悬吊运输系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体工艺领域，特别是一种悬吊运输系统。
【背景技术】
[0002]在制作半导体组件的过程中，芯片(wafer)为重要的基底材料。为了降低无尘室内，芯片在运输过程中受损的可能性，因此常以悬吊运输系统(又称天车Koverhead hoisttransport, OHT)来运输芯片，悬吊运输系统不但平稳,且运输时间可由系统精准控制，如此大幅提升芯片运输的稳定性。
[0003]然而，一般的悬吊运输系统主要包含轨道以及装设有轮子的吊车，吊车藉由轮子于轨道上移动，由于轮子直接接触轨道，因此在磨擦之下，势必产生一些微粒、粉尘等，所述微粒很有可能掉落到吊车上，若覆盖于吊车上的定位芯片，将会影响吊车的定位系统，甚至增加悬吊运输系统停摆的可能性，如此将会花费较多人力在排除悬吊运输系统的故障上。
[0004]因此，申请人提出一种悬吊运输系统，可以有效降低悬吊运输系统因微粒影响而故障的机率。
【发明内容】
[0005]为达到上述目的，本发明提供一悬吊运输系统，包含一轨道；一吊车，设置于所述轨道下方，并沿着所述轨道的方向移动；以及一清洁站，设置于所述轨道上，可直接清洁在所述轨道上移动的所述吊车。
[0006]本发明的特征在于，在轨道上设置至少一清洁站，在吊车移动的过程中或是暂停时，清洁站直接对吊车的顶部进行清洁，如此一来，将可清除堆积在吊车顶部的微粒或是粉尘等，仅需花费少许成本，即可有效降低因微粒造成悬吊运输系统停摆的可能性，进而增加悬吊运输系统的稳定度与产值。
【附图说明】
[0007]图1为本发明悬吊运输系统的示意图。
[0008]图2为本发明悬吊运输系统的示意图。
[0009]图3为本发明的吊车的上视示意图。
[0010]其中，附图标记说明如下:
[0011]10 轨道
[0012]12、12’ 吊车
[0013]14承载平台
[0014]22定位条形码
[0015]24定位装置
[0016]32条形码读取芯片
[0017]34定位感测芯片
[0018]36 轮子
[0019]40清洁站
[0020]42喷气管
[0021]A晶舟承载区
[0022]B预备区
【具体实施方式】
[0023]为使本发明技术领域的技术人员能更进一步了解本发明，以下说明书特別列举本发明的优选实施例，并配合附图，以详细说明本发明的构成内容及所欲达成的功效。
[0024]为了方便说明，本发明的各附图仅为示意以更容易了解本发明，其详细的比例可依照设计的需求进行调整。在文中所描述对于图形中相对组件的上下关系，在本领域的人皆应能理解其是指对象的相对位置而言，因此皆可以翻转而呈现相同的构件，此应同属本说明书所揭露的范围，在此先加以指明。
[0025]请参考图1至图2，其绘示本发明的悬吊运输系统的结构示意图。为简化并清楚表达图示，图1至图2仅绘出悬吊运输系统的其中一部分。如图1所示，本发明的悬吊运输系统包含一轨道10，一吊车12设置于所述轨道10下方，吊车12可以沿着轨道10的轨迹前进或是后退，其中所述吊车12具有至少一轮子(图未示)，且轮子直接接触轨道10，一晶舟承载区A，所述区域内设置有一承载平台14，放置有至少一晶舟(图未示)，而晶舟内装载有至少一芯片。一般来说，当吊车12在轨道10上移动时，经过晶舟承载区A将会暂停，并由承载平台14承载、卸下或是交换晶舟，达到运送芯片的目的。值得注意的是，虽然本实施例中吊车12作为搬运晶舟用，但本发明不以此为限，吊车可以为搬运其它任何材料、组件、半成品或成品所用。
[0026]此外，为了明确定位吊车在轨道上的位置，以方便系统控制吊车停止或是移动，本发明的悬吊运输系统包含一定位系统，所述定位系统至少包含安装于吊车12顶部以及轨道10的传感器，其中所述传感器可能包含信号发射器或是信号接收器等。详细请参考图2，当吊车12在轨道10上移动时，后续的其它吊车(例如图2中的吊车12’)将会以同样轨迹依序前进。为了达到定位各吊车位置，本发明的悬吊运输系统更包含多个定位条形码22分散设置于轨道10的下端。此外，在各吊车顶部(包含吊车12、吊车12’以及其它任何未绘出的吊车)，也分别设置至少一条形码读取芯片32。当各吊车在轨道10上移动时，每经过一个定位条形码22，吊车上的条形码读取芯片32将会读取所述定位条形码22的数值，并回传至系统。由于各定位条形码22包含不同的数值数据，因此通过条形码读取芯片32读取定位条形码22上的数值，将可以约略知道目前各吊车的相对位置。另外，在悬吊运输系统运作的过程中，各吊车(以吊车12为例)需要停留在晶舟承载区A—段时间，以进行承载、卸下或是交换晶舟的步骤，因此排列于后方的其它吊车(以吊车12’为例)，则需要停留在预备区B内，等待前方的吊车12作业完成后，才可以进入晶舟承载区A内继续进行作业。
[0027]为达到让吊车12’可精确停留在预备区B内，在预备区B内的轨道10下方设置有一定位装置24，且在各吊车(包含吊车12、吊车12’或其它任何未画出的吊车)顶部皆设置有至少一定位感测芯片34，当各吊车进入预备区B内，且定位感测芯片34接收到由定位装置24所发出的信号时，所述吊车将会暂停于预备区B内，等待前方的吊车作业完成后，才会由系统控制继续前进。值得注意的是，本实施例中，定位装置24可能包含一信号发射器，而定位感测芯片34可能包含一信号接收器，但本发明不以此为限，也就是说，定位装置24可能包含一信号接收器，而定位感测芯片34可能包含一信号发射器，也属于本发明所涵盖的范围。
[0028]请参考图3，其绘示本发明的吊车上视示意图。本发明中吊车12顶部设置有轮子36(这里以吊车12为例，本发明中其余不同编号的吊车也都适用)，而由于轮子直接与轨道10接触，因此当吊车12移动时，吊车12上的轮子36与轨道10摩擦将会产生一些微粒或是粉尘等，所述微粒若掉落至吊车12上，尤其遮蔽到吊车12顶部的条形码读取芯片32或是定位感测芯片34，将可能影响条形码读取芯片32或是定位感测芯片34发送或是接收信号，进而导致吊车12无法正常由系统控制行进或停止，而造成整个悬吊运输系统停摆。发明人经统计后发现，公知的悬吊运输系统，一天大约会因为微粒掉落影响而停摆4次左右，而每次采用人工修复的时间大约为10分钟，也就是说，悬吊运输系统长时间运作之下，其平均产值将会因粉尘掉落而受到大幅影响。
[0029]为避免上述情形，本发明的悬吊运输系统，更设置了一清洁站，请参考图1与图2，一清洁站40设置在轨道10的上方，本实施例中清洁站40包含一喷气管42，位于预备区B内，但不以此为限。当吊车12上的定位感测芯片34与预备区B内的定位装置24互相感应到时，吊车12将会停留于预备区B内，此时系统可以同时发出一信号给清洁站40，控制清洁站40由喷气管42喷出气体,并对吊车12进行清洁。本实施例中，清洁站40对吊车12进行清洁，主要目的是去除掉落于吊车12顶部的粉尘或微粒等。而喷气管42喷出的气体包含压缩空气、氮气或是其它气体。此外，虽然本实施例中，清洁站40位于预备区B内，如此当吊车12在预备区B内等待时可以顺便清洁吊车顶部，但值得注意的是，本发明的清洁站40不限于设置于预备区B内，清洁站40可以设于预备区B之外的轨道10上其它地方，也属于本发明所涵盖的范围。
[0030]本发明的悬吊运输系统，不仅限定于搬运晶舟，只要任何悬吊运输系统包含轨道以及具有轮子的吊车，都属于本发明所包含的范围。由于轮子与轨道直接接触摩擦会掉落粉尘与微粒，因此本发明的特征在于，在轨道上更设置至少一清洁站，在吊车移动的过程中或是暂停时，清洁站直接对吊车的顶部进行清洁，如此一来，将可清除堆积在吊车顶部的微粒或是粉尘等，仅需花费少许成本，即可有效降低因微粒造成悬吊运输系统的停摆，进而增加悬吊运输系统的稳定度与产值。
[0031]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一悬吊运输系统，其特征在于，包含: 一轨道； 一吊车，设置于所述轨道下方，并沿着所述轨道的方向移动；以及 一清洁站，设置于所述轨道上，可直接清洁在所述轨道上移动的所述吊车。
2.根据权利要求1所述的悬吊运输系统，其特征在于，所述清洁站包含一压缩空气机。
3.根据权利要求1所述的悬吊运输系统，其特征在于，更包含至少一定位感测芯片以及至少一条形码读取芯片，设置于所述吊车上。
4.根据权利要求3所述的悬吊运输系统，其特征在于，更包含至少一定位装置设置于一预备区内，以及多个定位条形码分散设置于所述轨道上。
5.根据权利要求4所述的悬吊运输系统，其特征在于，所述清洁站设置于所述预备区内的所述轨道上。
6.根据权利要求4所述的悬吊运输系统，其特征在于，所述吊车进入所述预备区内，将暂停移动，且所述清洁站清洁所述吊车。
7.根据权利要求1所述的悬吊运输系统，其特征在于，更包含至少一晶舟，所述晶舟装载至少一芯片，且所述吊车运输所述晶舟。
8.根据权利要求1所述的悬吊运输系统，其特征在于，所述吊车包含至少一轮子，且所述轮子直接接触所述轨道。
【专利摘要】本发明公开了一种悬吊运输系统，包含：一轨道；一吊车，设置于所述轨道下方，并沿着所述轨道的方向移动；以及一清洁站，设置于所述轨道上，可直接清洁在所述轨道上移动的所述吊车。
【IPC分类】B66C11-04, B66C13-22
【公开号】CN104555728
【申请号】CN201310615557
【发明人】李启铭, 陈灿议
【申请人】华亚科技股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年11月27日
【公告号】US20150104276