无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法与流程

文档序号:17750165发布日期:2019-05-24 20:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种无尘室车间,其特征在于,包括:

相互连通的多个制程区域空间;

风机过滤机组,所述风机过滤机组安装在各个所述制程区域空间的顶部,且各个所述制程区域空间的底部设有换气通风通道结构;

其中,所述无尘室车间还包括:

用于调节各个所述制程区域空间内气流流动的气流调节设备,所述气流调节设备安装在各个所述制程区域空间内,且所述气流调节设备设置在所述风机过滤机组的下游,相邻的两个所述制程区域空间之间设有气流交换通道,以使各所述制程区域空间之间能形成连通的气流交换空间,相邻的两个所述制程区域空间之间的所述气流交换通道内安装有所述气流调节设备。

2.如权利要求1所述的无尘室车间,其特征在于,所述气流调节设备安装在靠近所述制程区域空间的底部位置且位于所述换气通风通道结构的上方。

3.如权利要求1所述的无尘室车间,其特征在于,靠近所述制程区域空间的底部位置安装有所述气流调节设备且所述气流调节设备位于所述换气通风通道结构与所述气流交换通道之间。

4.如权利要求1或2所述的无尘室车间,其特征在于,所述气流调节设备包括第一孔板和第二孔板,所述第一孔板和所述第二孔板相互叠置,所述第一孔板与所述第二孔板上开设气流通道,所述第一孔板与所述第二孔板相互叠置时,所述第一孔板上的气流通道与所述第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错开。

5.如权利要求4所述的无尘室车间,其特征在于,所述第一孔板上还开有多个第一调节孔,所述第二孔板上还开有多个第二调节孔,各所述第一调节孔与各所述第二调节孔一一对应地设置,且所述第一调节孔与对应的所述第二调节孔之间通过调节连接结构连接。

6.如权利要求5所述的无尘室车间,其特征在于,所述调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构。

7.如权利要求1或2所述的无尘室车间,其特征在于,所述气流调节设备包括第一孔板、第二孔板和第三孔板,三者之间依次叠置,且三者上均开有多个气流通道,所述第一孔板的各个气流通道与所述第三孔板的各个气流通道一一对应地正对设置,所述第二孔板的各个气流通道的一端与所述第一孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开,所述第二孔板的各个气流通道的另一端与所述第三孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开。

8.如权利要求7所述的无尘室车间,其特征在于,所述第一孔板上还开有多个第一孔板连接孔,所述第三孔板上还开有多个第三孔板连接孔,各个所述第一孔板连接孔与各个所述第三孔板连接孔正对设置,所述第二孔板上还开有多个第二孔板调节孔,各个所述第二孔板调节孔与相应的所述第一孔板连接孔、第三孔板连接孔内连接有螺栓,且通过螺母与螺栓配合锁紧。

9.一种无尘室车间的气流调节方法,其特征在于,在权利要求1至8中任一项所述的无尘室车间内实施该气流调节方法,所述气流调节方法包括以下步骤:

开启所述无尘室车间的风机过滤机组进行送风;

通过调节所述无尘室车间的气流调节设备,以控制向所述无尘室车间的制程区域空间的气流流动。

10.如权利要求9所述的无尘室车间的气流调节方法,其特征在于,所述气流调节设备包括相互叠置的多个孔板,各个孔板上均开有多个气流通道,在进行步骤通过调节所述无尘室车间的气流调节设备以控制向所述无尘室车间的制程区域空间的气流流动的操作过程中,通过调节各个孔板上一一对应的气流通道之间至少部分相互重合或相互错开,以控制所述制程区域空间内的气流流动速率。

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