一种工艺冷却水系统的控制方法与流程

本发明属于半导体生产基础技术支持领域，具体来讲就是一种用于满足大型集成电路、液晶面板等高科技电子类工业生产厂房工艺冷却水系统高稳定性要求的控制方法。

背景技术：

随着国际国内大型集成电路、液晶显示等科学技术的发展，生产设备和工艺需求对工艺冷却水系统稳定性要求越来越高。

传统工艺冷却水系统的控制方式，将整个系统的水泵均配置变频器，主电源闪断时所有泵将因变频器不工作而停止，可能引起炉子爆炸，这种情况是比较危险的。整个系统变频器过多也会导致供电系统谐波量大增，进而影响系统运行安全。

本发明针对传统pcw控制系统的不足，提供一种新型pcw控制方法，合理配置变频器数量，优化控制策略，增加系统安全可靠性，并节约系统的造价。

技术实现要素：

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种种用于满足大型集成电路、液晶面板等高科技电子类工业生产厂房工艺冷却水系统高稳定性要求的控制方法。为解决传统工艺冷却水控制方法稳定性不高且造价昂贵的问题，本发明控制方法通过合理配置系统的变频器，改变系统的控制方法，达到增加系统安全可靠性，并节约系统的造价的目的。

本发明是这样实现的，构造一种工艺冷却水系统的控制方法，其特征在于：构造控制系统,包括控制器plc、电动机控制中心mcc、变频器vfd、水泵pm；按照如下方式实现控制；

在一个有n台pcw水泵的系统中，至少设置1台作为备用，保证在其中某台设备出现故障时仍能保证系统100%运行正常；2台水泵采用变频，根据系统压力变送器（pdt）调节2台变频水泵的频率，水箱也起到稳定压力的作用；其它n-2台为工频水泵，保证在电源闪断时仍能正常工作；至少2台变频水泵采用柴发+ups供电，减少断电影响pcw系统的稳定。

根据本发明所述的一种工艺冷却水系统的控制方法，其特征在于：水泵、热交换器采用m+1的冗余方式，保证系统水泵的安全可靠。

根据本发明所述的一种工艺冷却水系统的控制方法，其特征在于：2台水泵采用变频，其它n-2水泵均采用定频，用2台变频水泵保证系统压力稳定性，其它n-2台工频水泵可以避免在主电源闪断时变频器无法工作而导致危险的情况。

根据本发明所述的一种工艺冷却水系统的控制方法，其特征在于：至少保证系统中2台变频水泵采用柴发+ups供电，减少断电影响pcw系统的稳定。

本发明具有如下优点：本发明提供了一种工艺冷却水系统的控制方法，包括控制器（plc）、电动机控制中心（mcc）、变频器（vfd）、水泵（pm）等。在一个有n台pcw水泵的系统中，至少设置1台作为备用。本控制方法为2台水泵采用变频，其它n-2水泵均采用定频，用2台变频水泵保证系统压力稳定性，其它n-2台工频水泵可以避免在主电源闪断时变频器无法工作而导致危险的情况。本控制方法减少了变频器的配置数量，减少配电系统谐波干扰，提高系统安全性，降低系统造价。

附图说明

图1-图2是本发明系统构架示意图。

图中：pcw缓冲水箱1，pcw,供水泵2，pcw过滤器3，pcw,热交换器4，压力变送5。

具体实施方式

下面将结合附图1-图2对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明通过改进在此提供一种工艺冷却水系统的控制方法，属于半导体生产基础技术支持领域，具体来讲就是一种用于满足大型集成电路、液晶面板等高科技电子类工业生产厂房工艺冷却水系统高稳定性要求的控制方法。为解决传统工艺冷却水控制方法稳定性不高且造价昂贵的，本发明控制方法通过合理配置系统的变频器，改变系统的控制方法，达到增加系统安全可靠性，并节约系统的造价的目的。如图1所示，控制系统包括控制器（plc）、电动机控制中心（mcc）、变频器（vfd）、水泵（pm）、压力传感器（pdt）等。在一个有n台pcw水泵的系统中，至少设置1台作为备用，保证在其中某台设备出现故障时仍能保证系统100%运行正常；2台水泵采用变频，根据系统压力变送器（pdt）调节2台变频水泵的频率，水箱也起到稳定压力的作用；其它n-2台为工频水泵，保证在电源闪断时仍能正常工作；至少2台变频水泵采用柴发+ups供电，减少断电影响pcw系统的稳定。

本发明的优点在于：本发明提供一种工艺冷却水系统的控制方法，控制系统包括控制器（plc）、电动机控制中心（mcc）、变频器（vfd）、水泵（pm）等。在一个有n台pcw水泵的系统中，至少设置1台作为备用。本控制方法为2台水泵采用变频，其它n-2水泵均采用定频，用2台变频水泵保证系统压力稳定性，其它n-2台工频水泵。本发明考虑pcw系统中水泵、热交换器及其配套设备均采用m+1的冗余方式，保证在其中某台设备出现故障时仍能保证系统100%运行正常。本发明考虑2台水泵采用变频，其它n-2水泵均采用定频，用2台变频水泵保证系统压力稳定性，其它n-2台工频水泵可以避免在主电源闪断时变频器无法工作而导致危险的情况。本发明至少保证2台变频水泵采用柴发+ups供电，减少断电影响pcw系统的稳定。本控制方法减少了变频器的配置数量，减少配电系统谐波干扰，提高系统安全性，降低系统造价。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。