，v为预设的末端执行器的移动速度，T为时间差，L为第一非接触式传感器和第二非接触式传感器之间的设定距离。
[0071]如图3所示，图3为本发明实施例提供的基板位置偏移检测及校正方法另一种流程图。本发明提供的基板位置偏移检测及校正方法，具体的:
[0072]本发明提供的基板位置偏移检测及校正方法，具体的:
[0073]步骤A:
[0074]步骤SA401:基板搬运工作开始；
[0075]步骤SA402:机器人本体移动至预定位置，末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动；
[0076]步骤SA403:当基板搬运系统内的末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，第一非接触式传感器和第二非接触式传感器实时采集待搬运基板的第一边缘的信息，当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制器控制末端执行器停止运动；
[0077]步骤SA404:控制器判断第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息；若不同时，则执行步骤SA405，若同时则执行SA411 ;
[0078]步骤SA405:控制器根据第一非接触式传感器和第二非接触式传感器反馈的信号的时间差，以及预设的末端执行器的移动速度、第一非接触式传感器和第二非接触式传感器之间的设定距离，得到待搬运基板的第一边缘与第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线3之间的夹角值a;
[0079]步骤SA406:判断旋转偏移程度是否在干涉允许范围之内，控制器将夹角a与预先设定的角度参考值Θ。进行比较，如果实际偏移角度a > Θ。，则说明基板的偏移程度超出了干涉允许的范围，执行步骤SA407，如果偏移角度a < Θ。，则执行步骤SA408 ;
[0080]步骤SA407:控制器终止本次基板搬运动作，并发出报警信号，等待操作人员排查故障；
[0081]步骤SA408:根据夹角值a控制基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转，控制末端执行器继续向待搬运基板移动，当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器同时检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制末端执行器再次停止运动，并拾取待搬运基板，且控制机器人本体带动其上的待搬运基板绕其自身轴旋转补偿角度_a，回到初始角度；
[0082]步骤SA409:机器人的控制器判断基板是否存在沿末端执行器的伸缩方向的移动偏移，如果存在该偏移，则执行步骤SA410，如果不存在该偏移，则执行步骤SB ;
[0083]步骤SA410:根据第一距离和第二距离的差值调整预设的第二移动指令，之后执行步骤SB ；
[0084]步骤SA411:拾取待搬运基板；
[0085]步骤SA412:机器人的控制器判断基板是否存在沿末端执行器的伸缩方向的移动偏移，如果存在该偏移，则执行步骤SA413，如果不存在该偏移，则执行步骤SB ;
[0086]步骤SA413:根据第三距离和第二距离的差值调整预设的第二移动指令，之后执行步骤SB ；
[0087]步骤SB:
[0088]步骤SB401:第三非接触式传感器装置检测待搬运基板的第二边缘12，检测第二边缘12与第三非接触式传感器的中点之间的第四距离信息w，并将信号传回至控制器。
[0089]步骤SB402:根据第四距离判断待搬运基板是否存在沿水平轴延伸方向的移动偏移，如果存在该偏移，执行步骤SB403，如果不存在偏移，执行步骤SB404 ;
[0090]步骤SB403:调整末端执行器沿水平轴的延伸方向移动的距离的第三移动指令；
[0091]步骤SB404:机器人本体移动到放置基板的待放置区域；
[0092]步骤SB405:机器人末端执行器放置基板；
[0093]步骤SB406:基板搬运结束。
[0094]至此，整个基板搬运过程结束，搬运机器人在取放基板的过程中，完成了对基板位置偏移的检测和校正。
[0095]本发明还提供了一种基板搬运系统的控制方法，包括:上述任一项所述的基板位置偏移检测及校正方法，可以提高搬运效率和生产效率。
[0096]基于同一发明构思，本发明还提供了一种基板位置偏移检测及校正装置，如图4所示，图4为本发明实施例提供的基板位置偏移检测及校正装置的结构示意图；本发明提供的基板位置偏移检测及校正装置，包括:
[0097]设置于末端执行器6上的第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22，当基板搬运系统内的末端执行器6按照预设的第一移动指令向待搬运基板1移动且未与待搬运基板1接触时，第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22用于实时采集待搬运基板1的第一边缘11的信息，其中:第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22与机器人本体5之间的距离相等，第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22之间具有设定距离L ;
[0098]控制器7，用于当第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22均检测到待搬运基板1的第一边缘11的信息时，控制末端执行器6停止运动，并判断第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22是否同时采集到第一边缘11的信息，一种情况下:若第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22非同时采集到第一边缘11的信息时，根据第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22分别检测到第一边缘11后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22之间的设定距离L，得到待搬运基板1的第一边缘11与第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22的连线3之间的夹角值，并根据夹角值控制机器人本体绕其轴线旋转。上述夹角如图2a中的角a。
[0099]本发明提供的基板位置偏移检测及校正装置，在搬运基板前就可以预先检测到待搬运基板1是否有偏移，并可以在搬运过程中校正偏移量，具体的:当基板搬运系统内的末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板1移动且未与待搬运基板1接触时，第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22实时采集待搬运基板1的第一边缘11的信息；当第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22均检测到待搬运基板1的第一边缘11的信息时，控制末端执行器6停止运动，并判断第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22是否同时采集到第一边缘11的信息，若第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22非同时采集到第一边缘11的信息时，根据第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22分别检测到第一边缘11后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22之间的设定距离L，得到待搬运基板1的第一边缘11与第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22的连线3之间的夹角值，并根据夹角值控制机器人本体5绕其轴线旋转。
[0100]可见，本发明提供的基板位置偏移检测及校正装置，可以实时检测和校正基板的位置，提高基板的搬运效率和生产效率。
[0101]另外，本发明提供的基板位置偏移检测及校正装置，可以提高搬运精度和效率。
[0102]进一步的，上述基板搬运系统还包括:报警装置8，
[0103]控制器7还用于当夹角值大于零且大于预先设定的角度参考值时，输出告警信号和/或控制搬运系统停止工作；
[0104]报警装置8根据告警信号产生告警。避免末端执行器6旋转时，末端执行器6与装基板的容器发生碰撞。
[0105]进一步的，控制器7还用于:
[0106]当第一距离大于第二距离时，根据第一距离和第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制末端执行器6带动其上的待搬运基板1向机器人本体5移动；
[0107]当第一距离小于第二距离时，根据第一距离和第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制末端执行器6带动其上的待搬运基板1向机器人本体5移动，或根据第一距离和第二距离的差值控制末端执行器6移动至预设停止位置，并根据预设的第二移动指令控制末端执行器6带动其上的待搬运基板1向机器人本体5移动；
[0108]需要说明的是:其中:第一距离为机器人本体带动其上的待搬运基板绕其轴线旋转至初始角度后、末端执行器的实际停止位置与机器人本体之间的距离，第二距离为末端执行器的预设停止位置与机器人本体之间的距离，预设停止位置为末端执行器按照预设的第一移动指令移动后的停止位置。
[0109]另一种情况下，控制器7还用于:若第一非接触式传感器21和第二非接触式传感器22为同时采集到第一边缘的信息时，拾取所述待搬运基板。
[0110]进一步的，如图2b和2c所示，上述控制器还用于:
[0111]需要说明的是:其中:第三距离为第一非接触传感器和第二非接触传感器同时采集到第一边缘的信息时、末端执行器6的实际停止位置与机器人本体之间的距离，第二距离为末端执行器的预设停止位置与机器人本体之间的距离，预设停止位置为末端执行器按照预设的第一移动指令移动后的停止位置；
[0112]如图2b，待搬运基板1的第一边缘11与预设位置线9之间具有距离H1，其中H1产生的原因是:末端执行器在按照预设的第一指令开始移动到拾取待搬运基板过程中，末端执行器先按照预设的第一指令移动至预设停止位置(即末端执行器移动至预设停止位置)，此时第一非接触式传感器21和第二非接触传感器22均未采集到待搬运基板1的第一边缘11的信息；为此末端执行器6将继续向待搬运基板1的方向移动，直至第一非接触传感器21和第二非接触传感器22均采集到第一边缘11的信息时，末端执行器6将停止运动(即末端执行器移动至实际停止位置)，并拾取待搬