情况的图。图14的（a)示出了设置有1个支撑销15的情况，图14的（b)、 (c)示出了设置有2个支撑销15的情况，图14的（d)示出了设置有3个支撑销15的情况， 图14的（e)示出了设置有4个支撑销15的情况。各支撑销15设置在沿旋转销17的外周 部的周向而中心角分离90°的位置。
[0099] 若采用图14的（a)~（e)所示的旋转销17,则通过与四种配置图案相应地使轴 14旋转来进行支撑销15的配置更换，从而能够支撑基板11。在各配置图案的支撑销位置 重叠的情况下，可以根据重叠的数量而采用图14的（b)~（e)所示的配置有多个支撑销15 的旋转销。
[0100] 在本实施方式中，沿着旋转销17的外周部的周向而配置的支撑销15的位置根据 每个配置图案来确定。因此，为了对应N种类的配置图案，支撑销15被配置在沿着旋转销 17的外周部的周向被分割成N个的位置中的任一位置。
[0101] 即，旋转销17在沿着轴14的外周部的周向相对于与基板的面垂直的方向的中心 角Θ为（n-1) X α (η是1~N的整数；N是产品形成区域的配置图案的种类数；α是任意 的角度）的位置具有沿轴14的法线方向延伸的至少一个以上支撑销15。
[0102] 图15是举例示出设α为45°时的支撑销15的位置的图，支撑销15配置在Θ = 0。、45。、90。、135。这4处[θ = (η-1) Χ45。（η = 1、2、3、4)]。在将 α 设为45。的 情况下，支撑销15最大可以配置在8处[θ = (η-1)Χ45° (η= 1~8)]。相反地，在与 N种类的配置图案对应地沿旋转销17的外周部的周向配置支撑销15的情况下，将α的大 小设定成360° /N即可。
[0103] 在本实施方式中，具有规定的配置图案的基板11是通过轴14的旋转以使在旋转 销17的外周部设置于与该配置图案对应的位置的支撑销15变成与基板11垂直的方向的 方式进行选择，从而被该选择出的支撑销15支撑。
[0104] 即，在形成于基板11上的产品形成区域具有N种类的配置图案的情况下，具有第 Μ(Μ是1~N的整数）个配置图案的基板11是由通过使轴14相对于基板11的垂直方向旋 转至旋转角度Φ为（M-I) X α而选择出的、处于与基板11垂直的方向的多个支撑销15来支 撑的。
[0105] 如以上说明的那样，在本实施方式的干燥装置中，能够与多个配置图案对应地自 动地进行支撑销15的配置更换以使支撑销15始终与非产品形成区域的背面抵接，从而能 够进行在基板的产品形成区域不产生干燥不均的干燥。
[0106] 另外，在本实施方式的干燥装置中，能够针对预先确定的配置图案自动地进行支 撑销15的配置更换，但即使在更换、或重新追加配置图案的情况下，也由于轴14的旋转机 构由齿条和小齿轮机构构成，因而轴14能够在与旋转轴线垂直的方向（Υ方向）上容易地 进行配置更换，此外，由于旋转销17也能够设置成能够在轴14的旋转轴线（X方向）的方 向上移动，因此无需改造装置就能够容易地应对。
[0107] 以上通过优选的实施方式对本发明进行了说明，但这样的记述不是限定事项，当 然可以进行各种改变。
[0108] 例如，在上述实施方式中，作为轴14的旋转机构而在轴14的两端设置有与齿条31 啮合的小齿轮30,但也可以如图16所示地仅在轴14的一个端部设置与齿条31啮合的小齿 轮30。在该情况下，通过沿Y方向以设置有小齿轮30的端部交替的方式排列多个轴14,从 而能够防止相邻的轴14的小齿轮30彼此干扰。此外，可以独立地控制沿Y方向配置2列 的齿条31Α、31Β，由此独立地控制交替排列的轴14的旋转，从而能够针对更多的配置图案 进行支撑销15的配置改变。
[0109] 此外，在上述实施方式中，作为轴14的旋转机构而以齿条和小齿轮机构为例进行 了说明，但不限于此，可以采用使多个轴14同步地旋转的机构、例如同步带等。
[0110] 此外，轴14的形状及旋转销的形状不特别限定，例如，也可以如图17的（a)所示 地轴14是四棱柱的形状。在该情况下，配设于轴14的外周部的旋转销17可以采用与轴14 的侧面嵌合的那样的形状。此外，如图17的（b)所示，旋转销17也可以是中空的多棱柱。 在该情况下，支撑销15可以配设于多棱柱的各侧面。
[0111] 此外，在上述实施方式中，不特别限定产品形成区域，除了液晶单元以外，也可以 应用于例如半导体芯片等。
[0112] 此外，被涂布于基板11上的涂布膜只要其材料含有溶剂即可，不特别地限定，例 如，可以应用于抗蚀膜等。
【主权项】
1. 一种干燥装置，其使涂布在基板上的涂布膜干燥，其中， 该干燥装置具备： 腔室，其容纳所述基板；和 支撑部，其利用多个支撑销来支撑被容纳在所述腔室内的所述基板， 所述基板具有：多个产品形成区域；和划分各所述产品形成区域的非产品形成区域， 所述支撑部具有： 多个轴，它们与旋转轴线平行地配设，并且被支撑成能够以旋转轴线为中心进行旋转； 和 至少一个以上旋转销，它们沿着旋转轴线配设于各所述轴的外周部， 所述旋转销在沿着所述轴的外周部的周向而相对于与所述基板的面垂直的方向的中 心角0为（n-l)Xa的位置上，具有沿所述轴的法线方向延伸的至少一个以上支撑销，其 中，n是1~N的整数，N是所述产品形成区域的配置图案的种类数，a是任意的角度， 具有第M个所述配置图案的所述基板是由通过使各所述轴相对于所述基板的垂直方 向旋转至旋转角度9为（M-l)Xa而选择出的、处于与所述基板垂直的方向的多个支撑销 来支撑的，其中，M是1~N的整数。2. 根据权利要求1所述的干燥装置，其中， 所述轴的外周部的各所述中心角0处的各所述支撑销的配置位置是与N种所述配置 图案对应地分别设定的。3. 根据权利要求1所述的干燥装置，其中， 通过使各所述轴旋转而选择出的多个支撑销与所述基板的所述非产品形成区域抵接 来支撑所述基板。4. 根据权利要求1所述的干燥装置，其中， 在所述轴的至少一个端部上配设有与齿条啮合的小齿轮， 通过所述齿条在与所述轴的旋转轴线垂直的方向上移动，各所述轴被控制成规定的旋 转角度9。5. 根据权利要求1所述的干燥装置，其中， 所述轴被设置成能够在与旋转轴线垂直的方向上移动。6. 根据权利要求1所述的干燥装置，其中， 所述旋转销被设置成能够在所述轴的旋转轴线的方向上移动。7. 根据权利要求1所述的干燥装置，其中， 所述干燥装置是通过使所述腔室内减压而使涂布在所述基板上的涂布膜干燥的减压 干燥装置。
【专利摘要】本发明提供干燥装置，其能够与多个配置图案对应地自动进行支撑销的配置更换，并且在基板的产品形成区域不产生干燥不均。本发明的干燥装置具备：腔室(11)，其容纳基板；和支撑部(13)，其利用多个支撑销(15)来支撑基板，支撑部具有：多个轴(14)，其与旋转轴线平行地配设；和旋转销(17)，其沿着旋转轴线配设于各轴的外周部，旋转销在沿着轴的外周部的周向而在中心角θ为(n-1)×α的位置，具有沿法线方向延伸的支撑销(15)，其中，n是1～N的整数，N是配置图案的种类数，α是任意的角度，具有第M个配置图案的基板由通过使各旋转轴(14)旋转至旋转角度而选择出的多个支撑销(15)来支撑，其中，M是1～N的整数。
【IPC分类】B05D3/00
【公开号】CN104941889
【申请号】CN201510127242
【发明人】伊藤祯彦, 森俊裕, 邵鹏
【申请人】东丽工程株式会社
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2015年3月23日