专利名称：污水净化装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种污水净化装置，尤指一种针对半导体产业所产生的切割或研磨污水，以超滤膜滤器为主要滤材所构成的污水净化装置。
背景技术：
在半导体电子产业中，进行晶圆切割或研磨时，都需要搭配以纯水清洗，清洗后的纯水带有大量的固体微粒。为了达到净水回收再利用的目的，目前业界的处理方式及应用流程，常以超滤膜滤器(UF)为主的净水回收系统来过滤水中的固体杂质，达到固体和液体分离的效果，经透析后的净水依水质状况，再导入净水回收系统适当的回收点，以此达到回收再利用的目的。上述已知净水回收系统仅以超滤膜过滤器作为污水透析的主要滤器，会受限于超滤膜过滤器去除效果及使用年限，必须有部分带着固体的浓缩水被直接排放，以避免净水回收系统内的固体杂质无限制地升高，造成超滤膜过滤器内部的滤膜严重阻塞无法正常透析滤水。综观已知净水回收系统的效益，虽然可以达到部分净水回收再利用的目的，可是浓缩排放的污水仍产生下列问题1、浓缩排放后的污水，需再经过混凝、沉淀处理，以污水处理的角度来看，虽然处理的水量减少，但是处理的水中固体浓度却升高，仍须加入等量的混凝剂才能加以沉淀排放，最终无助于减轻污水处理的负荷。2、以超滤膜滤器为主的净水回收系统，其浓缩排放水量约占净水回收系统总体水量的10 25%，此10 25%的水量须以污水处理后的方式加以排放，无法再利用。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种污水净化装置。为达到上述目的，本实用新型提供一种污水净化装置，所述污水净化装置包括一过滤装置及一离心装置；所述过滤装置包括一原水储槽，其一端连接于污水接收端，另一端配合管路连接于一原水泵，所述原水泵连接于超滤膜滤器的入水口管路；一超滤膜滤器，其一端连接有一入水口管路，另一端连接有一净水管路，以及一相互连通的第一管路与第二管路；所述入水口管路一端与第一管路相连接，净水管路连接于一清水储槽，第一管路一端与原水储槽相连接，且第一管路及第二管路的另一端连接于一浓缩水储槽；一清水储槽，其一端连接有一逆洗泵，所述逆洗泵配合管路连接于超滤膜滤器的净水管路；一浓缩水储槽，其一端连接有一离心供水泵；[0016]所述离心装置的入水口端连接于离心供水泵。作为上述一种污水净化装置的优选方案，其中所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。作为上述一种污水净化装置的优选方案，其中所述连接原水泵与超滤膜滤器的管路设有一号开关阀；超滤膜滤器一端的管路另设有八号开关阀；连接超滤膜滤器与清水储槽的净水管路设有二号开关阀；第一管路与原水储槽连接的一端设有第一排水阀和四号开关阀，第一管路与浓缩水储槽连接的一端设有七号开关阀；第二管路设有三号开关阀和第二排水阀；连接逆洗泵与清水储槽的净水管路设有五号开关阀；入水口管路设有六号开关阀。作为上述一种污水净化装置的优选方案，其中所述过滤装置还在原水泵与超滤膜滤器的连接管路上设有一袋滤器。此外，本实用新型还提供另一种污水净化装置，所述污水净化装置包括一过滤装置及一离心装置；所述过滤装置包括一原水储槽，其一端连接于污水接受端，其另一端以两条独立管路分别连接有一原水泵及一离心供水泵；一原水泵，其配合管路与超滤膜滤器的入水口端相连接；一超滤膜滤器，其设有清净水出口端并配合管路连接于一清水储槽，超滤膜滤器另设有污水出口并以管路连接至所述原水储槽；一清水储槽，其连接有一逆洗泵，所述逆洗泵配合管路连接于超滤膜滤器的净水出口端；所述离心装置入水口端连接于离心供水泵。作为上述另一种污水净化装置的优选方案，其中所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。此外，本实用新型还提供又一种污水净化装置，所述污水净化装置包括一过滤装置及一离心装置；所述过滤装置包括一原水储槽，其一端连接于污水接收端，其另一端配合多个管路依序连接于离心供水泵、离心储水槽、滤膜供水泵及超滤膜滤器；所述超滤膜滤器设有净水出口端，且以管路与清水储槽连接；所述清水储槽连接有一逆洗泵，逆水泵配合管路连接于超滤膜滤器的净水出口端；所述超滤膜滤器设有污水出口，且配合管路连接至所述原水储槽；所述离心装置设于离心供水泵与离心储水槽的连接管路。作为上述又一种污水净化装置的优选方案，其中所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。本实用新型所提供的污水净化装置，具有可将污水中固体微粒以离心力作用方式，自污水中分离出来，被分离出的固体微粒，可依污泥弃物流程直接丢弃，而被分离出来的液态水可被重新进行循环再过滤的作业程序，以达到快速降低污水中固体微粒含量的功能；此外，本实用新型在原水泵与超滤膜滤器的连接管路上所设的袋滤器，可对污水中的细微颗粒、悬浮物进行初步过滤，以降低对超滤膜滤器的过滤负担，具有实质提升其使用期限的功能。
图1为本实用新型污水净化装置较佳实施例一的示意图；图2为本实用新型污水净化装置较佳实施例二的示意图；图3为本实用新型污水净化装置较佳实施例三的示意图。主要组件符号说明原水储槽-10 ；过滤装置-100 ； —号开关阀-101 ；二号开关阀-102 ；三号开关阀-103 ；四号开关阀-104 ；五号开关阀-105 ；六号开关阀-106 ；七号开关阀-107 ；八号开关阀-108 ；管路-109 ；污水接收端-11 ；第一排水阀-110 ；第二排水阀-120 ；空压机-130 ； 袋滤器-140 ；原水泵-20 ；离心装置-200 ；超滤膜滤器-30 ；入水口管路-31 ；净水管路-32 ；第一管路_33 ；第二管路_34 ；清水储槽-40 ；使用点供水泵-41 ；逆洗泵-50；浓缩水储槽-60 ；离心供水泵-70 ；离心储水槽-80 ；滤膜供水泵-90。
具体实施方式
以下将通过较佳实施例及附图对本实用新型进行进一步说明，以使本领域的技术人员根据本说明书的描述，得以实施本实用新型。首先，敬请配合参阅图1所示，为本实用新型一种污水净化装置的较佳实施例一示意图，其包括一过滤装置100及一离心装置200 ；其中，过滤装置100，包括原水储槽10、原水泵20、超滤膜滤器30、清水储槽40、逆洗泵 50、浓缩水储槽60、离心供水泵70、一号开关阀101、二号开关阀102、三号开关阀103、四号开关阀104、五号开关阀105、六号开关阀106、七号开关阀107、八号开关阀108以及多个管路109连接而成；其中，原水储槽10，一端连接于切割或研磨冲洗的污水接收端11，一端与原水泵20的入水口连接，原水泵20的出水口配合管路109连接于超滤膜滤器30的入水口管路31，且在原水泵20与超滤膜滤器30的管路109上设有一号开关阀101 ；超滤膜滤器30，一端连接有一入水口管路31，该端另以管路109连接有八号开关阀108和一空压机130，超滤膜滤器30另一端连接有一净水管路32，以及提供排放污水且相互连通的第一管路33与第二管路34 ；其中，入水口管路31 —端与第一管路33相连接， 且入水口管路31设有六号开关阀106 ；净水管路32与清水储槽40相连接，且设有二号开关阀102 ；第一管路33 —端与原水储槽10相连接，在进入原水储槽10之前设有四号开关阀104，和可手动调整水流量的第一排水阀110，且第一管路33及第二管路34的另一端与浓缩水储槽60相连接，第一管路33进入浓缩水储槽60之前设有七号开关阀107，第二管路34进入浓缩水储槽60之前设有三号开关阀103及一第二排水阀120 ；所述清水储槽40，一端与逆洗泵50连接，所述逆洗泵50配合管路109与净水管路 32相互连接，在所述管路109设有五号开关阀105，所述清水储槽40另连接有一使用点供水泵41，可将储存于清水储槽40内的清水输送至作为晶圆切割或研磨时的清洗用水，即输送至使用点；所述浓缩水储槽60，接收来自超滤膜滤器30排出的污水，其一端连接于一离心供水泵70 ；离心装置200，为卧式离心装置或盘片式离心装置，其入水端连接于离心供水泵 70，离心装置200另设有固体排放口，可排放分离出的固体微粒，及液体排放口，该液体排放口配合管路109连接于原水储槽10 ；通过上述构件组成，当污水净化装置运行时，污水可经超滤膜滤器30透析出净水供回收再利用，而经超滤膜滤器30排出的浓缩水可由离心装置200，以离心作用力分离出的固体微粒和液态水，所述固体微粒可依污泥弃物流程直接丢弃或回收再利用，而液态水则重新再被导入原水储槽10进行重复过滤的作业。以下更进一步详细说明本实用新型的污水净化装置在进行污水净化的作业程序当原水储槽10收集的污水累积至预定水位后，一号开关阀101、二号开关阀102、 三号开关阀103、四号开关阀104开启，而五号开关阀105、六号开关阀106、七号开关阀 107、八号开关阀108呈关闭状态；在此同时，原水泵20启动，原水储槽10内的污水经过一号开关阀101，转入水口管路31进入超滤膜滤器30内部进行透析，经透析的净水由净水管路32经二号开关阀102输入清水储槽40，以供作为加工制程的清洗用水；而超滤膜滤器30 在透析污水过程中，为避免其内部的微粒无限制上升，必须有部分浓缩污水直接从第二管路34经三号开关阀103和第二排水阀120排入浓缩水储槽60，其排出水量占导入超滤膜滤器30内部总水量的10 25%，所述排水量的流量控制由第二排水阀120以手控方式设定。 经超滤膜滤器30透析后被排放出的浓污水或逆洗水被集中于浓缩水储槽60，之后，经由离心供水泵70输送进入离心装置200以离心方式将固体微粒直接从污水中抽离，再以固体排渣方式排出，而分离后的液态水经管路109再被导入原水储槽10，进行重复循环过滤处理。当超滤膜滤器30内部膜体累积大量高浓度的微粒时，必须进行清洗排出，以提升其造水功能，本实施例在运行逆冲洗时，配合有气洗作业，其执行方式为气洗、下逆洗、气洗、上逆洗、冲洗，详细程序如下1.气洗一将七号开关阀107、八号开关阀108打开，而一号开关阀101、二号开关阀102、三号开关阀103、四号开关阀104、五号开关阀105、六号开关阀106呈关闭状态，以空压机 130 (CDA)产生的干燥压缩空气由八号开关阀108进入超滤膜滤器30内部，通过气流扰动使附着于膜体表面的微粒松脱，再由第一管路33经七号开关阀107排入浓缩水储槽60。2.下逆洗将五号开关阀105、六号开关阀106打开，其余开关阀呈关闭状态，并起动逆洗泵 50，以清水储槽40的清净水从五号开关阀105经超滤膜滤器30的净水管路32导入其内部， 即可将高浓度污水由入水口管路31经六号开关阀106接第一管路33直接排入浓缩水储槽60收集，待浓缩水储槽60累积至预定水位后，再启动离心装置200进行固液分离作业。3.气洗二再一次的气洗，开启七号开关阀107、八号开关阀108，以空压机130 (OTA)产生干燥压缩空气由八号开关阀108进入超滤膜滤器30内部，使内部膜体造成扰动，以松脱附着于超滤膜表面的微粒，再由七号开关阀107排出。4.上逆洗打开五号开关阀105、七号开关阀107，并起动逆洗泵50，以清水储槽40的清净水从五号开关阀105经超滤膜滤器30的净水管路32导入其内部，将高浓度废水从第一管路 33经七号开关阀107排入浓缩水储槽60收集，之后再由离心装置200做固液分离。5.冲洗开启一号开关阀101和四号开关阀104，并起动原水泵20，以污水(原水)冲刷超滤膜滤器30内部，再次将附着于膜体表面残余的微粒带走。上述超滤膜滤器30内部的清洗作业，可视需求省略气洗作业或上、下逆洗作业程序。再者，本实用新型过滤装置100在原水泵20与超滤膜滤器30的连接管路109中设有一袋滤器140，可先行对污水中的细微颗粒、悬浮物进行初步过滤，以降低对超滤膜滤器30的过滤负担，具有实质提升其使用期限的功能。如图2所示，为本实用新型污水净化装置的较佳实施例二，其包括一过滤装置 100及一离心装置200 ；其中，过滤装置100，包括原水储槽10、原水泵20、超滤膜滤器30、清水储槽40、逆水泵 50、离心供水泵70及多个管路109组成；其中，原水储槽10，一端连接于切割或研磨冲洗的污水接收端11，其另一端以两条独立管路109分别连接一原水泵20和一离心供水泵70 ；原水泵20，配合管路109与超滤膜滤器30的入水口端相连接；超滤膜滤器30，设有清净水出口端并配合管路109连接于一清水储槽40，其另设有污水出口并以管路连接至所述原水储槽10 ；清水储槽40，可储存来自超滤膜滤器30透析后的净水，其连接一逆洗泵50，逆洗泵50配合管路109连接于超滤膜滤器30的净水出口端，可将清水储槽40的净水导入超滤膜滤器30内部进行逆冲洗；离心装置200，为卧式离心装置或盘片式离心装置，其入水口端连接于离心供水泵70，以接收自来离心供水泵70传送的高浓度污水，其利用离心方式将固体微粒直接从高浓度污水中进行分离作业，分离出的固体以排渣方式排出，而分离后的液态水配合管路109 再被导入原水储槽10，进行重复性的循环过滤。本实用新型上述较佳实施例二，原水泵20连接超滤膜滤器30的管路、超滤膜滤器 30连接清水储槽40的管路、超滤膜滤器30连接原水储槽10的管路、逆洗泵50连接超滤膜滤器30的管路上都设有必备的开关阀，当本污水净化装置在进行污水净化的作业程序时， 可适时地对应执行开关作业；并且在超滤膜滤器30连接清水储槽40的管路，以及超滤膜滤器30连接原水储槽10的管路上分别设有可调整水流量的排水阀。如图3所示，为本实用新型污水净化装置的较佳实施例三，其包括一过滤装置100及一离心装置200 ；其中，过滤装置100，其包括原水储槽10、离心供水泵70、离心储水槽80、滤膜供水泵 90、超滤膜滤器30、清水储槽40及多个管路109 ；其中，原水储槽10，一端设有连接切割或研磨冲洗的污水接收端11，其另一端配合多个管路109依序连接于离心供水泵70、离心储水槽80、滤膜供水泵90及超滤膜滤器30 ；所述超滤膜滤器30设有净水出口端，且以管路109与清水储槽40连接，储存于清水储槽40的净水可供作为太阳能光电产业中切割或研磨制程中所需要的清洗用水；清水储槽40连接一逆洗泵50，逆水泵50配合管路109连接于超滤膜滤器30的净水出口端，以便将净水导入超滤膜滤器30内部进行逆冲洗；所述超滤膜滤器30设有污水出口，且配合管路109连接至所述原水储槽10，以便重复进行前述循环过滤作业；离心装置200，为卧式离心装置或盘片式离心装置，其设于离心供水泵70与离心储水槽80的连接管路上，可接收来自离心供水泵70输送而至的污水，经离心装置200以离心作用力方式可对污水直接进行固、液体分离作业，分离出的固体可以排渣方式排出，分离出的液态水被导入离心储水槽80，以便进行后续超滤膜滤器30的透析净化处理。本实用新型上述较佳实施例三，在离心储水槽80连接超滤膜滤器30的管路、超滤膜滤器30连接清水储槽40的管路、超滤膜滤器30连接原水储槽10的管路、逆洗泵50连接超滤膜滤器30的管路上都设有必备的开关阀，当本污水净化装置在进行污水净化的作业程序时，可适时地对应执行开关作业；并且在超滤膜滤器30连接清水储槽40的管路，以及超滤膜滤器30连接原水储槽10的管路上分别设有可调整水流量的排水阀。综上所述，本实用新型污水净化装置的较佳实施例一至三所示的过滤装置100，其构造配合虽有所差异，但都不脱离以使用超滤膜滤器为主要滤材所组成的基本配备，据此， 举凡以超滤膜滤器为主要滤材，再配合一般已知必要的基本构件所组成的过滤装置，当不脱离本实用新型申请专利范围所做的等效变化或修饰时，都包含于本实用新型专利的范围之内。
权利要求1.一种污水净化装置，其特征在于，所述污水净化装置包括 一过滤装置及一离心装置；所述过滤装置包括一原水储槽，其一端连接于污水接收端，另一端配合管路连接于一原水泵，所述原水泵连接于超滤膜滤器的入水口管路；一超滤膜滤器，其一端连接有一入水口管路，另一端连接有一净水管路，以及一相互连通的第一管路与第二管路；所述入水口管路一端与第一管路相连接，净水管路连接于一清水储槽，第一管路一端与原水储槽相连接，且第一管路及第二管路的另一端连接于一浓缩水储槽；一清水储槽，其一端连接有一逆洗泵，所述逆洗泵配合管路连接于超滤膜滤器的净水管路；一浓缩水储槽，其一端连接有一离心供水泵； 所述离心装置的入水口端连接于离心供水泵。
2.如权利要求1所述的污水净化装置，其特征在于，所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。
3.如权利要求1所述的污水净化装置，其特征在于，所述连接原水泵与超滤膜滤器的管路设有一号开关阀；超滤膜滤器一端的管路另设有八号开关阀；连接超滤膜滤器与清水储槽的净水管路设有二号开关阀；第一管路与原水储槽连接的一端设有第一排水阀和四号开关阀，第一管路与浓缩水储槽连接的一端设有七号开关阀；第二管路设有三号开关阀和第二排水阀；连接逆洗泵与清水储槽的净水管路设有五号开关阀；入水口管路设有六号开关阀。
4.如权利要求1所述的污水净化装置，其特征在于，所述过滤装置还在原水泵与超滤膜滤器的连接管路上设有一袋滤器。
5.一种污水净化装置，其特征在于，所述污水净化装置包括 一过滤装置及一离心装置；所述过滤装置包括一原水储槽，其一端连接于污水接受端，其另一端以两条独立管路分别连接有一原水泵及一离心供水泵；一原水泵，其配合管路与超滤膜滤器的入水口端相连接；一超滤膜滤器，其设有清净水出口端并配合管路连接于一清水储槽，超滤膜滤器另设有污水出口并以管路连接至所述原水储槽；一清水储槽，其连接有一逆洗泵，所述逆洗泵配合管路连接于超滤膜滤器的净水出口端；所述离心装置入水口端连接于离心供水泵。
6.如权利要求5所述的污水净化装置，其特征在于，所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。
7.一种污水净化装置，其特征在于，所述污水净化装置包括 一过滤装置及一离心装置；所述过滤装置包括一原水储槽，其一端连接于污水接收端，其另一端配合多个管路依序连接于离心供水泵、离心储水槽、滤膜供水泵及超滤膜滤器；所述超滤膜滤器设有净水出口端，且以管路与清水储槽连接；所述清水储槽连接有一逆洗泵，逆水泵配合管路连接于超滤膜滤器的净水出口端；所述超滤膜滤器设有污水出口，且配合管路连接至所述原水储槽； 所述离心装置设于离心供水泵与离心储水槽的连接管路。
8.如权利要求7所述的污水净化装置，其特征在于，所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。
专利摘要本实用新型涉及一种污水净化装置，所述污水净化装置包括一过滤装置，其以超滤膜滤器配合原水储槽、清水储槽、原水泵、逆洗泵、离心供水泵、多个开关阀及多个管路等连结而成；一离心装置，其为卧式离心装置或盘片式离心装置。本实用新型所提供的污水净化装置，其根据污水固体含量而连接于过滤装置的一适当流程中，通过离心装置将污水中固体微粒以离心力作用，自污水中分离出来，被分离出的固体微粒，可符合污泥弃物流程直接丢弃，而被分离出来的液态水系被重新再导入过滤装置的原水储槽，进行重复过滤作业。
文档编号C02F1/44GK202164182SQ20112026121
公开日2012年3月14日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日
发明者廖芳基 申请人:彰化炼水股份有限公司