大罐过滤网的制作方法

本实用新型属于单晶炉用过滤设备技术领域，涉及到大罐过滤网。

背景技术：

大罐过滤网是单晶炉的重要部位，一端连接着单晶炉抽空管道，另一端连接着真空泵，在拉晶过程中，真空泵将单晶炉内的挥发物以及废气通过抽空管道及大罐抽走，如果直接抽到真空泵内，会污染真空泵内的泵油质量，降低真空泵的抽空速率，缩短真空泵的使用寿命，并且会使单晶炉内的真空度降低，炉内压力升高，严重影响单晶的成晶，大罐过滤网起到了存储和吸收挥发物的作用，保证了真空泵油的质量及抽空速率。但是现有的过滤网太稀疏，不能把挥发物全部吸收，导致一部分挥发物被抽到真空泵内，抽空速率下降，单晶炉内炉压升高，严重影响成晶，并且需要真空泵每5炉一清理，更换新泵油，造成泵油浪费，严重的会由于泵油过脏导致真空泵卡死。

技术实现要素：

本实用新型为了克服现有技术的缺陷，设计了大罐过滤网，可以将挥发物全部吸附在过滤网本体上，可以降低炉压，保证抽空顺畅，可以提高单晶的成晶率，并且真空泵油由每5炉更换一次延长至每15炉更换一次，大幅降低了生产成本。

本实用新型所采取的具体技术方案是：大罐过滤网，包括过滤网本体，关键是：所述的过滤网本体包括筒状的第一过滤网、固定在第一过滤网外围的第二过滤网，第二过滤网的目数大于第一过滤网的目数，过滤网本体的两端都固定有盖板，一个盖板上开设有与第一过滤网内部连通的进口、另一个盖板与过滤网本体密封锁紧、以使第一过滤网内部的空间形成为过滤腔。

所述的第一过滤网是35-45目的滤网，第二过滤网是55-65目的滤网。

所述的第一过滤网为40目的滤网，第二过滤网为60目的滤网。

所述的第一过滤网是由波纹状的滤网围成的筒状结构。

所述的第一过滤网内壁上固定有一组支撑环，所有的支撑环沿第一过滤网的径向排列。

两个盖板之间设置有至少两个加强杆，加强杆的两端分别与对应端的盖板固定连接，所有的加强杆沿盖板的圆周方向均匀排布。

一个盖板外侧面的中心处开设有沉槽，沉槽内设置有与盖板固定连接的吊环，另一个盖板上沿圆周方向设置有一组支撑杆，支撑杆与盖板的轴线平行设置，支撑杆的一端与盖板固定连接、另一端凸出在盖板外侧。

本实用新型的有益效果是：经过第一过滤网和第二过滤网的双层过滤，可以将挥发物全部吸附在过滤网本体上，拉晶过程中，炉压由原来的2000pa降到现在的800pa，保证抽空顺畅，有效保障了单晶炉的真空度，提高了单晶的成晶率，并且真空泵油由每5炉更换一次延长至每15炉更换一次，延长了真空泵油的更换周期，提高了真空泵的使用寿命，大幅降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1中过滤网本体的俯视图。

附图中，1代表第一过滤网，2代表第二过滤网，3代表盖板，4代表支撑环，5代表加强杆，6代表沉槽，7代表吊环，8代表支撑杆。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做详细说明：

具体实施例，如图1和图2所示，大罐过滤网，包括过滤网本体，过滤网本体包括筒状的第一过滤网1、固定在第一过滤网1外围的第二过滤网2，第二过滤网2的目数大于第一过滤网1的目数，过滤网本体的两端都固定有盖板3，一个盖板3上开设有与第一过滤网1内部连通的进口、另一个盖板3与过滤网本体密封锁紧、以使第一过滤网1内部的空间形成为过滤腔。

经过第一过滤网1和第二过滤网2的双层过滤，可以将挥发物全部吸附在过滤网本体上，拉晶过程中，炉压由原来的2000pa降到现在的800pa，保证抽空顺畅，有效保障了单晶炉的真空度，提高了单晶的成晶率，并且真空泵油由每5炉更换一次延长至每15炉更换一次，延长了真空泵油的更换周期，提高了真空泵的使用寿命，真空泵油每次更换需要30升，每升8.7元，预计每年可节省泵油720升，节省6264元，可大幅降低生产成本。

作为对本实用新型的进一步改进，第一过滤网1是35-45目的滤网，第二过滤网2是55-65目的滤网，第一过滤网1优选为40目的滤网，第二过滤网2优选为60目的滤网，二者配合即可满足单晶炉的过滤需求，结构简单，成本低廉。

作为对本实用新型的进一步改进，第一过滤网1是由波纹状的滤网围成的筒状结构，可以在有限空间内增大过滤面积，提高过滤效率。

作为对本实用新型的进一步改进，第一过滤网1内壁上固定有一组支撑环4，所有的支撑环4沿第一过滤网1的径向排列，可以增大过滤网本体的强度，防止弯曲变形而影响过滤效果。

作为对本实用新型的进一步改进，两个盖板3之间设置有至少两个加强杆5，加强杆5的两端分别与对应端的盖板3固定连接，所有的加强杆5沿盖板3的圆周方向均匀排布，可以增大大罐过滤网整体的强度，防止过滤网本体弯曲变形而影响过滤效果。

作为对本实用新型的进一步改进，一个盖板3外侧面的中心处开设有沉槽6，沉槽6内设置有与盖板3固定连接的吊环7，利用吊环7可以将大罐过滤网吊起来，吊环7位于沉槽6内不会被磕碰损坏，而且表面平整，外形更加美观。另一个盖板3上沿圆周方向设置有一组支撑杆8，支撑杆8与盖板3的轴线平行设置，支撑杆8的一端与盖板3固定连接、另一端凸出在盖板3外，将大罐过滤网放在地面上后，支撑杆8使得下方的盖板3与地面之间留有间隙，方便抬起。