技术总结
本实用新型公开了一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括桶体和盖体，所述盖体位于所述桶体的上方，所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构，所述桶体底部的中心设有排油口，所述桶体下方的侧面设有进气口，所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口；所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋，所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部，所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度，且高于所述进气口底部的水平高度。本实用新型采用上述结构的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，结构简单，有效去除气相沉积炉尾气中的油气。
技术研发人员：王金铎;啜艳明;郭宾;陶国雷
受保护的技术使用者：保定顺天新材料股份有限公司
技术研发日：2019.03.12
技术公布日：2019.11.22