双面滚轴紫外压印成型装置的制作方法

文档序号:13956947阅读:437来源:国知局
双面滚轴紫外压印成型装置的制作方法

本实用新型涉及双面滚轴紫外压印成型装置。



背景技术:

微透镜整列,又叫复眼透镜,是一系列几百纳米刀几百毫米的微小型球面透镜或非球面透镜按一定排列组成的阵列,被广泛应用于光束整形,3D成像,光学信息处理,激光等领域。

微透镜整列常用的制造方法光刻胶热熔法,灰度掩膜光刻法,各向异性刻蚀法,激光直写和软模板或硬模压印法。热熔法被认为成本低,可以大批量制造的方法,但是光刻胶有一定的颜色,工艺过程需要花费较长时间并且难以精确控制微透镜的形状和高度。各向异性刻蚀方法中,由于光刻胶和衬底(玻璃或硅片)刻蚀速率不一样,光刻胶的微透镜很难精确的转移到衬底上。激光直写技术很难提供高的精度和批量生产,热模压技术需要搞得温度和压力导致图像转移精度不高。

在大多数情况下,石英玻璃压模(硬模)或PDMS压模(软模)被用于紫外压印工艺。紫外压印工艺的流程如下:被单体涂覆的衬底和透明压模装载到对准机中,通过真空被固定在各自的卡盘中,当村底和压模的光学对准完成后,开始接触。透过压模的紫外曝光促使压印区域的聚合物发生聚合和固化成型。接下来的工艺类似于热压工艺。但是目前的紫外压印工艺存在以下不足之处:(1)人工操作过多,没法量产;(2)同时紫外固化时间过长,增加生产成本;(3)治具固定后,如果衬底厚度和大小发生变化,就要重新定制治具,造成很多不必要的浪费;(4)压印过程和紫外照射固化是分开的,会由于在照射过程中没有一定压力而产生变形。



技术实现要素:

实用新型目的:本实用新型针对上述现有技术存在的问题做出改进,即本实用新型公开了双面滚轴紫外压印成型装置。

技术方案:双面滚轴紫外压印成型装置,包括壳体,所述壳体为两端敞口的中空件;

所述壳体的内腔的两侧对称设有两个定位板,所述定位板的中部设有滑槽;

所述壳体的内部布设有两个透明管,透明管为中空的圆管,透明管的内部设有呈圆柱体的空腔,该空腔中布设有UV灯管,该空腔的两端各卡设一轴承,UV灯管的两端分别与两个轴承的中间的通孔的一侧套接,两个轴承的中间的通孔的另一侧与螺杆的一端套接,所述螺杆的另一端通过螺母与定位板固定连接,

所述透明管的侧面设有PDMS层,所述PDMS层的外表面布设有微透镜阵列图形层或光栅图形层。

进一步地,所述透明管为石英玻璃透明管。

有益效果:本实用新型公开的双面滚轴紫外压印成型装置具有以下有益效果:

1、通过一个模芯复制来的PDMS层,复制成本很低,降低了滚轴光刻或压印的成本;

2、一体化压印和紫外固化,减少了紫外照射中图形变形的可能性。

附图说明

图1为本实用新型公开的双面滚轴紫外压印成型装置工作时衬底与双面滚轴的位置关系示意图;

图2为本实用新型公开的双面滚轴紫外压印成型装置的内部的示意图;

图3为定位板与螺母的位置关系示意图;

其中:

1-PDMS层 2-透明管

3-UV灯管 4-衬底

5-螺杆 6-螺母

7-定位板 71-滑槽

具体实施方式:

下面对本实用新型的具体实施方式详细说明。

具体实施例1

如图1-3所示,双面滚轴紫外压印成型装置,包括壳体(图中未标出),壳体为两端敞口的中空件;

壳体的内腔的两侧对称设有两个定位板7,定位板7的中部设有滑槽71;

壳体的内部布设有两个透明管2,透明管2为中空的圆管,透明管2的内部设有呈圆柱体的空腔,该空腔中布设有UV灯管3,该空腔的两端各卡设一轴承,UV灯管3的两端分别与两个轴承的中间的通孔的一侧套接,两个轴承的中间的通孔的另一侧与螺杆5的一端套接,螺杆5的另一端通过螺母6与定位板7固定连接,

透明管2的侧面设有PDMS层1,PDMS层1的外表面布设有微透镜阵列图形层。

进一步地,透明管2为石英玻璃透明管。

使用时,先将衬底4(玻璃衬底/石英衬底/硅片衬底)清洗后,涂上紫外固化胶(可采用涂布方式,具体方式不限制),开启UV灯,从两个滚轴之间穿过,两个滚轴之间的间距与衬底4的厚度相配合。

具体实施例2

与具体实施例1大致相同,区别仅仅在于:

PDMS层1的外表面布设有光栅图形层。

上面对本实用新型的实施方式做了详细说明。但是本实用新型并不限于上述实施方式,在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。

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