加样的直径为3毫米的圆形通孔；将厚度为150微米的双面胶切成一块50X90毫米的矩形，并刻有角度为15°的梯形通道，储液池开口口径d约为0.5毫米，工作区的开口口径D约为2毫米，液滴通道9宽度为I毫米长度为20毫米，两相通道交叉处的缩口为0.5毫米；PVDF薄膜及有机玻璃之间用厚度为50微米的双面胶粘结；最后在对应于导通区域5的通孔里注入液体金属，并用导电铜箔封口并引出作为测试导线，至此，整个器件制作完成。
[0047]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片，其特征在于，包括盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板，盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板自上到下依次相连接； 所述压电膜(I)的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区包括水相压电薄膜栗的工作区电极(42)、油相压电薄膜栗的工作区电极(41)及导通区域(5)，导通区域(5)与水相压电薄膜栗的工作区电极(42)及油相压电薄膜栗的工作区电极(41)相连接，压电膜(I)上表面的水相压电薄膜栗的工作区电极(42)正对压电膜(I)下表面的水相压电薄膜栗的工作区电极(42)，压电膜(I)上表面的油相压电薄膜栗的工作区电极(41)正对压电膜(I)下表面的油相压电薄膜栗的工作区电极(41)，压电膜(I)上表面的导通区域(5)与压电膜(I)下表面的导通区域(5)错开； 通道层(3)包括液滴通道(9)、水相压电薄膜栗工作区通孔(102)、油相压电薄膜栗工作区通孔(101)、两个储液池通孔(11)、收液池通孔(12)及第一通道槽孔(131)、第二通道槽孔(132)、第三通道槽孔(133)、第四通道槽孔(134)及若干电极引出孔(15); 油相压电薄膜栗工作区通孔(101)与一个储液池通孔(11)通过第三通道槽孔(133)相连通，另一个储液池通孔(11)与水相压电薄膜栗工作区通孔(102)通过第一通道槽孔(131)相连通，油相压电薄膜栗工作区通孔(101)与第四通道槽孔(134)相连通，水相压电薄膜栗工作区通孔(102)与第二通道槽孔(132)相连通，收液池通孔(12)通过液滴通道(9)与第二通道槽孔(132)及第四通道槽孔(134)相连通； 所述盖板(2)上开设有两个第一通孔￠)、两个第二通孔(7)、第三通孔(8)及若干个第四通孔(14); 两个第二通孔(7)分别正对两个储液池通孔(11); 其中一个第一通孔(6)正对油相压电薄膜栗工作区通孔(101)及油相压电薄膜栗的工作区电极(41)，另一个第一通孔(6)正对水相压电薄膜栗工作区通孔(102)及水相压电薄膜栗的工作区电极(42); 第三通孔(8)正对收液池通孔(12); 各第四通孔(14)正对导通区域(5)及电极引出孔(15)。2.根据权利要求1所述的基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片，其特征在于，所述压电膜(I)为已经极化且不带电极层的具有压电效应的压电薄膜。3.根据权利要求1所述的基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片，其特征在于，所述盖板(2)、通道层(3)及基板所用材料为若干种具有支撑作用、不会发生流体渗漏现象的绝缘材料中的一种、其改性或几种复合而成的材料。4.根据权利要求1所述的基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片，其特征在于，经第一通道槽孔(131)及第二通道槽孔(132)向水相压电薄膜栗工作区通孔(102)流入或流出介质的过程中介质受到的阻力不同； 经第三通道槽孔(133)及第四通道槽孔(134)向油相压电薄膜栗工作区通孔(101)流入或流出介质的过程中介质受到的阻力不同。5.根据权利要求1所述的基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片，其特征在于，所述第一通道槽孔(131)、第二通道槽孔(132)、第三通道槽孔(133)及第四通道槽孔(134)为梯形结构或Y型结构。6.一种基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片的制作方法，其特征在于，基于权利要求I所述的基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片，包括以下步骤: 1)取压电膜(I)，将压电膜⑴按照其极化方向固定在夹具上，并在压电膜⑴的上表面及下表面分别形成镀膜区，压电膜(I)上表面的镀膜区及下表面的镀膜区均包括水相压电薄膜栗的工作区电极(42)、油相压电薄膜栗的工作区电极(41)及导通区域(5)，且压电膜(I)上表面的镀膜区中的水相压电薄膜栗的工作区电极(42)正对压电膜(I)下表面的镀膜区中水相压电薄膜栗的工作区电极(42)，压电膜(I)上表面的镀膜区中的油相压电薄膜栗的工作区电极(41)正对压电膜(I)下表面的镀膜区中油相压电薄膜栗的工作区电极(41)，压电膜⑴上表面的导通区域(5)与压电膜(I)下表面的导通区域(5)错开； 2)取盖板(2)、通道层(3)及基板，在通道层(3)上开设有液滴通道(9)、水相压电薄膜栗工作区通孔(102)、油相压电薄膜栗工作区通孔(101)、两个储液池通孔(11)、收液池通孔(12)、第一通道槽孔(131)、第二通道槽孔(132)、第三通道槽孔(133)、第四通道槽孔(134)及若干电极引出孔(15)，其中，油相压电薄膜栗工作区通孔(101)与一个储液池通孔(11)通过第三通道槽孔(133)相连通，另一个储液池通孔(11)与水相压电薄膜栗工作区通孔(102)通过第一通道槽孔(131)相连通，油相压电薄膜栗工作区通孔(101)与第四通道槽孔(134)相连通，水相压电薄膜栗工作区通孔(102)与第二通道槽孔(132)相连通，收液池通孔(12)通过液滴通道(9)与第二通道槽孔(132)及第四通道槽孔(134)相连通；在盖板(2)上开设两个第一通孔(6)、两个第二通孔(7)、第三通孔(8)及若干第四通孔(14)，其中，两个第二通孔(7)分别正对两个储液池通孔(11);一个第一通孔(6)正对油相压电薄膜栗工作区通孔(101)及油相压电薄膜栗的工作区电极(41)，另一个第一通孔(6)正对水相压电薄膜栗工作区通孔(102)及水相压电薄膜栗的工作区电极(42);第三通孔(8)均正对收液池通孔(12);各第四通孔(14)正对导通区域(5)及电极引出孔(15); 3)将盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板自上到下依次固定连接，再通过第四通孔(14)引出上电极及下电极，然后在上电极及下电极上接测试引线，得基于压电薄膜栗的集成液滴生成芯片。
【专利摘要】本发明所述的一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法，包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板自上到下依次相连接；所述压电膜的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区由水相压电薄膜泵的工作区电极、油相压电薄膜泵的工作区电极及导通区域；通道层包括液滴通道、水相压电薄膜泵工作区通孔、油相压电薄膜泵工作区通孔、两个储液池通孔、收液池通孔及第一通道槽孔、第二通道槽孔、第三通道槽孔、第四通道槽孔及若干电极引出孔；所述盖板上开设有两个第一通孔、两个第二通孔、第三通孔及若干个第四通孔；该芯片的控制精度高，并且制备方法简单。
【IPC分类】B01L3/00
【公开号】CN104998704
【申请号】CN201510455488
【发明人】任巍, 赵蓓, 徐峰, 崔兴业, 刘红伟
【申请人】西安交通大学
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年7月29日