技术特征：
技术总结
本发明涉及一种气压驱动精密微泵，包括气压模块，包括气囊；单向阀组，包括第一单向阀和第二单向阀，第一单向阀的入口通向外界大气，出口通向气囊，第二单向阀的入口通向气囊，出口通向蓄液模块；蓄液模块，包括空腔和蓄液池，空腔与蓄液池之间通过第一弹性膜片间隔，空腔为封闭腔体，蓄液池通过第二单向阀与气囊连接；调流模块，包括第一流道和第二流道，第一流道和第二流道均连通蓄液池，第一流道出口封闭，第二流道出口通向调流模块外，第一流道和第二流道通过第二弹性膜片间隔。该微泵具有启动压力低、流体输运稳定、体积小巧易集成等优势，满足微流体的稳定驱动与控制需求。
技术研发人员：张鑫杰
受保护的技术使用者：河海大学常州校区
技术研发日：2018.10.08
技术公布日：2019.02.19