专利名称：高纯度混合气体配制系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体配置技术，具体涉及两种高纯度气体现场混合的配置装置。
背景技术：
现代的电子厂都是高效率、大规模、集成度极高的现代产业，其对气体的纯度和质量要求都非常的高，高纯度气体主要体现在对原料气的要求，原料气的纯度至少需要达到三个9以上。现有技术中常采用的是将两种或两种以上的高纯度气体混制好充装在钢瓶中后，通过混匀机混匀，检验合格后再装车运输到需要高纯度气体的客户处，使用钢瓶来给客户进行气体供应，使得运输成本非常的高昂(危险品运输)，工序复杂，步骤繁琐，当客户用气量达到一定规模后就需要大量的钢瓶来盛装混合气体，增大了公司的成本投入。
实用新型内容针对现有技术中的上述不足，本实用新型提供的高纯度混合气体配制系统，能够现场进行高纯度气体的混制，解决了长期以来来回运输灌装混合气体的成本投入大及影响客户正常生产等问题。为了达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案为:提供了一种高纯度混合气体配制系统，其包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；第一供气单元为混配气体单元提供所需压力的气体；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置，第一供气单元和第二供气单元为混配气体单元提供所需压力的气体；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。优选地，所述气体混合单元包括连接在一起的混配器和缓冲罐；所述混配器与过滤装置连接，缓冲罐分别与分析单元和计量单元连接。优选地，所述缓冲罐和计量单元之间的管道上还连接有补偿单元。优选地，所述补偿单元包括混合气集装格和减压装置，所述混合气集装格通过减压装置连接在缓冲罐和计量单元之间的管道上。优选地，所 述第一供气单元和/或第二供气单元内部还设置有可燃气体保护装置。优选地，所述可燃气体保护装置包括安装在第一供气单元和/或第二供气单元所在区域内的烟感报警器和温控器。本实用新型的有益效果为:供气公司直接将高纯气体用低温液体形式给客户供应，客户用该高纯度混合气体配制系统在车间就能够完成两种高纯度气体的现场混制，解决了长期以来因运输力、生产能力和材料供应等影响客户正常生产的问题，同时还有效地降低了公司的在供气这块的成本投入。[0012]
图1为高纯度混合气体配制系统的原理框图。
具体实施方式
如图1所示，该高纯度混合气体配制系统包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元 包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。所述气体混合单元包括连接在一起的混配器和缓冲罐；所述混配器与过滤装置连接，缓冲罐分别与分析单元和计量单元连接；所述缓冲罐和计量单元之间的管道上还连接有补偿单元；所述补偿单元包括混合气集装格和减压装置，所述混合气集装格通过减压装置连接在缓冲罐和计量单元之间的管道上，补偿单元通过压力信号的识别，自动对管网进行补充；所述第一供气单元和/或第二供气单元内部还设置有可燃气体保护装置；所述可燃气体保护装置包括安装在第一供气单元和/或第二供气单元所在区域内的烟感报警器和温控器。下面以氮气占95%、氢气占5%的混合气体为例，对该系统进行详细地说明:首先，将高纯液氮(99.999^99.9995%)由低温液体贮槽送到汽化器，经过热交换后由液态氮变成1.f 1.4Mpa压力气态的高纯氮气，并由管道送至减压装置，经过减压后的氮气压力降到0.95Mpa，再送入到过滤装置，接着进入混配器；将气体集装格的氢气经过管道输送到用于氢气的专用减压装置，该装置除了实现减压的目的外，还能根据两端压力，自动进行切换，保证装置出口压力。减压装置将氢气由13Mpa减压至1.0Mpa后输送到过滤装置变成洁净氢气后，再送入混配器。两种气体在混配器中配制完成后通过管道送入缓冲罐；与缓冲罐连接的分析单元，会不间断地分析混配器配置好的气体，当样气中氢气比例符合生产要求时，系统继续正常配制。当分析单元发现样气中氢气比例过高或过低，立即停止混配器工作，以保证气体的品质。当停电、系统发生故障停机或是供气管网压力过低时，为了保证客户的正常生产，补偿单元的压力调节阀会及时打开，向供气管网供气。当对危险气体进行混制时，由于可燃气体很容易发生燃烧或爆炸，为了解决这个隐患，在第一供气单元和/或第二供气单元所在区域内安装的烟感报警器和温控器，可以实时监控生产场所的安全状况。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进，这些改进也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
权利要求1.一种高纯度混合气体配制系统，其特征在于:包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元； 所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。
2.根据权利要求1所述的高纯度混合气体配制系统，其特征在于:所述气体混合单元包括连接在一起的混配器和缓冲罐；所述混配器与过滤装置连接，缓冲罐分别与分析单元和计量单元连接。
3.根据权利要求2所述的高纯度混合气体配制系统，其特征在于:所述缓冲罐和计量单元之间的管道上还连接有补偿单元。
4.根据权利要求3所述的高纯度混合气体配制系统，其特征在于:所述补偿单元包括混合气集装格和减压装置，所述混合气集装格通过减压装置连接在缓冲罐和计量单元之间的管道上。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的高纯度混合气体配制系统，其特征在于:所述第一供气单元和/或第二供气单元内部还设置有可燃气体保护装置。
6.根据权利要求5所述的高纯度混合气体配制系统，其特征在于:所述可燃气体保护装置包括安装在第 一供气单元和/或第二供气单元所在区域内的烟感报警器和温控器。
专利摘要本实用新型公开了一种高纯度混合气体配制系统，包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。供气公司直接将高纯气体用低温液体形式给客户供应，客户用该高纯度混合气体配制系统在车间就能够完成两种高纯度气体的现场混制，解决长期以来因运输力、生产能力和材料供应等影响客户正常生产的问题，同时还有效地降低了公司的在供气这块的成本投入。
文档编号B01F15/04GK203090852SQ20122072577
公开日2013年7月31日 申请日期2012年12月26日 优先权日2012年12月26日
发明者李涌涛 申请人:成都成钢梅塞尔气体产品有限公司