一种芯片生产线的废水处理系统的制作方法

本实用新型涉及生活废水再利用设施技术领域，尤其涉及一种芯片生产线的废水处理系统。

背景技术：

在半导体制造技术中，通过一系列的光刻、刻蚀、沉积、离子注入、研磨、清洗等工艺形成具有各种功能的半导体芯片，然后将所述半导体芯片进行封装和电性测试，并最终形成终端产品。目前，在半导体芯片的制造过程中，会产生大量的工业废水。

在现有的废水处理过程中，通常单独使用序列间歇式活性污泥法(sbr)或生物接触氧化法或曝气生物滤池(baf)，均只能对废水进行单一的处理，例如为过滤或微生物反应或去除毒性等，由于处理方式过于单一，这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。因此，废水处理仍有改善的空间。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种芯片生产线的废水处理系统。

根据本实用新型实施例的一种芯片生产线的废水处理系统，包括：酸碱调节箱、过滤箱、好氧箱、膜生物反应器、抑菌箱；

所述酸碱调节箱上部一侧分别开设有废水入口和碱液投放口，所述酸碱调节箱内部还安装有第一搅拌装置，所述酸碱调节箱下部一侧壁上开设有第一连接管，所述第一连接管与过滤箱连通，所述过滤箱内部安装有过滤器，所述过滤器四周与过滤箱侧壁连接，所述过滤箱下部开设有第一排污口，且所述第一排污口的位于过滤器下方，所述过滤箱上部的侧壁上连接有第二连接管，所述第二连接管的另一端与好氧箱连通；

所述好氧箱内部上部连接有进气管，所述进气管下端连接有分布器，所述分布器上安装有喷头，所述好氧箱内部安装有第二搅拌装置，所述第二搅拌装置位于喷头下方，所述好氧箱底部还开设有第二排污口，所述好氧箱侧壁上部上连接有回气管，所述回气管的另一端与进气管连通，所述好氧箱侧壁上开设有活性污泥投放口，所述好氧箱侧壁上连接有第三连接管，所述第三连接管的另一端与膜生物反应器的输入端连通；

所述膜生物反应器的输出端处连接有第四连接管，所述第四连接管另一端与抑菌箱连通，所述抑菌箱侧壁上连接有抑菌剂投放口，所述抑菌箱下部侧壁上安装在有排水管。

优选地，所述回气管中部安装有三通管，所述三通管的第三接口上安装有排气管。

优选地，所述酸碱调节箱内部侧壁上安装有ph值检测仪。

优选地，所述第一连接管、第二连接管、第三连接管、第四连接管、第一排污口、第二排污口上分别设有阀门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：通过设置酸碱调节箱、过滤箱、好氧箱、膜生物反应器、抑菌箱，酸碱调节箱能将废水ph值调到中性，利于好氧箱内细菌生存，通过过滤箱可以过滤一部分固体颗粒物，通过好氧箱中的分布器和第二搅拌装置，可以使废水与活性污泥和好氧细菌充分混合，好氧细菌可以分解大量有机化合物，活性污泥可以吸附废水中的纳米级颗粒物，形成微米级以上的悬浮颗粒物，并通过第二排污口排出，膜生物反应器可以去除废水中的悬浮颗粒物，抑菌箱可以抑制净水中的细菌滋生，好氧箱内通过活性污泥法对废水进行初步的预处理，对好氧箱内的污水有机物进行初步分解，预处理的废水流入膜生物反应器中，膜生物反应器可进一步的对废水进一步的分解，达到精细处理废水的目的，让污水内的有机物分解的更加彻底，达到更好的废水处理效果。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型提出的一种芯片生产线的废水处理系统的结构示意图；

图中：1-酸碱调节箱、2-过滤箱、3-好氧箱、4-膜生物反应器、5-抑菌箱、11-废水入口、12-ph值检测仪、13-第一搅拌装置、14-第一连接管、15-碱液投放口、21-过滤器、22-第二连接管、23-第一排污口、31-进气管、32-分布器、33-喷头、34-第二搅拌装置、35-第二排污口、36-第三连接管、37-活性污泥投放口、38-回气管、39-三通管、310-排气管、41-第四连接管、51-抑菌剂投放口、52-排水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1，一种芯片生产线的废水处理系统，包括：酸碱调节箱1、过滤箱2、好氧箱3、膜生物反应器4、抑菌箱5；

所述酸碱调节箱1上部一侧分别开设有废水入口11和碱液投放口15，所述酸碱调节箱1内部还安装有第一搅拌装置13，所述酸碱调节箱1下部一侧壁上开设有第一连接管14，所述第一连接管14与过滤箱2连通，所述过滤箱2内部安装有过滤器21，所述过滤器21四周与过滤箱2侧壁连接，所述过滤箱2下部开设有第一排污口23，且所述第一排污口23的位于过滤器21下方，所述过滤箱2上部的侧壁上连接有第二连接管22，所述第二连接管22的另一端与好氧箱3连通；

所述好氧箱3内部上部连接有进气管31，所述进气管31下端连接有分布器32，所述分布器32上安装有喷头33，所述好氧箱3内部安装有第二搅拌装置34，所述第二搅拌装置34位于喷头33下方，所述好氧箱3底部还开设有第二排污口35，所述好氧箱3侧壁上部上连接有回气管38，所述回气管38的另一端与进气管31连通，所述好氧箱3侧壁上开设有活性污泥投放口37，所述好氧箱3侧壁上连接有第三连接管36，所述第三连接管36的另一端与膜生物反应器4的输入端连通；

所述膜生物反应器4的输出端处连接有第四连接管41，所述第四连接管41另一端与抑菌箱5连通，所述抑菌箱5侧壁上连接有抑菌剂投放口51，所述抑菌箱5下部侧壁上安装在有排水管52。

在本实用新型的一些实施例中，所述回气管38中部安装有三通管39，所述三通管39的第三接口上安装有排气管310，通过三通管39和排气管310的设置，可以防止好氧箱3内气体压强过大。

在本实用新型的一些实施例中，所述酸碱调节箱1内部侧壁上安装有ph值检测仪12，通过ph值检测仪12可以测量酸碱调节箱1内液体的酸碱值，以便及时通过碱液投放口15投放纯碱。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一连接管14、第二连接管22、第三连接管36、第四连接管41、第一排污口23、第二排污口35上分别设有阀门；通过阀门的设置，可以控制各液体物质的流动，方便分离固体颗粒物或者使废水在上道工序充分反应后再进入下一道工序中进行处理。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。