一种液体供应系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种液体供应系统，所述液体供应系统包含第一连通管、第二连通管、第一开关阀、第二开关阀、供应槽、补给槽、第一供液管、第二供液管、传感器控制阀、浮球控制阀、氮气管、支管、第一传感器和第二传感器。所述液体供应系统中设有两根供液管，保证了即使有一个控制阀出现异常时，仍能为补给槽及时补充液体；所述液体供应系统中设置相互连通的供应槽和补给槽，且将设有传感器的支管设置于的补给槽一侧，供应槽内通入氮气时，不会对传感器造成影响；所述液体供应系统中设有两个缓冲槽，可以同时为供应槽和补给槽内的液体进行加热，确保补给槽内的液体进入供应槽之前已经达到了需要的温度，大大节省了时间，提高了工作效率。
【专利说明】一种液体供应系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体工艺设备【技术领域】，特别是涉及一种液体供应系统。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的不断发展，硅片的直径在不断增大，而集成电路的线宽在不断减小，由此来增加图形密度。因此对硅片表面的清洁度要求越来越高。在典型的集成电路生产中要经过几十道的清洗工艺，硅片表面的颗粒、有机物、金属、微粗糙度、自然氧化层等会严重影响器件性能，据统计，清洗不佳引起的器件失效超过集成电路制造中总损失的一半。因此，硅片清洗技术的发展在整个超大规模集成电路的制造中至关重要。而在硅片清洗技术中，硅片的干燥又尤为重要，因为硅片干燥通常为整个清洗过程的最后一步，如果处理不当，将会前功尽弃。
[0003]在目前使用的硅片干燥法中，较为先进的是IPA (Isopropanol，异丙醇)干燥法，即利用异丙醇易挥发的特性，将异丙醇加热至一定的温度后通入干燥槽内，实现对所述干燥槽内的硅片进行干燥。在该干燥法中，IPA的供应为其核心技术，如何持续、稳定、适量的将IPA供应到干燥槽中至关重要。
[0004]在现有技术中，IPA供应系统如图1所示，所述IPA供应系统包含供应槽110、缓冲槽111、支管112、第一传感器113、第二传感器114、第三传感器115、第四传感器116、传感器控制阀117、供液管118、氮气管119、输液管120和排液管121。供应槽110置于缓冲槽111内，缓冲槽111内盛放有保持恒温为70°C的水，用于为供应槽110内的IPA122进行加热；支管112两端分别连接于供应槽110中液面的上部和供应槽的下部；所述支管112内自下而上依次设置有所述第三传感器115、第一传感器113、第二传感器114和所述第四传感器116，其中，所述第一传感器113和第二传感器114均与传感器控制阀117电连接；供液管118位于供应槽110的上方，供液管118靠近供应槽110的一端设有传感器控制阀117 ；氮气管119 一端置于供应槽110内部上方；输液管120将供应槽110与一干燥槽相连通；排液管121位于供应槽110的底部。
[0005]在使用的过程中，所述IPA供应系统中的所述第一传感器113和第二传感器114根据供应槽110内液面情况控制传感器控制阀117为供应槽110注入所需IPA122，待供应槽110内的IPA122被缓冲槽111内的水加热到所需温度后，通过氮气管119通入氮气，IPA122容易挥发，其挥发气体在氮气的协助下通过输液管120进入干燥槽内为待干燥硅片进行干燥。
[0006]但现有的IPA供应系统存在如下问题:1.供应槽只有一条供液管，供应槽依靠第一传感器113和第二传感器114的作动进行IPA的补给,如果第一传感器113和第二传感器114损坏，IPA将不能得到及时的补充。2.当氮气吹入供应槽时，供应槽内的IPA在氮气的吹动下会产生剧烈的浮动，由于各传感器是根据IPA液面情况进行控制工作的，IPA的浮动会造成传感器发出误报警，进而影响整个干燥工艺的进行。3.供应槽在完成一次干燥工艺后，一次性注入IPA的量太多，将新注入的IPA加热到所需的温度耗时太久，影响工作的效率。
[0007]鉴于此，有必要设计一种新的液体供应系统用以解决上述技术问题。
实用新型内容
[0008]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种液体供应系统，用于解决现有技术中由于供应系统中只有一条供液管，当控制所述供液管阀门的传感器损坏时，不能为供应槽及时补充液体；氮气管位于供应槽内，通入氮气时供应槽内液体产生剧烈浮动，导致传感器误报警；以及供应槽一次性注入液体太多，将新注入液体加热至所需温度耗时太久，影响工作效率的问题。
[0009]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种液体供应系统，所述液体供应系统至少包含第一连通管、第二连通管、第一开关阀、第二开关阀、供应槽、补给槽、第一供液管、传感器控制阀、氮气管、支管、第一传感器和第二传感器；其中，所述补给槽上部通过所述第一连通管与所述供应槽上部相连通，所述补给槽底部通过所述第二连通管与所述供应槽底部相连通；所述第一连通管和所述第二连通管上分别设有所述第一开关阀和所述第二开关阀；所述第一供液管位于所述补给槽的上方；所述第一供液管靠近所述补给槽的一端设有所述传感器控制阀；所述氮气管的一端置于所述供应槽内部上方；所述支管两端分别连接于所述补给槽中液面的上部和所述补给槽的下部；且所述支管内自下而上依次设置有所述第一传感器和所述第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器均与所述传感器控制阀电连接。
[0010]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，所述液体供应系统还包含第二供液管和浮球控制阀；所述第二供液管位于所述补给槽的上方；所述浮球控制阀设置于所述第二供液管靠近所述补给槽的一端。
[0011]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，在所述支管内所述第一传感器的下方设置有第三传感器；在所述支管内所述第二传感器的上方设置有第四传感器。
[0012]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，所述浮球阀为压铸不锈钢浮球阀。
[0013]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，所述氮气管上设置一第三开关阀。
[0014]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，所述供应槽和补给槽内的液体为异丙醇。
[0015]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，还包含两个缓冲槽，分别置于所述供应槽和补给槽的外围；所述缓冲槽内注入有水，适于为所述供应槽和补给槽内的液体加热。
[0016]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，所述缓冲槽内水的温度为60。。?80。。。
[0017]作为本实用新型的液体供应系统的一种优选方案，所述缓冲槽内水的温度为70。。。
[0018]如上所述，本实用新型的液体供应系统，具有以下有益效果:所述液体供应系统中除了设有受传感器控制阀控制的第一供液管外，还设置有一个受浮球控制阀控制的第二供液管，两根供液管的设置，保证了即使有一个控制阀出现异常时，仍能为补给槽及时补充液体；所述液体供应系统中设置相互连通的供应槽和补给槽，且将设有传感器的支管设置于没有氮气管的补给槽一侧，供应槽内通入氮气时，不会对传感器造成影响；所述液体供应系统中设有两个缓冲槽，可以同时分别为供应槽和补给槽内的液体进行加热，确保补给槽内的液体进入供应槽之前已经达到了需要的温度，不需要再进行加热，大大节省了时间，提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1显示为现有技术中IPA供应系统的结构示意图。
[0020]图2显示为本实用新型的液体供应系统的结构示意图。
[0021]元件标号说明
[0022]110、210供应槽
[0023]111,211缓冲槽
[0024]112、212支管
[0025]113,213第一传感器
[0026]114,214第二传感器
[0027]115、215第三传感器
[0028]116、216第四传感器
[0029]117、217传感器控制阀
[0030]118供液管
[0031]119,219氮气管
[0032]120、220输液管
[0033]121、221排液管
[0034]122,222IPA
[0035]218第一供液管
[0036]223补给槽
[0037]224浮球阀
[0038]225第二供液管
[0039]226第一连通管
[0040]227第二连通管
[0041]228第一开关阀
[0042]229第二开关阀
[0043]230第三开关阀
【具体实施方式】
[0044]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0045]请参阅图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0046]请参阅图2，本实用新型提供一种液体供应系统，所述液体供应系统至少包含第一连通管226、第二连通管227、第一开关阀228、第二开关阀229、供应槽210、补给槽223、第一供液管218、传感器控制阀217、氮气管219、支管212、第一传感器213和第二传感器214 ；其中，所述补给槽223上部通过所述第一连通管226与所述供应槽210上部相连通，所述补给槽223底部通过所述第二连通管227与所述供应槽210底部相连通；所述第一连通管226和所述第二连通管227上分别设有所述第一开关阀228和所述第二开关阀229 ;所述第一供液管218位于所述补给槽223的上方；所述第一供液管218靠近所述补给槽223的一端设有所述传感器控制阀217 ;所述第二供液管225位于所述补给槽223的上方；所述第二供液管225靠近所述补给槽223的出口端设有所述浮球控制阀224 ;所述氮气管219的一端置于所述供应槽210内部上方；所述支管212两端分别连接于所述补给槽223中液面的上部和所述补给槽223的下部；且所述支管212内自下而上依次设置有所述第一传感器213和所述第二传感器214，所述第一传感器213和所述第二传感器214均与所述传感器控制阀217电连接。
[0047]具体的，所述液体供应系统还包含第二供液管225和浮球控制阀224 ;所述第二供液管225位于所述补给槽223的上方；所述浮球控制阀224设置于所述第二供液管225靠近所述补给槽223的一端。
[0048]具体的，在所述支管212内所述第一传感器213的下方设置有第三传感器215 ;在所述支管212内第二传感器214的上方设置有第四传感器216。在所述补给槽223内的液体过少时，补给槽223内液面低于所述第三传感器215的位置时，所述第三传感器215发出液面过低报警；在所述补给槽223内的液体过多时，补给槽223内液面达到所述第四传感器215的位置时，所述第四传感器215发出液体溢出报警。
[0049]具体的，所述浮球阀224为压铸不锈钢浮球阀。浮球阀224为压铸不锈钢浮球阀，通过刚压铸工艺，可以使得浮球阀224各部件间精良配合，不存在腐蚀松脱或紧卡现象，确保所述浮球阀224可以长时间稳定工作；同时，不锈钢构件设计使得所述浮球阀224在高湿环境中工作不会发生化学反应，可以确保不会给所述补给槽223内的液体带来污染。
[0050]具体的，所述氮气管219上还应设有一第三开关阀230，用于控制为所述供应槽210内适时地通入氮气。
[0051]具体的，所述供应槽210和补给槽223内的液体均为IPA222，即所述液体供应系统为IPA供应系统。
[0052]具体的,所述液体供应系统还应包含两个缓冲槽211,所述两个缓冲槽211分别置于所述供应槽210和补给槽223的外围；所述缓冲槽211内注入有保持恒温的水，用于为所述供应槽210和补给槽223内的液体加热。
[0053]具体的，当所述供应槽210和补给槽223内的液体均为IPA222时，所述缓冲槽211内水的温度为60V?80°C。优选地，本实施例中，所述缓冲槽211内水的温度为70°C。
[0054]所述液体供应系统的工作原理为:在所述供应槽210和补给槽223内都注入有液体为起始，当所述供应槽210需要通过输液管220为干燥槽供应IPA222时，所述第一开关阀228和第二开关阀229关闭，所述第三开关阀230打开，所述氮气管219通入氮气至所述供应槽210，所述IPA在氮气的携带下被输送至干燥槽内。当供应槽210工作完毕后，所述供应槽210内液体减少，打开所述第一开关阀228和第二开关阀229，所述第一开关阀228打开之后，所述第一连接管226将所述供应槽210和补给槽223上部连通，保证了所述供应槽210和补给槽223内的压强一致，此时，所述补给槽223内预热好的IPA通过所述第二连通管227注入至所述供应槽210内。当所述补给槽223内液面到达所述第一传感器213的位置，所述传感器控制阀217打开，所述第一供液管218开始为所述补给槽注入IPA，当所述补给槽223内液面达到所述第二传感器214的位置，所述传感器控制阀217关闭，停止为所述补给槽223注入IPA ;或所述补给槽223内液面低至一定的范围，所述浮球阀224打开，所述第二供液管225开始为所述补给槽注入IPA222，当所述补给槽223内液面达到一定的高度，所述浮球阀224关闭，停止为所示补给槽223注入IPA222。在所述第一供液管218或第二供液管225停止为所述补给槽223注入IPA222的同时，所述第一开关阀228和第二开关阀229关闭，所述补给槽223停止为所述供应槽210注入IPA222。
[0055]具体的，所述供应槽210和补给槽223底部还应设置与所述供应槽210和补给槽223内部相连通的排液管221，以便在所述供应槽210和补给槽223内有残液存在时可以及时排出，实现多所述供应槽210和补给槽223的清洗。
[0056]综上所述，本实用新型提供一种液体供应系统，所述液体供应系统中除了设有受传感器控制阀控制的第一供液管外，还设置有一个受浮球控制阀控制的第二供液管，两根供液管的设置，保证了即使有一个控制阀出现异常时，仍能为补给槽及时补充液体；所述液体供应系统中设置相互连通的供应槽和补给槽，且将设有传感器的支管设置于没有氮气管的补给槽一侧，供应槽内通入氮气时，不会对传感器造成影响；所述液体供应系统中设有两个缓冲槽，可以同时分别为供应槽和补给槽内的液体进行加热，确保补给槽内的液体进入供应槽之前已经达到了需要的温度，不需要再进行加热，大大节省了时间，提高了工作效率。
[0057]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种液体供应系统，其特征在于，至少包含: 第一连通管、第二连通管、第一开关阀、第二开关阀、供应槽、补给槽、第一供液管、传感器控制阀、氮气管、支管、第一传感器和第二传感器； 其中，所述补给槽上部通过所述第一连通管与所述供应槽上部相连通，所述补给槽底部通过所述第二连通管与所述供应槽底部相连通；所述第一连通管和所述第二连通管上分别设有所述第一开关阀和所述第二开关阀； 所述第一供液管位于所述补给槽的上方；所述第一供液管靠近所述补给槽的一端设有所述传感器控制阀； 所述氮气管的一端置于所述供应槽内部上方； 所述支管两端分别连接于所述补给槽中液面的上部和所述补给槽的下部；且所述支管内自下而上依次设置有所述第一传感器和所述第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器均与所述传感器控制阀电连接。
2.根据权利要求1所述的液体供应系统，其特征在于:所述液体供应系统还包含第二供液管和浮球控制阀；所述第二供液管位于所述补给槽的上方；所述浮球控制阀设置于所述第二供液管靠近所述补给槽的一端。
3.根据权利要求1所述的液体供应系统，其特征在于:在所述支管内所述第一传感器的下方设置有第三传感器；在所述支管内所述第二传感器的上方设置有第四传感器。
4.根据权利要求2所述的液体供应系统，其特征在于:所述浮球阀为压铸不锈钢浮球阀。
5.根据权利要求1所述的液体供应系统，其特征在于:所述氮气管上设置一第三开关阀。
6.根据权利要求1所述的液体供应系统,其特征在于:所述供应槽和补给槽内的液体为异丙醇。
7.根据权利要求1或6所述的液体供应系统，其特征在于:还包含两个缓冲槽，分别置于所述供应槽和补给槽的外围；所述缓冲槽内注入有水，适于为所述供应槽和补给槽内的液体加热。
8.根据权利要求7所述的液体供应系统，其特征在于:所述缓冲槽内水的温度为60。。?80。。。
9.根据权利要求8所述的液体供应系统，其特征在于:所述缓冲槽内水的温度为70°C。
【文档编号】F26B21/14GK204007056SQ201420470070
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年8月20日 优先权日:2014年8月20日
【发明者】董明, 肖方 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司