专利名称：改进的干湿交替式废气处理机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体分离装置，尤其涉及一种改进的干湿交替式废气处理机。
习用的应用于半导体制造业的干湿交替式废气处理机，其结构如
图1所示，包括一用电热器高温加热裂解废气的反应腔1、一内设水雾喷嘴以进一步冲刷经裂解废气的滤净腔2及一与前述反应腔和滤净腔底端连通的排水模组3，这种将习用的湿式废气洗涤机与干式废气裂解炉结合一体的废气处理手段，因能彻底清除废气中所夹杂的微颗粒物质，所以逐渐被半导体制造业采用。上述习用的干湿交替式废气处理机，虽能达到基本的实施效果，但是本创作人根据积累的相关技术资料以及多年工作的经验，发现其仍存在有待改进之处1、习用干湿交替式废气处理机的反应腔用电热器4作为唯一的热源，由于电热丝外部的绝缘材质(一般采用氧化镁)的耐温程度仅仅在800℃左右，又由于热向上升的原理，反应腔内的温度呈现向下渐低的不均衡状态，致使废气裂解处理效果无法进一步提高；2、习用干湿交替式废气处理机的排水模组与反应腔和滤净腔底部连通的连接导管a设成形状，其转折处形成气流(如→所示)死角进而造成污水(如双实线箭头所示)中颗粒物质b沉积现象；3、反应腔顶端封盖处的气密垫圈5容易因长时间处于高温状态导致质量变化而损耗。
有鉴于此，本实用新型创作人员根据其多年从事废气处理设备制造业的经验，针对习用干湿交替式半导体废气处理机整体结构设计存在的问题，积极地研究改进，终于设计出本实用新型。
本实用新型的主要目的在于提供一种改进的干湿交替式废气处理机，其由反应腔、滤净腔及排水模组组成，其可使废气不产生气流死角，冲刷废气的污水不致在管道转折处形成垢质堆积的排放，反应腔内部进气口处设有炉火喷嘴与电热器配合使反应腔产生800℃以上的高温加热，提高废气裂解处理效果，反应腔封盖顶面设有环状水道与滤净腔供水管路连接，可使封盖间的气密垫圈得到降温效果，降低其损耗率。
本实用新型的另一目的在于提供一种改进的干湿交替式废气处理装置，其排水模组的U形连接导管，其连接端外围套设有环状水雾喷嘴，水雾自管壁向内喷淋，使废气和污水均能顺畅流通、排放。
本实用新型的又一目的在于提供一种改进的干湿交替式废气处理机，其反应腔内部炉火喷嘴的喷孔向下且枢接燃料管，燃料源可采用一般煤制气或半导体制备过程中产生的含氢废气。
本实用新型的目的是由以下技术方案实现的。
本实用新型的改进的干湿交替式废气处理机，其机体包括一反应腔、一滤净腔及一排水模组，其改进之处在于，所述排水模组与反应腔和滤净腔底端的连接导管设成U形管，该U形管体的中央底缘另延伸一管柱供排水管连接；所述反应腔内部进气口处设有一炉火喷嘴，该喷嘴的喷孔向下且枢接燃料导管，该反应腔设有封盖，封盖顶面设有一环状水道，该环状水道与滤净腔的供水管路连通。
本实用新型的上述目的还可以通过以下技术措施来进一步实现。
本实用新型的改进干湿交替式废气处理机，所述排水模组的U形连接导管，其连接端外围套设有环状水雾喷嘴，使水雾成自管壁向内喷淋的状态；所述设在反应腔内部的炉火喷嘴的燃料源为一般的煤制气；所述设在反应腔内部的炉火喷嘴的燃料源为半导体制备过程中产生的含氢废气。
本实用新型的具体结构由以下实施例及其附图详细给出。
图1为习用干湿交替式废气处理机结构示意图。
图2为本实用新型整体结构示意图。
图3为本实用新型排水模组示意图。
参阅图2所示，本实用新型改进的干湿交替废气处理机，其机体包括一反应腔10、一滤净腔20及一排水模组30，其反应腔10通过设在腔壁夹层的电热器11产生高温，用以裂解通过腔体的废气(如→所示)；滤净腔20内设有水雾喷嘴21用以进一步冲刷经裂解的废气，其内设吸水性滤材22，用于去除气体中过饱和水气；所述排水模组30设有一连接导管31，接设在前述反应腔10和滤净腔20的底端，用以将经反应腔的废气导入滤净腔，并将冲刷废气的污水(如双实线箭头所示)排出。
本实用新型反应腔10进气口处设有一炉火喷嘴12，该炉火喷嘴的喷孔向下且一端枢接燃料导管13，用以辅助电热器11的加热效率，作业时借由炉火(如弯折箭头所示)在反应腔内部上端(进气口)处的辅助加热作用，电热器11的加热功率可限定在电热丝绝缘层耐温范围800℃以下，而反应腔内部可快速达到800℃以上的高温状态，使废气裂解效果更好。排水模组30的连接导管设成U形管，该U形管体的中央底缘处延伸一管柱32供排水管33连接，使通过的废气不产生气流死角的流通，且经冲刷废气的污水(如双实线箭头所示)能够流畅的循U形管壁经排水管33排出，进而有效地避免管道转折处形成颗粒物质堆积的现象。反应腔10设有封盖14，封盖14顶面设有一环状水道16，该环状水道16与滤净腔20的供水管路连通，使封盖处的气密垫圈15得到降温效果，以延长其使用寿命。
参阅图3所示，本实用新型的改进的干湿交替废气处理机，排水模组30的U形连接导管31，其连接端的外围套设有环状水雾喷嘴34，水雾形成自管壁向内喷淋的作用，使废气(如→所示)及污水(如双实线箭头所示)均能保持无阻挡的顺畅流通和排放作业。
综上所述，本实用新型的改进的干湿交替式废气处理机，其结构设计合理，废气不产生气流死角，冲刷污水不致在管道转折处堆积垢质，降低封盖密封垫圈损耗率，提高废气裂解效率，可利用生产过程中产生的废气作能源，降低成本，克服习用产品的缺陷，达到预期的设计目的。
权利要求1.一种改进的干湿交替式废气处理机，其机体包括一反应腔、一滤净腔及一排水模组，其特征在于，所述排水模组与反应腔和滤净腔底端的连接导管设成U形管，该U形管体的中央底缘另延伸一管柱供排水管连接；所述反应腔内部进气口处设有一炉火喷嘴，该喷嘴的喷孔向下且枢接燃料导管，该反应腔设有封盖，封盖顶面设有一环状水道，该环状水道与滤净腔的供水管路连通。
2.根据权利要求1所述的改进的干湿交替式废气处理机，其特征在于，所述排水模组的U形连接导管，其连接端外围套设有环状水雾喷嘴。
3.根据权利要求1所述的改进的干湿交替式废气处理机，其特征在于，所述设在反应腔内部的炉火喷嘴的燃料源为煤制气。
4.根据权利要求1所述的改进的干湿交替式废气处理机，其特征在于，所述设在反应腔内部的炉火喷嘴的燃料源为半导体制备过程中产生的含氢废气。
专利摘要改进的干湿交替式废气处理机,机体包括反应腔、滤净腔及排水模组,排水模组与反应腔和滤净腔底端的连接导管成U形管,管体中央底缘延伸管柱供排水管连接,反应腔内部进气口处设炉火喷嘴,喷嘴喷孔向下且枢接燃料导管,反应腔设封盖,封盖顶面设环状水道并与滤净腔供水管路连通,提高废气裂解效率,有效避免排水模组在管道转折处堆积垢质现象,降低封盖密封垫圈损耗率,可利用生产过程中产生的废气作能源,使用性能理想。
文档编号B01D53/74GK2480047SQ0121895
公开日2002年3月6日 申请日期2001年4月5日 优先权日2001年4月5日
发明者陈聪茂 申请人:陈聪茂