高真空管式炉用管堵的制作方法

文档序号:12442038阅读:来源:国知局
技术总结
一种高真空管式炉用管堵,其特征在于,包括一石英玻璃圆柱体空心外壳,所述圆柱体空心外壳外径比管式炉的炉管内径略小,所述圆柱体空心外壳的两端面都开有若干个通气小孔,所述圆柱体空心外壳的两端面边缘倒角,所述圆柱体空心外壳的一端面焊接一个石英环,在该端面中心设有填料螺纹孔和该填料螺纹孔相配的带螺纹的石英盖,所述圆柱体空心外壳内部填满石英玻璃珠,石英玻璃珠的直径小于所述的填料螺纹孔的直径而大于所述的通气孔的直径。本发明与传统管堵相比,可有效提高管式炉的真空度和洁净度,能够连续多次重复使用,降低了制造成本。

技术研发人员:李百中;李铮;施振华
受保护的技术使用者:中国科学院上海光学精密机械研究所
文档号码:201710000707
技术研发日:2017.01.03
技术公布日:2017.05.31

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