基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示装置制备技术领域，特别是涉及一种基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法。
【背景技术】
[0002]在基板类产品，如玻璃、液晶面板、半导体晶圆等的生产过程中，基板通常被放置在用于生产设备操作的容器中，按照不同生产工序的要求，基板会在不同的生产设备之间进行转运，这种转运工作通常是由搬运系统来完成的。
[0003]在生产和运输过程中，因为设备振动或操作不当等原因，基板在容器中可能会出现不同程度的位置偏移，这样采用搬运系统将基板从容器内移出时，基板在搬运系统的末端执行器上的位置会发生偏移，如果不及时校正，会造成产品质量不良甚至基板或设备损坏等严重后果。
[0004]但是，现有技术中的检测和校正方法中，无法实现实时检测并校正，需要将基板拾取后才能判断其是否有偏移，若有偏移，需要调整末端执行器的移动量，重新抓取基板，校正过程较麻烦，大大降低了搬运效率和生产效率。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是提供基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法，用以提高搬运效率和生产效率。
[0006]为达到上述目的，本发明提供了如下技术方案:
[0007]本发明提供了一种基板位置偏移检测及校正方法，包括:
[0008]当基板搬运系统内的末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，第一非接触式传感器和第二非接触式传感器实时采集待搬运基板的第一边缘的信息，其中:第一非接触式传感器和第二非接触式传感器与机器人本体之间的距离相等，所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间具有设定距离；
[0009]当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器停止运动，并判断所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器非同时采集到第一边缘的信息时，根据所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器分别检测到所述第一边缘后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间的设定距离，得到所述待搬运基板的第一边缘与所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值，并根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转。
[0010]本发明提供的基板位置偏移检测及校正方法，在搬运基板前就可以预先检测到基板是否有偏移，并可以在搬运过程中校正偏移量，具体的:当基板搬运系统内的末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，第一非接触式传感器和第二非接触式传感器实时采集待搬运基板的第一边缘的信息；当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器停止运动，并判断第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若第一非接触式传感器和第二非接触式传感器非同时采集到第一边缘的信息时，则根据第一非接触式传感器和第二非接触式传感器分别检测到第一边缘后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、第一非接触式传感器和第二非接触式传感器之间的设定距离，得到待搬运基板的第一边缘与第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值，并根据夹角值控制基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转。
[0011]可见，本发明提供的基板位置偏移检测及校正方法，可以实时检测和校正基板的位置，提高基板的搬运效率和生产效率。
[0012]在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正方法还包括:
[0013]当所述夹角值大于预设的角度参考值时，产生告警信号和/或控制所述基板搬运系统停止工作。避免旋转末端执行器时，末端执行器与装基板的容器发生碰撞。
[0014]在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正方法还包括:
[0015]根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转后，控制所述末端执行器继续向待搬运基板移动，当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器同时检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器再次停止运动，并拾取所述待搬运基板，且控制所述机器人本体带动其上的待搬运基板绕其轴线旋转至初始角度。
[0016]在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正方法还包括:
[0017]当第一距离大于第二距离时，根据所述第一距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动；
[0018]当第一距离小于第二距离时，根据所述第一距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，或根据所述第一距离和第二距离的差值控制所述末端执行器移动至预设停止位置，并根据预设的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，其中:所述第一距离为所述机器人本体带动其上的待搬运基板绕其轴线旋转至初始角度后、所述末端执行器的实际停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述第二距离为所述末端执行器的预设停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述预设停止位置为末端执行器按照所述预设的第一移动指令移动后的停止位置。
[0019]在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正方法还包括:
[0020]若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器为同时采集到第一边缘的信息时，拾取所述待搬运基板。
[0021]在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正方法还包括:
[0022]当第三距离大于第二距离时，根据所述第三距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动；
[0023]当第三距离小于第二距离时，根据所述第三距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，或根据所述第三距离和第二距离的差值控制所述末端执行器移动至预设停止位置，并根据预设的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，其中:所述第三距离为所述第一非接触传感器和所述第二非接触传感器同时采集到第一边缘的信息时、末端执行器的实际停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述第二距离为所述末端执行器的预设停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述预设停止位置为末端执行器按照所述预设的第一移动指令移动后的停止位置。
[0024]在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正方法还包括:
[0025]当所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动时，位于所述机器人本体上的第三非接触式传感器检测所述待搬运基板的第二边缘与所述第三非接触式传感器的中点之间的第四距离信息，其中:所述第一边缘和所述第二边缘垂直设置；
[0026]根据所述第四距离信息调整预先设定的、用于控制所述末端执行器沿水平轴的延伸方向移动的距离的第三移动指令。使得搬运系统可以将基板搬运到设定的位置处。
[0027]在一些可选的实施方式中，所述根据所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间的设定距离，得到所述待搬运基板的第一边缘与所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值具体包括:
[0028]根据公式a = arctan(vXT/L)，得到所述夹角值，其中:a为夹角，v为所述预设的末端执行器的移动速度，T为所述时间差，L为所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器之间的设定距离。
[0029]本发明还提供了一种基板搬运系统的控制方法，包括:上述任一项所述的基板位置偏移检测及校正方法，可以提高搬运效率和生产效率。
【附图说明】
[0030]图1为本发明实施例提供的基板位置偏移检测及校正方法的流程图；
[0031 ]图2a?2d为基板的偏移不意图；
[0032]图3为本发明实施例提供的基板位置偏移检测及校正方法的另一种流程图；
[0033]图4为本发明实施例提供的基板位置偏移检测及校正装置的结构示意图。
[0034]附图标记:
[0035]1-待搬运基板11-第一边缘
[0036]12-第二边缘21-第一非接触式传感器
[0037]22-第二非接触式传感器23-第三非接触式传感器
[0038]3-连线4-水平轴
[0039]5-机器人本体6-末端执行器
[0040]7-控制器8-报警装置
[0041]9-预设位置线
【具体实施方式】
[0042]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明专利保护的范围。
[0043]需要说明的是:下述提到的预设的第一移动指令、第二移动指令和第三移动指令为:操作人员在基板被移动前，输送给基板搬运系统的控制指令，其中预先设定的第一移动指令用于控制末端执行器向待搬运基板移动的距离，预先设定的第二移动指令用于控