用于进行细净化的旋风喷射系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种以一定的压力以及流量对旋风喷嘴(twister nozzle)供给用于进行细净化的蒸气和流体的旋风喷射系统(twister spraying system),更详细地说,涉及一种如下的用于进行细净化的旋风喷射系统，即能够进行24小时蒸气生成以及注入，且注入预先混合了微泡和去离子水(De1nized Water, DIff)的混合流体以及清洁干燥空气(Clean Dried Air, CDA)，在高压下以旋风方式对它们进行混合之后进行喷射，由此，除去微细杂质等微细污染粒子。
【背景技术】
[0002]近年来，公开了利用微泡的清洗或洗涤技术。
[0003]利用微泡的清洗或洗涤技术应用于半导体部件的洗涤、在半导体元件制造工序中产生的杂质(微粒、油溃以及污溃等)的清洗、以及太阳能电池晶片的清洗等，还广泛应用于农业或渔业领域中的对于对象物的洗涤或日常生活中的洗涤。除此以外，还在向多个领域扩展。
[0004]在利用微泡的清洗或洗涤技术中，将去离子水(DIW)制成微泡，对被洗涤物直接喷射而进行处理。详细地说，喷射的微泡一边从被洗涤物流下一边涂敷形成在被洗涤物的杂质并浮起，通过对含有该杂质的废清洗液进行排水来实现清洗。
[0005]但是，在这样的现有技术中，因为将使去离子水(DIW)通过微泡生成器而生成的微泡直接用于清洗，所以有如下的缺点，即在制作微泡的过程中产生的微粒会对清洗有反效果。
【发明内容】
_6] 本发明要解决的技术问题
[0007]本发明是鉴于上述方面而提出的，其目的在于，提供一种如下的用于进行细净化的旋风喷射系统，即在生成混合有去离子水(DI Water)和微泡的混合流体之后，经过用于除去在该混合流体生成过程中产生的微粒的缓冲罐，由此,使为了进行细净化而喷射的清洗液的纯度最大化。
[0008]本发明的另一个目的在于，提供一种如下的用于进行细净化的旋风喷射系统，SP在没有额外的混合以及加热装置的情况下以旋风方式混合注入的流体，并以均匀的压力喷射清洗液。
[0009]本发明的目的不限于此，通过以下的记载，本领域技术人员能清楚地理解尚未提及的其它目的。
_0] 技术方案
[0011]用于达成所述的目的的本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统，其特征在于，构成为包括:旋风喷嘴模块，其用于进行细净化;第I注入线，其用于向所述旋风喷嘴模块注入清洁干燥空气(CDA);第2注入线，其用于向所述旋风喷嘴模块注入混合有去离子水(DI Water)和微泡的混合流体；第3注入线，其用于向所述旋风喷嘴模块注入蒸气；混合器，其用于生成所述混合流体；以及缓冲罐，其用于将所述混合器中生成的所述混合流体通过所述第2注入线进行供给之前，临时储存所述混合流体。
[0012]优选地，所述缓冲罐可以通过内部隔壁被分离为第I储存槽和第2储存槽。
[0013]更优选地，所述第I储存槽储存从所述混合器中生成的所述混合流体，所述第2储存槽储存通过所述第2注入线供给的所述混合流体，其中，在所述混合器中生成而流入的所述混合流体储存到所述第I储存槽时，从所述内部隔壁溢出的分量储存到所述第2储存槽。
[0014]优选地，还可以具备:第I调整器，其用于调节对所述第I注入线进行开闭的第I阀门和CDA的注入流量和注入压;第2调整器，其用于调节对所述第2注入线进行开闭的第2阀门和所述混合流体的注入流量和注入压；以及阀门，其用于对所述第3注入线进行开闭。
[0015]更优选地，在所述第3注入线的一端结合有所述旋风喷嘴模块，在另一端结合有蒸气产生器(Steam generator)。
[0016]更优选地，还可以具备:控制器，其用于调节所述第I以及第2调整器的注入流量以及注入压，并控制所述第I至第3注入线具备的阀门的开闭。
[0017]优选地，所述旋风喷嘴模块包括:机体部，其内部以中空方式构成；第I注入部，其配置于所述机体部的一侧，且为了向所述机体部的内部注入所述清洁干燥空气(CDA)而与所述第I注入线结合；第2注入部，其配置于所述机体部的一侧，且为了向所述机体部的内部注入所述混合流体而与所述第2注入线结合；第3注入部，其配置于所述机体部的上部中心一侧，且为了向所述机体部的内部注入高压的所述蒸气而与所述第3注入线结合；以及流出口，其配置于所述机体部的下端部一侧，用于向外部喷射在所述机体部的内部混合的清洗液。
[0018]更优选地，所述第I注入部以及第2注入部以在所述机体部内部向下方弯曲的方式配置。
[0019]更优选地，所述第3注入部以向所述机体部内部伸入规定长度的方式配置。
[0020]更优选地，与所述第I以及第2注入部在所述机体部的内部向下方弯曲的长度相t匕，所述第3注入部伸入到所述机体部内部的长度相对更长地配置。
[0021]更优选地，所述第I以及第2注入部以所述第3注入部为基准以相互相向的方式配置。
[0022]更优选地，所述机体部包括:机体，其以中空方式形成，下部开放，以便使得所述清洁干燥空气(CDA)和所述混合流体和所述蒸气能在内部通过旋风方式进行混合；以及喷嘴模块，其在所述机体下部以与所述机体对应的形状构成，且在底面形成有流出口。
[0023]有益.效果
[0024]根据本发明，注入预先混合了微泡和DIW(De1nized Water)的混合流体以及CDA (Clean Dried Air)，并在高压下以旋风方式对它们进行混合之后进行喷射，由此，能除去在触控面板(Touch Screen Panel, TSP)的制造中产生的微细杂质或在晶片的光刻工序中产生的微细杂质等微小污染粒子，具有能进行细净化的效果。
[0025]特别是，在本发明中，将预先混合了微泡和DIW的混合流体储存在缓冲罐一定时间后进行注入，因此，能事先除去在生成微泡时产生的微粒(杂质)的流入，能进行稳定的清洗。
[0026]此外，在本发明中，混合有微泡和DIW的混合流体一边进行旋风混合一边生成气泡，该生成的气泡与对象物碰撞，连微细杂质也能除去。
[0027]此外，在本发明中，在需要进行清洗的位置设置旋风喷嘴模块之后，能够仅在该旋风喷嘴模块具备的供给线连接本发明的系统而进行清洗作业，因此，能使工序简便。
[0028]此外，在本发明中，能够在使用以并列方式配置的多个加热棒的蒸气产生器中通过蒸气量控制进行24小时蒸气注入，并且能以较低的消耗电力进行清洗。
[0029]这样的本发明不仅能应用于包括半导体领域在内的多种产业领域中的清洗以及洗涤，而且还能广泛地应用于日常生活中的汽车洗涤或洗脸等。
【附图说明】
[0030]本说明书的附图是用于例示本发明的优选实施例，与发明的详细说明一同起到能帮助进一步理解本发明的技术思想的作用，因此本发明不能限定于这样的附图所记载的事项来解释。
[0031]图1是示出根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统的结构的立体图。
[0032]图2是示出根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统的详细结构的图解。
[0033]图3是根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统中的旋风喷嘴模块的立体图。
[0034]图4是根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统中的旋风喷嘴模块的分解立体图。
[0035]图5以及图6是根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统中的旋风喷嘴模块的纵剖视图。
[0036]图7是图6的A-A剖视图。
【具体实施方式】
[0037]以下，将参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明
[0038]图1是示出根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统的结构的立体图，图2是示出根据本发明的用于进行细净化的旋风喷射系统的详细结构的图解。图1所示的结构示出除去图2所示的旋风喷嘴模块10的结构，根据本发明的系统能将图1所示的结构与旋风喷嘴10结合而注入清洗用的蒸气以及流体来实施细净化。因而，以下虽然将旋风喷嘴模块10作为本发明的系统的构成要素进行说明，但是，应将除该旋风喷嘴模块10以外的结构理解为实质性的系统