20以相互分离的方式配置。具体而言，如图11所示，在处理槽210的内部的上侧的区域与下侧的区域分别每两个地设置有紫外线照射部件20。这样每两个地设置的紫外线照射部件20沿X方向隔开间隔地配置。
[0073]这里，在第2实施方式中，在处理槽210的上部213设有紫外线监视器70和具有与上述第2变形例相同的构成的空气排出部280。此外，紫外线监视器70不仅设于处理槽210的上部213，也设于处理槽210的下部214。
[0074]以与处理槽210的内部的各紫外线照射部件20对应的方式设有多个紫外线监视器70(在第2实施方式中为四个)。具体而言，如图11所示，设于处理槽210的上部213的两个紫外线监视器70以分别与配置于处理槽210的内部的上侧的区域的两个紫外线照射部件20对应的方式设置。另外，设于处理槽210的下部214的两个紫外线监视器70以分别与配置于处理槽210的内部的下侧的区域的两个紫外线照射部件20对应的方式设置。此外，设于处理槽210的上部213的两个紫外线监视器70被设置为，在相互交叉的方向延伸。同样，设于处理槽210的下部214的两个紫外线监视器70也被设置为，在相互交叉的方向延伸。
[0075]详细地说，在图11中配置于右上方的紫外线监视器70被设为，朝向图11中的配置于左上方的紫外线照射部件20，从处理槽210的上部213向左下方向延伸。另外，在图11中配置于左上方的紫外线监视器70被设为，朝向图11中的配置于右上方的紫外线照射部件20，从处理槽210的上部213向右下方向延伸。另外，在图11中配置于右下方的紫外线监视器70被设为，朝向图11中的配置于左下方的紫外线照射部件20，从处理槽210的下部214向左上方向延伸。另外，在图11中配置于左下方的紫外线监视器70被设为，朝向图11中的配置于右下方的紫外线照射部件20，从处理槽210的下部214向右上方向延伸。
[0076]此外，如图11所示，在第2实施方式中，也与上述第1实施方式以及第1?第4变形例相同，连接有空气排出部280的空气排出孔281a设于比水平面P2(参照图11的双点划线)高的位置，该水平面P2通过在处理槽210的上部213设置的紫外线监视器70的紫外线传感器71的紫外线受光面(下端部)。另外，空气排出孔281a设于比供水口 211的上端211a高的位置，并且设于比排水口 212的上端212a高的位置。
[0077]如以上说明那样，在第2实施方式中，也与上述第1实施方式以及第1?第4变形例相同，在高于通过紫外线传感器71的水平面P2的位置设有空气排出孔281a，在该空气排出孔281a连接有空气排出部280，该空气排出部280用于使处理水W经过处理槽210的内部时积存于处理槽210的上部的空气(空气层S)向处理槽210的外部逸出。由此，在第2实施方式中，也能够抑制在设于处理槽210的上部213的紫外线传感器71和与该紫外线传感器71对应的紫外线照射部件20之间积存空气的情况，因此能够抑制紫外线传感器71的测量精度降低的情况。
[0078]以上，说明了本发明的实施方式以及变形例，上述实施方式以及变形例仅是一个例子，并不意图限定发明的范围。上述实施方式以及变形例能够通过各种方式实施，并能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些省略、替换、变更包含于发明的范围、主旨中，并且包含于权利要求书记载的发明及其等同的范围中。
[0079]例如，上述实施方式以及变形例的各构成要素的形状、个数等能够适当地变更而实施。即，在上述实施方式以及变形例中，示出了处理槽形成为箱形状或者圆筒形状的例子，但也可以将处理槽形成为除箱形状以及圆筒形状以外的形状。另外，在上述实施方式以及变形例中，示出了空气排出部由筒状部件与阀部件构成的例子，但只要能够使积存于处理槽的上部的空气逸出，则空气排出部也可以具有除上述以外的构造。
[0080]另外，在上述实施方式以及变形例中，示出了紫外线照射部件以及紫外线监视器的个数为6个或者4个的例子，但紫外线照射部件以及紫外线监视器的个数既可以是7个以上，也可以是5个，还可以是3个以下。另外，紫外线照射部件以及紫外线监视器的个数也可以不是相同数目。另外，在上述实施方式以及变形例中，示出了空气排出部的个数为一个的例子，但空气排出部的个数也可以是两个以上。
【主权项】
1.一种紫外线照射装置，其中，具备: 处理槽，包括用于供给处理对象的处理水的供水口和用于排出上述处理水的排水口； 紫外线照射部件，设于上述处理槽的内部，对经过上述处理槽的内部的上述处理水照射紫外线； 紫外线传感器，设于上述处理槽的内部，并且测量来自上述紫外线照射部件的紫外线照射量；以及 空气排出部，与空气排出孔连接，该空气排出孔设于比通过上述紫外线传感器的水平面高的位置，上述空气排出部用于使上述处理水经过上述处理槽的内部时积存于上述处理槽的内部的空气经由上述空气排出孔向上述处理槽的外部逸出。2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其中， 上述供水口以及上述排水口具有互不相同的内径，并且设于在水平方向上相互对置的位置， 上述空气排出孔设于比上述供水口的上端高的位置，并且设于比上述排水口的上端高的位置。3.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其中， 上述空气排出部包括:筒状部件，具有构成上述空气排出孔的内周面；以及阀部件，以能够开闭的方式封堵上述空气排出孔。4.根据权利要求3所述的紫外线照射装置，其中， 还具备: 阀驱动部，驱动上述阀部件；以及 控制部，控制上述阀驱动部，以使上述阀部件定期地开闭上述空气排出孔。5.根据权利要求3所述的紫外线照射装置，其中， 还具备: 阀驱动部，驱动上述阀部件； 测量部件，对经过上述处理槽的内部的上述处理水的水面的高度位置进行测量；以及 控制部，基于上述测量部件的测量结果控制上述阀驱动部，使得在上述处理水的水面下降至比通过上述紫外线传感器的水平面低的位置之前由上述阀部件将上述空气排出孔打开。6.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其中， 还具备缓冲槽，该缓冲槽设于比上述处理槽的上端部高的位置，并且设于上述空气排出孔的中途，接收积存于上述处理槽的内部的空气。
【专利摘要】实施方式的紫外线照射装置具备处理槽、紫外线照射部件、紫外线传感器、以及空气排出部。处理槽包括用于供给处理对象的处理水的供水口和用于排出处理水的排水口。紫外线照射部件设于处理槽的内部，对经过处理槽的内部的处理水照射紫外线。紫外线传感器设于处理槽的内部，并且测量来自紫外线照射部件的紫外线照射量。空气排出部与空气排出孔连接，该空气排出孔设于比通过紫外线传感器的水平面高的位置，上述空气排出部被设为用于使处理水经过处理槽的内部时积存于处理槽的内部的空气经由空气排出孔向处理槽的外部逸出。
【IPC分类】C02F1/32
【公开号】CN105473511
【申请号】CN201480044546
【发明人】小林伸次, 阿部法光, 出健志, 城田昭彦, 竹内贤治
【申请人】株式会社东芝
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2014年3月12日
【公告号】CA2923009A1, WO2015037256A1