1.一种基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,包括:
输液泵,用于输送待处理的水;
膜接触器,壳程入口与所述输液泵的出水口连接,壳程出口输出处理好的水;
氮气贮罐,通过减压元件与所述膜接触器的管程进口连接;
真空泵,进口与所述膜接触器的管程出口连接,出口输出氮气和被脱气体的混合气体。
2.如权利要求1所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,所述膜接触器设有壳程串联的两个,分别为第一膜接触器和第二膜接触器。
3.如权利要求2所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,所述氮气贮罐通过减压元件后分别接入第一膜接触器和第二膜接触器的管程进口。
4.如权利要求1所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,所述输液泵的进水口连接于待处理水的中转水箱。
5.如权利要求1所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,连接所述输液泵的出水口和所述膜接触器的壳程入口的管路上安装有加热单元。
6.如权利要求1所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,所述氮气贮罐的出气口和减压元件之间安装有气体精密过滤器。
7.如权利要求1所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,所述减压元件的出气端和所述真空泵进气端设有压强检测仪。
8.如权利要求2所述的基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统,其特征在于,脱除二氧化碳时,所述输液泵的出水口设有pH测试仪;脱除氧气时,所述第二膜接触器壳程的出水口设有溶氧检测仪。