大气常压差分输出激励低温等离子体玻璃清洗装置的制作方法

本发明涉及半导体和显示行业中的对玻璃基板等进行清洗的技术领域，具体地，涉及一种等离子体清洗设备。

背景技术：

等离子体是物质存在的第四种状态。它由电离的导电气体组成，其中包括六种典型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。

低温等离子体空间富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基均为活性粒子，易于和材料表面发生反应，，在等离子体区域，等离子可以将有机物发生化学反应使其分解，或使颗粒物荷电后沉积，或通过放电产生的紫外线或其他强氧化物质将细菌去除。因而在灭菌、表面改性、薄膜沉积、刻蚀加工、器件清洗等领域得到广泛应用。

就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。

近年来，由于玻璃制品在幕墙、手机屏幕、电脑显示屏等等方面的广泛应用，对玻璃表面的改性以及清洗越来越重要。目前，对玻璃的表面处理有擦洗、喷射清洗、有机溶剂蒸气脱脂、超声波清洗等方法。其中：

擦洗方法：效果不佳且耗时费力。

喷射：一般先后使用热水、含洗涤剂的水溶液、自来水、去离子水作为溶剂进行喷射清洗，此方法使用的溶剂易对玻璃表面造成损坏，且设备成本高、污染大。

有机溶剂蒸气处理玻璃表面：在15min内能清除玻璃表面的油脂膜，可作为最后一道清洗工序，但该方法处理后的玻璃带静电，易吸附灰尘，还需后续工序及设备来消除静电。

超声波清洗：虽能清洗玻璃表面污渍，但是超声波清洗设备噪音较大、换能器易坏。

技术实现要素：

1、所要解决的技术问题：

本发明的目的是提供一种利用等离子技术能有效对玻璃进行表面清洁和提高表面张力的技术方案。

2、方案：

大气常压差分输出激励低温等离子体玻璃清洗装置，包括低温等离子体激励部分和低温等离子体发生装置；所述低温等离子体激励部分包括低温等离子体电源发生器，低温等离子体变压器；低温等离子体发生装置包括两只电极 4 ，所述低温等离子体电源发生器通过等离子体变压器与两只等离子体电极 4 相连；低温等离子体发生装置还包括低温等离子体电极间隙调整装置、等离子体电极固定板 2 、整体金属方形支架 1 ，和散热排风的接口 3 ；

所述第一等离子体电极通过等离子体电极固定板 2 固定在金属方形支架 1 的腰线上；第二等离子体电极与第一等离子电极平行，且第二等离子体电极设置等离子电极间隙调整装置调整两只电极的相对位置；所述散热排风的接口 3 置于金属方形支架 1 上。

进一步地，所述等离子体电极固定板 2 为绝缘体。

所述等离子体间隙调整装置由间隙螺钉 5 和平衡螺钉 6 组成，所述调节间隙螺钉 5 至少两个，通过调节电极固定板 2 的高低调节电极间隙；所述调节平衡螺钉 6 至少四个，通过调节电极固定板 2 的平衡调节电极平衡。

所述低温等离子体电源发生器为中频高压差分输出激励的电源。

所述等离子体电极 4 由表面具有稀土涂层的刚玉管制作而成，所述等离子体电极 4 包括表面具有稀土涂层的刚玉电极管、内冷进气口9和内冷出气口7；所述内冷进出气口与风机通过管道相连等离子体电源采用高频高压差分输出激励方式能够有效降低高压绝缘难度，提高电气安全性。

附图说明

图1是本发明的前视结构示意图；

图2是俯视结构示意图；

图3是等离子体电极结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的技术方案做进一步的详细说明：

本发明所公开的大气常压差分输出激励低温等离子体玻璃清洗装置结构示意图如图1所示，所述装置包括等离子体电4、等离子体电极固定板2、电极间隙调整装置、方形外壳，其中一个电极通过绝缘材料与金属方形支架1 固定在一起，居于下方位置，另外一个电极同样通过绝缘材料与金属方形支架 1 固定在一起，居于上方位置，同时可以通过等离子体电极间隙调整装置调节高度与平衡位置。当两个电极与等离子体电源发生器接通，而且等离子体电源发生器采用差分输出激励方式，在两电极中间形成零电势面，材料在零电势面上两面获得同样的等离子体处理。

在金属方形支架1设置散热排风的接口3，散热排风的接口3与风机相连，通过风机将腔室内空气向外抽取，则腔室内外形成一定的气压差，使腔室内的等离子气体不断的流动，将在清洁的过程中产生的气体排出。

等离子体电极间隙调整装置如图2 所示包括两个间隙螺母，四个平衡螺钉。2个间隙螺钉调节等离子体电极间隙；调节4个平衡螺钉调节等离子体电极的平衡。

如图3 所示，等离子体电极4由表面具有稀土涂层的刚玉管制成，等离子体电极4电极包括表面具有稀土涂层的刚玉电极管、内冷进出气口；等离子体电源发生器通过等离子体变压器与等离子体电极4相连 。排气风机也同时和等离子体电极内冷出气口通过气管相连；对等离子体电极4进行冷却。

等离子体电极4固定在两端的电极固定板2上，电极固定板2固定于玻璃清洗装置的外壳上。

将内冷气管、外冷波纹管连接到排气风机上，将等离子体电源发生器通、等离子体变压器、等离子体电极4用适当的电气连接线相连，通过调节2个间隙螺钉调节适当的放电间隙。准备工作完成后，开启等离子电源发生器以及排气风机，产生稳定的低温等离子体来处理玻璃。

在上述实施的过程中，风机通过管道与金属方形支架1的散热排风口连接，对清洗装置进行散热，同时该风机也与两只电极的内冷进出气口相连，整个装置中可以用一台风机就能满足需要了。

虽然本发明已以较佳实施例公开如上，但它们并不是用来限定本发明的，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明之精神和范围内，自当可作各种变化或润饰，因此本发明的保护范围应当以本申请的权利要求保护范围所界定的为准。