一种等离子清洗机推送料装置的制作方法

本实用新型涉及一种等离子清洗机推送料装置，属于半导体加工技术领域。

背景技术：

等离子清洗机用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、pcb板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，等离子清洗机内设有推送料装置能够将物料从料盒内推送清洗工位内进行清洗，现有的推送料装置为水平面内推送，受限于设备的水平空间，推送料装置的行程小，推送料效率低下，设备的空间利用率低下。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种一种等离子清洗机推送料装置，能够提高设备的空间利用效率，提升推送料的行程，提高推送效率。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子清洗机推送料装置，其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构。

进一步地，所述传送板带经导向轮传送后弯折成类“l”型且外侧向上弯折。

进一步地，所述传送板带在自然伸展状态下向下弯曲成弧形，所述导向座上顶面与传送板带贴合，所述导向轮外周与传送板带贴合，所述导向座还连接有定型压块，所述定型压块下表面与传送板带贴合，所述传送板带设置在定型压块与导向座之间。

进一步地，所述定型压块上设有第一长圆孔，所述定型压块通过第一长圆孔与导向座可调连接。

进一步地，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧连接。

进一步地，所述驱动机构包括与机架滑动连接的驱动横板，所述驱动横板上设有第二长圆孔，所述传送板带通过第二长圆孔与驱动横板可调连接，所述机架上设有第三长圆孔，所述导向座通过第三长圆孔与机架可调连接。

进一步地，所述驱动机构还包括设置在机架上的滑轨、设置在驱动横板上的能够卡套在滑轨上滑动的滑套、设置在滑轨一侧的同步带以及能够驱动同步带运动的驱动电机，所述驱动横板与同步带连接，所述同步带与滑轨平行。

进一步地，所述推料头包括设置在传送板带前端的推料导向板以及设置在推料板前端的推料块，所述推料块上设有推料豁口，所述推料导向板中间弯曲形成加强槽，所述加强槽底面与传送板带贴合。

进一步地，所述推料导向板相邻的两棱边经倒角过渡连接。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果：

本技术方案的传送板带弯折设置，不局限在水平面内运动，提升了设备的空间利用率，提升了推送料的运动行程和推送料效率；

本技术方案的传送板带能够满足推送料所需的结构强度需求和折弯后传送所需的弹性变形需求，使用方便可靠；

本技术方案的导向轮、导向座、定型压块以及加强槽均与传送板带贴合设置，保证传送板带在导向座段运动时的形状稳定性，确保结构强度与保证作业安全；

本技术方案设有多个长圆孔用于可调连接，能够满足不同的生产环境对设备的需求，调整更方便，适应性更好；

本技术方案的导向轮通过弹性连杆与弹簧与导向座弹性连接，能够更好地压设贴合传送板带，确保传送板带的形状稳定性与传送稳定性。

本技术方案的推料导向板棱边经倒角过渡，能够更好地推送物料板，方便滑动，减少卡死。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机推送料装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机推送料装置的推料机构的立体结构放大示意图。

标号说明：1-机架、2-推料机构、3-驱动机构、4-导向座、5-传送板带、6-推料头、7-导向轮、8-定型压块、9-第一长圆孔、10-弹性连杆、11-弹簧、12-驱动横板、13-第二长圆孔、14-第三长圆孔、15-滑轨、16-滑套、17-同步带、18-驱动电机、19-推料导向板、20-推料块、21-推料豁口、22-加强槽、23-倒角。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如附图所示的一种等离子清洗机推送料装置，其包括设置在机架1上的推料机构2以及驱动机构3，所述推料机构包括导向座4、与导向座滑动连接的传送板带5、设置在传送板带前端的推料头6以及导向轮7，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构；

现有的推送料方向为单一的水平方向，由于设备的占地空间限制，水平推送料的传送距离十分有限，推送料的效果和效率有限，本技术方案的传送板带呈折弯状，传送路径为非水平状态，有效利用了设备的其他空间，提升了推送料的行程；

推料头用于推送物料板，在使用时需要将物料板从料盒内推送至清洗腔内，传送板带被卡设在导向轮与导向座之间，导向轮起到导向作用，能够保证整个传送板带的传送路径形状的稳定性与传送板带的传送的平稳性；传送板带为弹性机构能够在弯折形变后仍然维持部分结构强度满足推送料的传送需求。

所述传送板带经导向轮传送后弯折成类“l”型且外侧向上弯折；

有效利用了设备的上部空间，缩减了设备的水平占地空间，提升了传送行程，提高了推送料效率。

所述传送板带在自然伸展状态下向下弯曲成弧形，所述导向座上顶面与传送板带贴合，所述导向轮外周与传送板带贴合，所述导向座还连接有定型压块8，所述定型压块下表面与传送板带贴合，所述传送板带设置在定型压块与导向座之间；

传送板带采用类似“卷尺”的材料和结构，自然状态下截面成弧形，具有一定的结构强度，能够满足设备所需的推送料的需求，能够保证在推送料过程中的外力作用下，卷尺不会发生局部隆起等变形；同时本身具有一定的弹性，在外力作用下克服自身的结构强度后，各处均能够按需弯折，并且在无外力作用下又能够及时恢复原状，保持原有的结构强度；

传送板带经导向轮弯折后，形成了水平传送段和倾斜传送段，为了保证水平传送段的传送板带的形状与结构强度稳定，导向座顶面、定型压块以及导向轮外周均与传送板带贴合设置，避免传送板带在该段传送时发生形变，影响传送，传送板带在倾斜传送段传送时，在自身弹力作用下能够保持整体直线状且截面为弧形，确保拥有一定的结构强度，能够满足传送的推力需求。

所述定型压块上设有第一长圆孔9，所述定型压块通过第一长圆孔与导向座可调连接；

可以按需选择定型压块的数量和安装位置，通过第一长圆孔调节定型压块与安装座顶面之间的距离；若距离太小，可能会将传送板带压合较紧，传送阻力较大，影响传输；若距离太大，则为传送板带形变隆起提供了足够的空间，难以确保在该段传送的传送板带的形状稳定性。

所述导向轮与固定座通过一弹性连杆10连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧11连接；

导向轮能够克服传送板带自身的结构强度，使其发生弯折形变，但为确保传送板带在传送过程中能够顺利传递推力，传送板带需一直处于绷紧状态，不能发生隆起变形，导向轮与导向座之间弹性连接能够保证经过导向轮挤压导向后，传送板带始终处于绷紧状态，能够保证推料推力的顺利传递，确保工作稳定性。

所述驱动机构包括与机架滑动连接的驱动横板12，所述驱动横板上设有第二长圆孔13，所述传送板带通过第二长圆孔与驱动横板可调连接，所述机架上设有第三长圆孔14，所述导向座通过第三长圆孔与机架可调连接；

第三长圆孔能够方便导向座按需调整数量与安装位置，第二长圆孔能够方便传送板带根据导向座的数量和位置来调整与驱动横板的连接位置。

所述驱动机构还包括设置在机架上的滑轨15、设置在驱动横板上的能够卡套在滑轨上滑动的滑套16、设置在滑轨一侧的同步带17以及能够驱动同步带运动的驱动电机18，所述驱动横板与同步带连接，所述同步带与滑轨平行；

滑轨与滑套为现有常用的成熟的直线运动模组，安装使用方便成本低，按照预先设定的传送板带的传送路径来铺设，驱动横板与同步带的一处连接，驱动电机带动同步带运动，带动驱动横板沿着滑轨的方向运动，经由传送板带导向传送，将前端的推料头推送至料盒内，将料盒内的物料板推送至清洗腔内。

所述推料头包括设置在传送板带前端的推料导向板19以及设置在推料板前端的推料块20，所述推料块上设有推料豁口21，所述推料导向板中间弯曲形成加强槽22，所述加强槽底面与传送板带贴合；

推料导向板在使用时需要进入物料盒内，物料盒内预设有多个用于放置物料板的滑槽，导向板推送物料板时两侧也插入至滑槽内滑动，不需要传送板带提供其他方向上的支撑力，只需要提供传送方向上的推力；推料豁口用于定位卡住物料板的端面，加强槽与传送板带形状贴合能够确保传送板带的形状稳定性，确保其结构强度，确保推送料能够稳定进行。

所述推料导向板相邻的两棱边经倒角23过渡连接；

倒角过渡能够使推料导向板前后两端的宽度小于中间的宽度，更方便与料盒内的料槽对接，更加顺畅地插入料槽或从料槽内抽出，减少卡死，类似的圆角结构也能够满足需求。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。