清洗机溢流水再利用装置的制作方法

本发明应用于硅片清洗机插片机的硅片处理工序，具体涉及一种清洗机溢流水再利用装置。

背景技术：

硅片清洗主要通过两种设备实现，硅片脱胶机和硅片清洗机，脱胶机完成硅片切割后的预冲洗和脱胶工作，硅片清洗机通过纯水超声和药剂清洗将每片硅片一一清洗干净；但是，硅片清洗机需要不断注入新水进行漂洗，此新水往往都是排掉不再使用的，用水量大，用水浪费严重。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种清洗机溢流水再利用装置，能够提升水资源利用率，降低公司用水成本。

本发明解决以上技术问题的技术方案是：提供清洗机溢流水再利用装置，包括插片机水槽、漂洗槽和溢流槽，所述插片机水槽底部设有排水口，并且通过排水管道连接废水池，所述废水池通过废水管道连接过滤池，所述过滤池通过过滤管道连接储水槽，所述储水槽内设置有加热管，并且该加热器储水槽外部设置的温控器相连接，所述储水槽通过循环管道与所述插片机水槽相连接，所述漂洗槽一侧设置有溢流口，并且该溢流口通过溢流管道与所述溢流槽相连接，在所述溢流槽内设置有水泵，且该水泵与溢流槽外侧一端设置控制水泵的电源相连接，所述水泵连接出水管道，并且通过输水管道与插片机水槽相连接，在所述溢流槽内设置有液位传感器，且该液位传感器与所述水泵电源相连接。

本发明的进一步限定技术方案：

前述的在溢流槽内设置有浓度传感器。

前述的在溢流槽一侧连接有纯水管道，并且在纯水管道上设有电磁流量阀，该电磁流量阀与浓度传感器相连接。

前述的在溢流槽外侧表面设有一侧保温棉。

前述的在储水槽上设有液位计。

前述的在过滤池内设有聚四氟乙烯和陶瓷膜组合式过滤薄膜，且陶瓷膜设置在聚四氟乙烯薄膜下端。

本发明的有益效果是：本发明结构简单，通过将插片机水槽内水经过过滤池内的组合式过滤薄膜到储水槽内，有效的提升水资源利用率，降低公司用水成本，组合式过滤薄膜能够有效的去除了液体中的硅粉及其他颗粒杂质，在储水槽内设置加热管，并且该加热管受温度控制器所控制，其主要将经过过滤的水加热到指定的温度，便于清洗时硅片更容易分开，提高清洗质量，设置液位计，可根据液位计计算出需加清洗剂，提高硅片清洗的效果，清洗机内漂洗槽内的水溢流至溢流槽中，通过水泵将溢流槽中的水输送给插片机水槽，供给插片机使用，有效的解决溢流水直接排掉造成的水浪费，同时溢流槽内的水也可以通过增加一条支路溢流水输送至清洗机内的预洗槽，提高预洗效果，水泵的电源与液位传感器相连接，当液位传感器检测到溢流槽内的储水量达到指定储量时，水泵就会自动开启将水送至插片机水槽中，在溢流槽外侧表面设有一侧保温棉，能够将起到保温作用，使得内部水处于温水状态，这样硅片更容易分开，有效的提高清洗质量；溢流槽内部设置浓度传感器，检测溢流槽中的水溶液浓度，浓度超出设定值，纯水管道上电磁流量阀会开启，稀释浓度，避免水溶液浓度过高不利于插片。

附图说明

图1是本发明结构示意图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供一种清洗机溢流水再利用装置，结构如图1所示，包括插片机水槽1、漂洗槽2和溢流槽3，插片机水槽底部设有排水口，并且通过排水管道连接废水池4，废水池通过废水管道连接过滤池5，在过滤池内设有聚四氟乙烯薄膜6和陶瓷膜7组合式过滤薄膜，且陶瓷膜设置在聚四氟乙烯薄膜下端，过滤池5通过过滤管道连接储水槽8，在储水槽8上设有液位计9，并且其内部设置有加热管10，该加热器与储水槽外部设置的温控器11相连接，储水槽8通过循环管道与插片机水槽1相连接，漂洗槽一侧设置有溢流口，并且该溢流口通过溢流管道与溢流槽相连接，溢流槽外侧表面设有一侧保温棉12，在溢流槽内设置有水泵13，且该水泵与溢流槽外侧一端设置控制水泵的电源14相连接，水泵连接出水管道，并且通过输水管道与插片机水槽相连接，在溢流槽一侧连接有纯水管道15，在溢流槽内设置有液位传感器16和浓度传感器17，其中液位传感器16与水泵的电源14相连接，浓度传感器17与纯水管道上设有电磁流量阀18相连接。

本实施例结构简单，通过将插片机水槽内水经过过滤池内的组合式过滤薄膜到储水槽内，有效的提升水资源利用率，降低公司用水成本，组合式过滤薄膜能够有效的去除了液体中的硅粉及其他颗粒杂质，在储水槽内设置加热管，并且该加热管受温度控制器所控制，其主要将经过过滤的水加热到指定的温度，便于清洗时硅片更容易分开，提高清洗质量，设置液位计，可根据液位计计算出需加清洗剂，提高硅片清洗的效果，清洗机内漂洗槽内的水溢流至溢流槽中，通过水泵将溢流槽中的水输送给插片机水槽，供给插片机使用，有效的解决溢流水直接排掉造成的水浪费，同时溢流槽内的水也可以通过增加一条支路溢流水输送至清洗机内的预洗槽，提高预洗效果，水泵的电源与液位传感器相连接，当液位传感器检测到溢流槽内的储水量达到指定储量时，水泵就会自动开启将水送至插片机水槽中，在溢流槽外侧表面设有一侧保温棉，能够将起到保温作用，使得内部水处于温水状态，这样硅片更容易分开，有效的提高清洗质量；溢流槽内部设置浓度传感器，检测溢流槽中的水溶液浓度，浓度超出设定值，纯水管道上电磁流量阀会开启，稀释浓度，避免水溶液浓度过高不利于插片。

除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围。

技术特征：

技术总结
本发明是一种清洗机溢流水再利用装置，包括插片机水槽、漂洗槽和溢流槽，插片机水槽底部设有排水口，并且通过排水管道连接废水池，废水池通过废水管道连接过滤池，过滤池通过过滤管道连接储水槽，储水槽内设置有加热管，并且该加热器储水槽外部设置的温控器相连接，储水槽通过循环管道与插片机水槽相连接，漂洗槽一侧设置有溢流口，并且该溢流口通过溢流管道与溢流槽相连接，在溢流槽内设置有水泵，且该水泵与溢流槽外侧设置控制水泵的电源相连接，水泵连接出水管道，并且通过输水管道与插片机水槽相连接，在溢流槽内设置有液位传感器，且该液位传感器与水泵电源相连接；本发明能够提升水资源利用率，降低公司用水成本。

技术研发人员：魏泽武;周炎
受保护的技术使用者：江苏美科硅能源有限公司
技术研发日：2019.04.04
技术公布日：2019.06.14