技术特征：
1.一种基板制程输送系统，其特征在于，其包含：一第一板体，其上设有至少一第一支撑装置；一第二板体，其上设有至少一第二支撑装置；一制程作业装置，设置于该第二板体的上方；一第三板体，其上设有至少一第三支撑装置；其中，该第一板体、该第二板体与该第三板体三者以一条线的方式相邻接；一第一输送装置，设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的一侧，以平行于该一侧的方式往返移动；以及一第二输送装置，设于该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的一侧，以平行于该一侧的方式往返移动；其中，当置放在该第二板体上的一第二基板于经该制程作业装置完成制程时，该第二基板借由该至少一第二支撑装置的支撑，与该第二板体间保持一适当间隔，并随即由该第二输送装置将该第二基板从该第二板体上输送至该第三板体上，并续由该至少一第三支撑装置所支撑，以与该第三板体间保持一适当间隔，而同一时间内，该第一输送装置则将置放于该第一板体上，透过该至少一第一支撑装置的支撑以与该第一板体间保持一适当间隔的一第一基板，由该第一板体往该第二板体上输送，让该制程作业装置接续对该第一基板进行制程作业，紧接着，一第三基板被传输至本权利要求所述的基板制程输送系统，并经放置于该第一板体上。2.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支撑装置、该第二支撑装置及该第三支撑装置为气浮式、滚轮式或滚珠式装置。3.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一输送装置包含：一第一座体，设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧；一第一支持件，设置于该第一座体上；以及一第一固定件，连动于该第一支持件，该第一支持件带动该第一固定件升降，以让该第一固定件固持该第一基板；其中，该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧更设有与该一侧平行的一导轨，该第一座体于该导轨上往返移动其位置，以将该第一基板从该第一板体上输送至该第二板体上。4.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一输送装置包含：一第一座体，设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧；一第一支持件，设置于该第一座体上；一第一支架，设置于该第一支持件上；以及一第一固定件，连接于该第一支架，该第一支持件带动该第一支架移动，以让该第一固定件固持该第一基板；其中，该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧更设有与该一侧平行的一导轨，该第一座体于该导轨上往返移动其位置，以将该第一基板从该第一板体上输送至该第二板体上。5.如权利要求3或4所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一座体包含至少一第一驱动装置，以使该第一座体于该导轨上往返移动。
6.如权利要求3所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支持件包含至少一第二驱动装置，以使该第一固定件升降。7.如权利要求4所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支持件包含至少一第三驱动装置，以使该第一支架移动。8.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第二输送装置包含：一第二座体，设于该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的该一侧；一第二支持件，设置于该第二座体上；以及一第二固定件，连动于该第二支持件，该第二支持件带动该第二固定件升降，以让该第二固定件固持该第二基板；其中，该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的该一侧更设有与该一侧平行的一导轨，该第二座体于该导轨上往返移动其位置，以将该第二基板从该第二板体上输送至该第三板体上。9.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第二输送装置包含：一第二座体，设于该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的该一侧；一第二支持件，设置于该第二座体上；一第二支架，设置于该第二支持件上；以及一第二固定件，连接于该第二支架，该第二支持件带动该第二支架移动，以让该第二固定件固持该第二基板；其中，该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的该一侧更设有与该一侧平行的一导轨，该第二座体于该导轨上往返移动其位置，以将该第二基板从该第二板体上输送至该第三板体上。10.如权利要求8或9所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第二座体包含至少一第四驱动装置，以使该第二座体于该导轨上往返移动。11.如权利要求8所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第二支持件包含至少一第五驱动装置，以使该第二固定件升降。12.如权利要求9所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第二支持件包含至少一第六驱动装置，以使该第二支架移动。13.如权利要求3、4、8或9所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一固定件及该第二固定件为吸附式元件或夹具式元件。14.如权利要求4或9所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支架及该第二支架移动的方式为水平旋转、俯仰旋转或进退。15.如权利要求13所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该夹具式元件系以夹持该第一基板及该第二基板的一侧的方式，固持该第一基板及该第二基板。16.如权利要求13所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该吸附式元件以吸附该第一基板及该第二基板的下表面或上表面的方式，固持该第一基板及该第二基板。17.如权利要求14所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中以水平旋转或俯仰旋转方式移动的该第一支架及该第二支架，各皆设有至少一旋转元件，使该第一支架及该第二支架可藉而水平旋转或俯仰旋转。18.如权利要求5所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该至少一第一驱动装置
为磁浮式、滚珠螺杆式、链条式、皮带式或线性马达式元件。19.如权利要求10所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该至少一第四驱动装置为磁浮式、滚珠螺杆式、链条式、皮带式或线性马达式元件。20.如权利要求6、7、11或12所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该至少一第二驱动装置、该至少一第三驱动装置、该至少一第五驱动装置及该至少一第六驱动装置为气压式、油压式、滚珠螺杆式、链条式、皮带式或线性马达式元件。
技术总结
本实用新型是有关一种基板制程输送系统，其借由相邻接的一第一板体、一第二板体与一第三板体，以及设于该些板体的一侧，并以平行于该一侧的方式往返移动的一第一输送装置与一第二输送装置，令其在该第二板体上已完成制程的一第二基板由该第二板体上往该第三板体上输送时，同时将置放于该第一板体上的一第一基板由该第一板体上输送至该第二板体上，且该第一板体、第二板体与第三板体上皆设有多个支撑装置，用以支撑该第一及第二基板，使之与该等板体间保持一适当的间隔，而让该第一、第二输送装置于输送该第一、第二基板时，不会刮伤该第一、第二基板。此基板制程输送系统可有效提升制程的效率。升制程的效率。升制程的效率。
技术研发人员：叶东益
受保护的技术使用者：晶彩科技股份有限公司
技术研发日：2020.12.04
技术公布日：2021/12/3