用于冷却加热管的热交换器和所述冷却的方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明描述了用于冷却加热管的热交换器，所述热交换器包含：至少两个冷却管，其中所述至少两个冷却管被布置以使得所述至少两个冷却管的每个冷却管被配置以与加热管热接触；和用于产生气雾剂的装置，所述装置被配置以在至少两个冷却管中提供气雾剂。

技术研发人员：G·霍夫曼;P·斯库克
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2011.12.09
技术公布日：2018.11.06