真空环境中金刚石粉末净化仓的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空净化仓，特别涉及一种金刚石粉末聚晶前的真空净化仓。
【背景技术】
[0002]人造金刚石聚晶是一种把金刚石与结合剂在高温及超高压下烧结后而成的金刚石聚合物，它具有极高的耐热性和很高的热稳定性，广泛应用于制造石油、地质钻头、钻石加工和机械加工工具等。金刚石粉末在加工、储存及运输过程中，会产生有机物污染，造成聚合物抗冲击强度和耐磨性严重下降，直接影响其使用寿命。因此，金刚石粉末在聚晶前要增加净化处理工序，才能使制成品具有很好的热稳定性及更高的抗冲击强度和更好的耐磨性。现有的金刚石粉末净化处理工序是将金刚石粉末放入到料盘中，然后将料盘放入净化仓体固定位置处，关好仓门，对仓体抽真空，在参数设置区输入射频电源功率和气体流量，打开工作气体，观察真空度稳定后，打开射频电源，激发等离子体，对粉末进行干法清洗。这种对金刚石粉末清洗的方式只能对料盘中的金刚石粉末表面进行清洗，无法对处于底层的金刚石粉末进行彻底的清洗。
【发明内容】
[0003]本发明提供了一种真空环境中金刚石粉末净化仓，解决了现有金刚石粉末清洗设备对金刚石粉末清洗不彻底的技术问题。
[0004]本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的:
一种真空环境中金刚石粉末净化仓，包括密闭净化仓室，在密闭净化仓室上连接有抽真空系统，在密闭净化仓室内设置有盘体支撑座，在盘体支撑座上设置有盘体，在盘体中设置有金刚石粉末，在盘体的正上方设置有射频电极板，在密闭净化仓室内腔侧壁上设置有可调节电极板高度支架，射频电极板插接在可调节电极板高度支架上，在密闭净化仓室的下底面上固定设置有伺服电机座，在伺服电机座上设置有伺服电机，在盘体中设置有金刚石粉末搅拌板式叶片，金刚石粉末搅拌板式叶片的叶片中心轴穿过盘体的下底面后通过联轴器与伺服电机的输出轴连接在一起，在伺服电机的输出轴上设置有骨架密封圈。
[0005]在金刚石粉末搅拌板式叶片上设置有犁体曲面弯爪，金刚石粉末搅拌板式叶片的左半叶片上设置的犁体曲面弯爪与金刚石粉末搅拌板式叶片的右半叶片上设置的爪之间的间隙是以叶片中心轴为中心对称轴对称设置的。
[0006]本发明提供了结构简单，维护方便，射频电极板的高低可调和带有犁体曲面弯爪的金刚石粉末搅拌板式叶片的充分搅拌，大大提高了对金刚石粉末的清洗程度，提高了人造金刚石聚晶的效果。
【附图说明】
[0007]图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的搅拌系统的结构示意图； 图3是本发明的金刚石粉末搅拌板式叶片12的结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]下面结合附图对本发明进行详细说明:
一种真空环境中金刚石粉末净化仓，包括密闭净化仓室1，在密闭净化仓室I上连接有抽真空系统7，在密闭净化仓室I内设置有盘体支撑座2，在盘体支撑座2上设置有盘体3，在盘体3中设置有金刚石粉末4，在盘体3的正上方设置有射频电极板6，在密闭净化仓室I内腔侧壁上设置有可调节电极板高度支架5，射频电极板6插接在可调节电极板高度支架5上，在密闭净化仓室I的下底面上固定设置有伺服电机座8，在伺服电机座8上设置有伺服电机9，在盘体3中设置有金刚石粉末搅拌板式叶片12，金刚石粉末搅拌板式叶片12的叶片中心轴11穿过盘体3的下底面后通过联轴器13与伺服电机9的输出轴10连接在一起，在伺服电机9的输出轴10上设置有骨架密封圈14。
[0009]在金刚石粉末搅拌板式叶片12上设置有犁体曲面弯爪15，金刚石粉末搅拌板式叶片12的左半叶片上设置的犁体曲面弯爪15与金刚石粉末搅拌板式叶片12的右半叶片上设置的爪之间的间隙16是以叶片中心轴11为中心对称轴对称设置的。在金刚石粉末搅拌板式叶片12的下部左右都设计有多个弯爪，弯爪采用犁体曲面，交错排列，其旋转时可以将底层金刚石粉末充分地翻到上层，便于射频电极板6的激发等离子体对粉末进行干法清洗。
[0010]盘体3放入密闭净化仓室I的仓体后，通过盘体3下方的两个定位销找正在盘体支撑座2上的位置，使上下轴同心。激发等离子体达到工作条件后，启动伺服电机9，伺服电机9通过一系列转接带动盘体3中的叶片中心轴11旋转，叶片中心轴11带动金刚石粉末搅拌板式叶片12转动，金刚石粉末搅拌板式叶片12将底层金刚石粉末翻到上层，接受等离子体清洗。下一个循环，金刚石粉末搅拌板式叶片12重新将新的底层金刚石粉末翻到上层，如此循环下去，底层金刚石粉末不断被翻到上层，实现全部金刚石粉末的充分净化。
【主权项】
1.一种真空环境中金刚石粉末净化仓，包括密闭净化仓室(1)，在密闭净化仓室(I)上连接有抽真空系统(7 )，在密闭净化仓室(I)内设置有盘体支撑座(2 )，在盘体支撑座(2 )上设置有盘体(3)，在盘体(3)中设置有金刚石粉末(4)，其特征在于，在盘体(3)的正上方设置有射频电极板(6)，在密闭净化仓室(I)内腔侧壁上设置有可调节电极板高度支架(5)，射频电极板(6)插接在可调节电极板高度支架(5)上，在密闭净化仓室(I)的下底面上固定设置有伺服电机座(8)，在伺服电机座(8)上设置有伺服电机(9)，在盘体(3)中设置有金刚石粉末搅拌板式叶片(12)，金刚石粉末搅拌板式叶片(12)的叶片中心轴(11)穿过盘体(3)的下底面后通过联轴器(13)与伺服电机(9)的输出轴(10)连接在一起，在伺服电机(9)的输出轴(10)上设置有骨架密封圈(14)。
2.根据权利要求1所述的一种真空环境中金刚石粉末净化仓，其特征在于，在金刚石粉末搅拌板式叶片(12)上设置有犁体曲面弯爪(15)，金刚石粉末搅拌板式叶片(12)的左半叶片上设置的犁体曲面弯爪(15)与金刚石粉末搅拌板式叶片(12)的右半叶片上设置的爪之间的间隙(16 )是以叶片中心轴(11)为中心对称轴对称设置的。
【专利摘要】本发明公开了一种真空环境中金刚石粉末净化仓，解决了现有金刚石粉末清洗设备对金刚石粉末清洗不彻底的问题。包括在盘体（3）的正上方设置有射频电极板（6），在密闭净化仓室（1）的下底面上固定设置有伺服电机座（8），在伺服电机座（8）上设置有伺服电机（9），在盘体（3）中设置有金刚石粉末搅拌板式叶片（12），金刚石粉末搅拌板式叶片（12）的叶片中心轴（11）穿过盘体（3）的下底面后通过联轴器（13）与伺服电机（9）的输出轴（10）连接在一起，在伺服电机（9）的输出轴（10）上设置有骨架密封圈（14）。本发明大大提高了对金刚石粉末的清洗程度，提高了人造金刚石聚晶的效果。
【IPC分类】B08B7-00
【公开号】CN104525525
【申请号】CN201410807761
【发明人】张继光, 杨晓东, 程建平
【申请人】中国电子科技集团公司第二研究所
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月23日