一种槽式烘干结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种槽式烘干结构，其包括带有盖子的烘干槽。烘干槽中设有一内槽体，该内槽体与烘干槽的两侧以及底部形成气流通道，烘干槽的上有出风口，内槽体有补风口；在两侧的气流通道上安装有加热装置和温度检测装置，在底部的气流通道中设有一个风轮，该风轮的进风口与内槽体内腔连通，风轮的转轴与安装在烘干槽底部外的马达连接。与现有技术相比，本实用新型体积小，结构简单，安装方便，烘干效率高。
【专利说明】
一种槽式烘干结构
技术领域
[0001]本实用新型涉及太阳能硅片的槽式清洗设备和湿法处理设备，尤其设计一种太阳能硅片的加工设备中的具有体积小，结构简单，安装方便，烘干效率高的槽式烘干结构。
【背景技术】
[0002]在太阳能硅片的槽式清洗设备和槽式湿法处理设备中，需要机械手将装载硅片的承载件，如，片盒或花篮，依次提放到各个容器内进行化学腐蚀或水清洗处理。在处理结束后往往需要对硅片和承载件进行烘干处理。目前常见的有隧道式烘干或槽式烘干等方式，由于隧道式烘干占地面积大，烘干效率低，已经逐渐被市场所淘汰。目前使用的槽式烘干仍然存在体积大、能耗高、烘干效率不高、安装复杂等问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型为了解决现有对硅片和承载件进行烘干设备体积大、能耗高、烘干效率不高、安装复杂的技术问题，提出一种具有体积小，结构简单，安装方便，烘干效率高的槽式烘干结构。
[0004]本实用新型提出的槽式烘干的结构，其包括带有盖子的烘干槽。所述烘干槽中设有一内槽体，该内槽体两侧以及底部与所述烘干槽对应的两侧以及底部设有间隙而形成气流通道，所述烘干槽的上部设有出风口，所述内槽体设有与外界连通的补风口；在两侧的气流通道上安装有加热装置和温度检测装置，在底部的气流通道中设有一个风轮，该风轮的进风口与内槽体内腔连通，风轮的转轴与安装在所述烘干槽底部外的马达连接。
[0005]本实用新型在烘干槽中设置一内槽体，并使得两侧以及底部形成气流通道，并通过风轮抽吸被加热的空气，使得烘干槽内部形成气体循环来对承载件及硅片进行干燥处理。与现有技术相比，本实用新型体积小，结构简单，安装方便，烘干效率高。
【附图说明】
[0006]图1是本实用新型较佳实施例的结构示意图；
[0007]图2是图1中A—A向的剖视图。
【具体实施方式】
[0008]如图1、图2所示，本实用新型较佳实施例的结构示意图。本实用新型提出的一种槽式烘干结构，其包括带有盖子7的烘干槽I，烘干槽I中设有一内槽体5，该内槽体5两侧以及底部与烘干槽I对应的两侧以及底部设有间隙而形成气流通道4，烘干槽I的上部设有出风口 6，内槽体5设有与外界连通的补风口 8。在烘干槽I和内槽体5两侧的气流通道上安装有加热装置2和温度检测装置3，在烘干槽I和内槽体5底部的气流通道中设有一个风轮9，该风轮的进风口与内槽体5内腔连通，风轮9的转轴与安装在烘干槽I底部外的马达10连接。
[0009]参阅图1、图2，工作时，当马达1上电驱动风轮9进行旋转，将内槽体5中的气体抽吸到底部的气流通道4，并通过两侧的气流通道4，经过加热装置2时气体加热，然后由上部进入再进入内槽体5中。加热的气体流经承载件11及硅片，再次被风轮9抽吸到底部的气流通道4中，如此形成烘干槽I内部气体循环。热空气蒸发水分并带走水分从而对承载件11及硅片进行干燥处理。温度检测装置3用于检测内槽体5内空气的温度，以便控制加热装置2加热空气。同时，由于内槽体5属于负压状态，会从外界往内吸入气体。烘干槽I设有出风孔6，从而达到不断有新风补入，同时含水分的气体不断被排出烘干槽I的目的。本实用新型的体积小，结构简单，安装方便，烘干效率高。
[0010]本实用新型要求保护的权益范围不限于烘干槽大小及形状，也不限于加热器的种类、功率和尺寸形状，加热的介质不限于空气，可以是氮气或其它气体。只要是上述的烘干结构和烘干方法均在保护范围之内。
【主权项】
1.一种槽式烘干结构，包括带有盖子(7)的烘干槽(I)，其特征在于，所述烘干槽(I)中设有一内槽体(5)，该内槽体(5)两侧以及底部与所述烘干槽(I)对应的两侧以及底部设有间隙而形成气流通道(4)，所述烘干槽(I)的上部设有出风口(6)，所述内槽体(5)设有与外界连通的补风口(8);在两侧的气流通道上安装有加热装置(2)和温度检测装置(3)，在底部的气流通道中设有一个风轮(9)，该风轮的进风口与内槽体(5)内腔连通，风轮(9)的转轴与安装在所述烘干槽(I)底部外的马达(10)连接。
【文档编号】F26B9/06GK205561438SQ201620224519
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年3月23日
【发明人】左国军, 戴洪烨
【申请人】常州捷佳创精密机械有限公司