一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置的制作方法

本实用新型涉及一种清洁装置，尤其涉及一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置。

背景技术：

MOCVD石墨盘烤盘炉是生产LED外延片的装置，烤盘炉每隔7小时就会完成一个循环，循环结束后，为了保持产品的质量，需要对烤盘炉的腔体进行清理，主要是高温冷却后粘结在腔壁上的GaN物质去除。

现有技术中的烤盘炉保温层呈圆柱体，高度较高，一般的为1.78米，顶端距地面达到1.8米，使用梯子撑高后仍然难清理干净，清理需要耗费大量的时间及人力成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置，MOCVD石墨盘烤盘炉包括冷却筒及位于冷却筒内的保温筒，所述冷却筒的内壁与所述保温筒的外壁之间形成一环状空间，

所述清洁装置包括设置于所述环状空间内用于对保温筒的外壁进行清洁的弧形毛刷、及一驱动所述弧形毛刷在环状空间内轴向往复运动的驱动机构。

优选的，所述弧形毛刷为用于对保温筒的外壁及冷却筒的内壁进行清洁的双面毛刷。

优选的，所述弧形毛刷包括弧形支撑架和设置于所述弧形支撑架上的毛刷体。

优选的，所述弧形支撑架为空心的弧形轴管，并且弧形轴管上开设有吸尘孔，所述弧形轴管连接有吸尘机构。

优选的，所述环状空间内具有至少两根轴向设置的滑轨，任意两滑轨之间均具有一弧形毛刷，弧形毛刷的两端分别滑接于所述滑轨上。

优选的，所述环状空间内具有三根轴向设置的滑轨，所述三根滑轨均匀分布于所述环状空间内。

优选的，所述滑轨上设有滑动设置的滑块，所述滑块的两侧分别具有一用于连接所述弧形毛刷的连接部。

优选的，所述驱动机构为电动液压推杆。

本实用新型的有益效果体现在：

1.在MOCVD石墨盘烤盘炉的环状空间内设置了自动清洁装置，通过弧形毛刷实现对保温筒外壁及冷却筒内壁的自动清洁，提高了清洁效率，降低了清洁成本；

2.弧形毛刷具有吸尘功能，当弧形毛刷将保温筒外壁及冷却筒内壁上的GaN等物质清刷剥离为浮尘后，通过吸尘孔能及时排出；

3.滑轨能实现对弧形毛刷进行导向，使弧形毛刷的往复运动运行更稳定，使清洁装置结构更牢固。

附图说明

图1是本实用新型一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置的截面结构示意图；

图2是本实用新型一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置的剖面结构示意图；

图3是弧形毛刷的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限于本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置，MOCVD石墨盘烤盘炉包括冷却筒1及位于冷却筒1内的保温筒2，冷却筒1的内壁与保温筒2的外壁之间形成一环状空间3。

本实用新型的清洁装置如图1和图2所示，其包括设置于环状空间3内用于对保温筒2的外壁进行清洁的弧形毛刷4、及一驱动弧形毛刷4在环状空间3内轴向往复运动的驱动机构5。

具体的清洁过程及原理：

通过驱动机构5实现对弧形毛刷4的驱动，如图2中箭头方向所示，弧形毛刷在环状空间3内轴向线性往复运动，弧形毛刷4的刷体部分与保温筒2的外壁之间具有一定的压力，在弧形毛刷4运动过程中，对保温筒2的外壁进行清洁，将其表面上的GaN等物质清刷剥离，实现了自动清洁。

对弧形毛刷进行优化，弧形毛刷4为用于对保温筒2的外壁及冷却筒1的内壁进行清洁的双面毛刷。弧形毛刷具有双面的刷体，刷体分别与保温筒外壁及冷却筒内壁相抵，能实现对两者的清洁。

更优地，如图3所示，弧形毛刷4包括弧形支撑架6和设置于弧形支撑架6上的毛刷体7，毛刷体可拆卸设置于弧形支撑架6上，能实现毛刷体的替换。弧形支撑架6为空心的弧形轴管，并且弧形轴管上开设有吸尘孔8，弧形轴管连接有吸尘机构。通过该吸尘机构使吸尘孔具有吸附力，将清刷剥离的GaN等物质沿吸尘孔、弧形轴管进入吸尘机构内，清洁有效。

另外，为增加清洁装置的稳定性，在环状空间内设置至少两根轴向设置的滑轨9，任意两滑轨之间均具有一弧形毛刷4，弧形毛刷4的两端分别滑接于滑轨9上。通过滑轨在增加清洁装置结构稳定的同时，实现对弧形毛刷的导向，增加弧形毛刷清洁的稳定性。

优选实施例中，环状空间3内具有三根轴向设置的滑轨9，三根滑轨9均匀分布于环状空间内。并且，为了简化弧形毛刷的装配结构，在滑轨9上设有滑动设置的滑块，滑块的两侧分别具有一用于连接弧形毛刷4的连接部。通过该连接部能实现对弧形毛刷的快速装配。

最后，对驱动机构进行描述，其为电动液压推杆。电动液压推杆能实现对弧形毛刷的往复推动，当然亦可采用气缸推杆等。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。