一种粉末摇摆炉的制作方法

文档序号:4614627阅读:199来源:国知局
专利名称:一种粉末摇摆炉的制作方法
技术领域
一种粉末摇摆炉技术领域[0001 ] 本实用新型涉及一种粉末摇摆炉,应用于半导体制造领域。
技术背景[0002]粉末摇摆炉是在高温的情况下将半导体粉末充分混合的装置,摇摆炉包括炉体和支架,炉体中间铰接在支架上,在炉体一端下部还铰接有一个连杆,连杆铰接在曲轴上,这样的摇摆炉具有摇摆幅度一定,不会根据所盛放原料的多少变化的缺点,影响了产品质量、 有时还会将盛放原料的玻璃管碰坏。发明内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种可以随意调节摇摆炉的摇摆幅度、使粉末混合更均勻、使用更安全的粉末摇摆炉。[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的一种粉末摇摆炉,包括括炉体和支架,炉体中间铰接在支架上,其特征是在所述的炉体一端由端部向里依次安装有多个挂鼻,还有一个连杆下端连接电机的曲轴,连杆的上端具有挂在挂鼻上的结构并挂在其中的一个挂鼻上。[0005]本实用新型的有益效果是这样结构的粉末摇摆炉具有可以随意调节摇摆炉的摇摆幅度、使粉末混合更均勻、使用更安全的优点。


[0006]图1是本实用新型的结构示意图。[0007]其中1、炉体 2、支架 3、挂鼻 4、连杆。
具体实施方式
[0008]
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。[0009]如图1所示,一种粉末摇摆炉,包括括炉体1和支架2,炉体1中间铰接在支架2 上,其特征是在所述的炉体一端由端部向里依次安装有多个挂鼻3,还有一个连杆4下端连接电机的曲轴,连杆4的上端具有挂在挂鼻3上的结构并挂在其中的一个挂鼻上。
权利要求1. 一种粉末摇摆炉,包括括炉体和支架,炉体中间铰接在支架上,其特征是在所述的炉体一端由端部向里依次安装有多个挂鼻,还有一个连杆下端连接电机的曲轴,连杆的上端具有挂在挂鼻上的结构并挂在其中的一个挂鼻上。
专利摘要本实用新型涉及一种粉末摇摆炉,应用于半导体制造领域。一种粉末摇摆炉,包括括炉体和支架,炉体中间铰接在支架上,其特征是在所述的炉体一端由端部向里依次安装有多个挂鼻,还有一个连杆下端连接电机的曲轴,连杆的上端具有挂在挂鼻上的结构并挂在其中的一个挂鼻上,样结构的粉末摇摆炉具有可以随意调节摇摆炉的摇摆幅度、使粉末混合更均匀、使用更安全的优点。
文档编号F27B17/00GK202274737SQ20112028846
公开日2012年6月13日 申请日期2011年8月10日 优先权日2011年8月10日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司
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