制作方法

本实用新型涉及金属靶材运输设备领域，尤其是一种靶材翻转台。

背景技术：

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

目前用于镀膜工艺的溅镀设备，其溅镀阴极本身具有相当的中昂两，当需要维修保养或更换溅镀靶材时，常常耗费人力进行搬动和翻转，使得工作效率慢；此外，翻转过程中还可能会因靶材重量较重造成不慎的摔落，影响靶材的后续使用。

因此有必要设计一种靶材翻转台。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种靶材翻转台，通过卡接板与抽气嘴的配合使得装置能对靶材进行稳定的夹持和固定作用，同时卡接板能相对于铰接板发生相对的滑动，使得装置能对不同长度的靶材进行夹持移动，进一步的提高了工作效率。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种靶材翻转台，包括有底座，底座两侧分别设置有支撑架，两个所述支撑架一端与翻转架一端转动连接，所述翻转架包括有铰接板，所述铰接板端面固定有抽气泵，所述铰接板滑动连接有卡接板，所述卡接板为中空的板体，所述卡接板端延伸设置有延长板，所述延长板连接有移动板，所述移动板和延长板配合将靶材夹持，所述卡接板侧面设有多个插接槽，所述插接槽内连接固定有压缩弹簧，所述压缩弹簧的一端连接固定有抽气嘴，所述抽气嘴通过抽气管与抽气泵连接作业，所述抽气嘴与靶材的侧面贴合连接。

通过采用上述技术方案，通过可移动的卡接板，对靶材进行夹持，并通过设有的插接槽内设有的抽气嘴与板材的抵接，并通过抽气泵进行抽真空处理，使得抽气嘴内部空间形成相对真空的状态，使得靶材能稳定的进行移动。

本实用新型进一步设置为：所述铰接板贴近卡接板的侧面设置有沿长度方向将铰接板横向贯穿的板凹槽，所述板凹槽内设置有被电机带动的转动齿轮；所述卡接板一端设置有与卡接板垂直的啮合齿条，两条所述啮合齿条与转动齿轮啮合并发生相对的运动。

通过采用上述技术方案，使得卡接板能通过与转动齿轮的作用，实现位置的移动，进而实现对靶材的夹持，进而使得靶材能发生相应的位移。

本实用新型进一步设置为：所述卡接板一端侧面设置有滑槽，所述移动板一端两侧设置有滑块。

本实用新型进一步设置为：所述卡接板一端延伸设置有连接板，所述连接板上设有液压顶杆，所述液压顶杆背离连接板一端与移动板连接固定，所述液压顶杆的控制开关设置于连接板内侧面。

通过采用上述技术方案，连接板和卡接板通过液压顶杆连接固定，使得对靶材的夹持过程中，靶材会触碰到开关，使得液压顶杆作回收运动，提高对把靶材的夹持力度。

本实用新型进一步设置为：所述铰接板连接有沿长度方向将铰接板贯穿的转动轴，所述转动轴通过外接电机进行转动，使得铰接板能随转动轴的转动进行转动，所述支撑架背离底座的一端设置有轴孔，所述轴孔内插接有转动轴。

通过采用上述技术方案，保证了翻转架能以与支撑架发生角度的偏移，保证了靶材能实现转移，有效的节省了人力。

本实用新型进一步设置为：所述抽气嘴形状为漏斗状，所述抽气嘴前端贴合固定有用于密封的橡胶垫圈。

通过采用上述技术方案，提高装置的密封性，提高夹持固定效果。

本实用新型进一步设置为：所述移动板和延长板背离卡接板的端面作倾斜设置。

通过采用上述技术方案，方便了移动板和延长板对靶材的卡接。

本实用新型进一步设置为：所述底座下端四角位置设置有与工作系统中滑轨滑动连接的万向轮。

通过采用上述技术方案，通过设有的万向轮方便了翻转台的移动。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.通过在卡接板上舍有得连接板与移动板的配合，使得装置实现对靶材的夹持固定，同时通过在侧面设有的抽气装装，进一步加固了对靶材的夹持固定作用，有效的防止移动过程中出现靶材的脱落；

2.卡接板能相对于铰接板发生相对的滑动，使得装置能对不同长度的靶材进行夹持移动，有效的扩大了装置的使用范围；

3.装置结构紧凑，操作简单，有效的调高了对靶材移动的工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型卡接板与抽气嘴连接结构的示意图。

图3是本实用新型卡接板与移动板连接结构的示意图。

图中，1、底座；2、支撑架；21、轴孔；3、翻转架；31、铰接板；311、板凹槽；32、卡接板；321、啮合条；322、连接板；33、延长板；34、移动板；35、插接槽；36、转动轴；37、转动齿轮；4、抽气泵；5、压缩弹簧；6、抽气嘴；7、橡胶垫圈；8、万向轮；9、液压顶杆。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，一种靶材翻转台，包括有底座1，底座1为实心的矩形块体，底座1下端四角位置设置有与工作系统中滑轨滑动连接的万向轮8，底座1上端面两侧中间位置设置有支撑架2，支撑架2背离底座1的一端设置有轴孔21，两个支撑架2设有轴孔21的一端转动连接有翻转架3，翻转架3为矩形的框体，翻转架3包括有铰接板31，铰接板31贴近卡接板32的侧面设置有沿长度方向将铰接板31横向贯穿的板凹槽311，铰接板31连接有沿长度方向将铰接板31贯穿的转动轴36，转动轴36插入轴孔21中，使得翻转架3与支撑架2连接，转动轴36通过外接电机进行转动，使得铰接板31能随转动轴36的转动进行转动，铰接板31端面固定有抽气泵4，铰接板31两端滑动连接有卡接板32，卡接板32为中空的板体，卡接板32一端延伸设置有延长板33，延长板33背离卡接板32的端面为倾斜面，延长板33连接有移动板34，移动板34为矩形板体，移动板34背离卡接板32的端面为倾斜面，移动板34和延长板33配合将靶材夹持。

卡接板32一端侧面设置有滑槽，移动板34一端两侧设置有滑块，滑块和滑槽的配合使得移动板34能相对于卡接板32产生相对的位移。

卡接板32一端延伸设置有连接板322，连接板322与延长板33垂直连接，连接板322上设有液压顶杆9，液压顶杆9背离连接板322一端与移动板34连接固定，液压顶杆9的控制开关设置于连接板322内侧面，当对靶材的夹持过程中，靶材被卡接板32夹持的过程中会触碰到开关，使得液压顶杆9作回收运动，提高对把靶材的夹持力度。

如图2所示，卡接板32侧面设有多个插接槽35，插接槽35内连接固定有压缩弹簧5，压缩弹簧5的一端连接固定有抽气嘴6，抽气嘴6形状为漏斗状，抽气嘴6前端贴合固定有用于密封的橡胶垫圈7，橡胶垫圈7可发生弹性形变，能有效的提高抽气嘴6与靶材端面接触时的密封性，抽气嘴6通过抽气管与抽气泵4连接作业，抽气嘴6与靶材的侧面贴合连接。

如图3所示，板凹槽311内设置有被电机带动的转动齿轮37；卡接板32一端设置有与卡接板32垂直的啮合齿条321，两条啮合齿条321与转动齿轮37啮合并发生相对的运动。

本实施例的实施原理为：当对靶材进行转移时，利用外接电机对转动轴36进行转动，使得翻转架3能相对于支撑架2发生转动对靶材进行夹持，夹持过程中，两个卡接板32与铰接板31发生相对移动，使得对靶材进行夹持，同时在此过程中，靶材会对卡接板32侧面进行抵接，同时使得液压顶杆9发生高度的变化，使得卡接板32与铰接板31的距离变短，使得对靶材进行夹持，同时，抽气嘴6会与靶材的侧面进行抵接，抽气泵4此时会对抽气嘴6进行抽气作用，使得抽气嘴6内部形成中空状态，加固靶材的夹持。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。