双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型有关于一种蓄热焚化炉，特别是指一种双塔蓄热式焚化炉切换峰值削 减系统，利用一长条管状的缓冲管路的设计，当第一控制阀组开关前，将该缓冲管路的新鲜 气体经由该第一管路输送至该双塔蓄热式焚化炉，再通过该第二控制阀组控制由该第一管 路输送的废气进入该缓冲管路，避免该双塔蓄热式焚化炉因开关而产生高浓度污染的问 题，以达到去除废气污染的效用。
【背景技术】
[0002] 挥发性有机化合物（Volatile Organic Compound，V0C)在产业界广泛被使用，亦 随制程而排放至大气环境，例如，随半导体与光电业制程排放的有机废气，IPA(Isopropyl Alc〇h〇l，C3Hs0)、丙酮、环己酮等，易造成环境污染。各国对于挥发性有机物质皆有严格的空 污管制标准，以维护环保以及民众的健康；以中国台湾为例，环保署已公告实施半导体制造 业空气污染管制及排放标准，对于挥发性有机废气强制要求的削减率，以半导体业为例，至 少应大于90%。
[0003] 有机废气的处理方法很多，热焚化分解是重要的方法之一，而蓄热焚化炉 (Regenerative Thermal Oxdizer，RT0)是其中一种，特色是热回效率可以高达90%以上。 其中蓄热焚化炉可为双塔式而配置有二个蓄热床（Regenerative beds)，蓄热床内充填蓄 热材，使挥发性有机废气流经蓄热床预热（此时蓄热材释出热能），而后挥发性有机废气进 入燃烧室；此时，由于燃烧炉燃料喷嘴产生辅助热能可提供热量及挥发性有机化合物成分 氧化分解产生的热量，使燃烧室保持一定的高温（例如：850°C )，在设计的滞留时间，例如 一秒，有机废气所含的挥发性有机化合物成份将被氧化成水及二氧化碳。
[0004] 请参阅图1所示，为一般传统双塔蓄热式焚化炉的结构示意图，其包括一流通管 线400、以及一与该流通管线400连接的双塔蓄热式焚化炉410,该流通管线400设有风机 420及烟肉450,以通过该风机420抽吸废气进入该流通管线400中，而该双塔蓄热式焚化 炉410包括第一蓄热床412、第二蓄热床413、以及连接该第一蓄热床412、第二蓄热床413 的燃烧室411，且该第一蓄热床412通过多个第一流向管线430与该流通管线400连接，所 述第一流向管线430分别设有第一流向调节阀431、第二流向调节阀432,而该第二蓄热床 413通过多个第二流向管线440与该流通管线400连接，所述第二流向管线440分别设有第 三流向调节阀441、第四流向调节阀442。
[0005] 当通过该风机420抽吸有机废气进入该流通管线400中，且该第二流向调节阀432 和第三流向调节阀441为关闭状态时，有机废气经由第一流向调节阀431进入第一蓄热床 412,以供该有机废气经由该第一蓄热床412预热后进入该燃烧室411中进行热氧化反应， 将该有机废气经氧化反应形成水和二氧化碳等，接着，再将经由热氧化反应后的有机废气 流向该第二蓄热床413及该第四流向调节阀442后，经由该烟囱450排出至大气中，且该有 机废气通过该第二蓄热床413时，将会伴随着来自该燃烧室411的高温气流而将该第二蓄 热床413加热。
[0006] 当通过该风机420抽吸有机废气进入该流通管线400中，且该第一流向调节阀431 和第四流向调节阀442为关闭状态时，有机废气经由第三流向调节阀441进入第二蓄热床 413,以供该有机废气经由该第二蓄热床413预热后进入该燃烧室411中进行热氧化反应， 接着，再将经由热氧化反应后的有机废气流向该第一蓄热床412及该第二流向调节阀432 后，经由该烟囱450排出至大气中，而该有机废气通过该第一蓄热床412时，将会伴随着来 自该燃烧室411的高温气流而将该第一蓄热床412加热。
[0007] 亦即，通过上述模式切换以供定时切换两个蓄热床气流流动方向，使第一蓄热床 412及第二蓄热床413可轮流蓄热维持高温，用以预热有机废气。然而，由于该双塔蓄热式 焚化炉410于切换气流方向时，该烟肉450出口将会产生一高浓度挥发性有机化合物的切 换峰值（如图2所示），且该双塔蓄热式焚化炉410对该有机废气的破坏效率可达98%以 上，亦即于切换气流方向时有机废气会直接排到烟肉，以此98%破坏效率预估，可知此浓度 可以达到经该双塔蓄热式焚化炉410处理过排气的50倍高，其污染的缺失使得其于实用场 合有其不便与困扰。 【实用新型内容】
[0008] 有鉴于此，本实用新型的目的是期能提供一种环保双塔蓄热式焚化炉系统，可有 效去除现有双塔蓄热式焚化炉装置因双塔切换气流流动方向导致的污染峰值的目的，乃潜 心研思、设计组制，为本实用新型所欲研创的动机。
[0009] 为达上述目的，本实用新型为一种双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其包括： 第一管路，输送第一气体及第二气体；风车，与该第一管路连接形成风压抽吸该第一管路中 的第一气体及第二气体；进气控制阀，设置于该第一管路上，切换该第一气体进入该第一管 路或一缓冲管路；该缓冲管路，为长条管状的结构，用以储存及输送该第一气体及该第二气 体，一端连接该第一管路于该风车的出口端与该进气控制阀之间，另一端连接该第一管路 于该进气控制阀与一双塔蓄热式焚化炉之间；第二管路，与该缓冲管路连接，用以输送该第 二气体；空气控制阀，设于该第二管路上，用以控制该第二气体通过该第二管路进入该缓冲 管路中；第三管路，一端连接该第一管路于该风车的入口端，另一端与该缓冲管路连接，用 以输送该第一气体；该双塔蓄热式焚化炉，其包括第一蓄热床、第二蓄热床及与该第一蓄热 床及该第二蓄热床连接的燃烧室，该双塔蓄热式焚化炉与该第一管路连接，高温燃烧氧化 该第一管路的第一气体及第二气体；第四管路，一端连接该双塔蓄热式焚化炉，另一端连接 一烟肉，用以排放经该双塔蓄热式焚化炉处理的第一气体；第一控制阀组，设置于该第一 管路及该第四管路与该双塔蓄热式焚化炉连接处，以供开关进出该蓄热式焚化炉气体的流 向；以及第二控制阀组，设置于该缓冲管路的两端。
[0010] 承上所述的双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其中，该第一气体为废气，该第 二气体为来自外部空气或经蓄热式焚化炉热氧化处理后的清净气体。
[0011] 承上所述的双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其中，该缓冲管路的长度直径 比为10~200,且该缓冲管路形状为往复规则排列或不规则弯曲方式排列置放。
[0012] 承上所述的双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其中，第三管路的直径为第一 管路直径的1/5至1/20。
[0013] 承上所述的双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其中，该第三管路设有一废气 控制阀，该废气控制阀为二通阀。
[0014] 承上所述的双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其中，该第一蓄热床及该第二 蓄热床还包括蓄热层，以供填入蓄热材，所述蓄热材为规则结构置放或不规则排列置放，且 该蓄热材由陶瓷、金属、金属氧化物、砾石或以上的物质组合所组成。此外，该蓄热层还可包 括触媒材，所述触媒层排列置放于所述蓄热材上方。
[0015] 承上所述的双塔蓄热式焚化炉切换峰值削减系统，其中，该第一控制阀组还包括 多个流通控制阀，该第二控制阀组还包括多个调节控制阀，而所述流通控制阀与所述调节 控制阀可为二通阀、三通阀及四通阀的其中一者。